Номер по Госреестру СО: ГСО 5441-90
СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО КРЕМНИЕМ (АГ-Si)
СО изготовлен из арсенида галлия марки АГЧТ-1 по ТУ 48-4-276-82, ионнолегированного кремнием, в виде пластин размерами (6х8х0,5) мм. Толщина ионнолегированного слоя не превышает 1 мкм.
СРОК ГОДНОСТИ: 20 лет
СРОК СВИДЕТЕЛЬСТВА: 21.11.2005
НОМЕР ЗАПИСИ:
ДАТА ОПУБЛИКОВАНИЯ:
ПРОИЗВОДИТЕЛЬ: ФГУП "ГИРЕДМЕТ"
СТРАНА: РОССИЯ
НАИМЕНОВАНИЕ АТТЕСТОВАННОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- средний проецированный пробег ионов кремния, нм; среднее квадратическое отклонение проецированных пробегов ионов кремния, нм; концентрация ионов кремния в максимуме распределения, см-3СПОСОБ УСТАНОВЛЕНИЯ АТТЕСТОВАННОГО ЗНАЧЕНИЯ
- Применение аттестованных методик измеренийНазначение стандартного образца
Описание стандартного образца
стандартный образец изготовлен из арсенида галлия марки АГЧТ-1 по ТУ 48-4-276-82, ионнолегированного кремнием, в виде пластин размерами 6x8x0,5 мм. Толщина ионнолегированного слоя не превышает 1 мкм.
Знак утверждения типа
Комплектность стандартного образца
Документы, устанавливающие требования к стандартному образцу
Метрологические характеристики
Таблица 1
|
Аттестуемая характеристика СО |
Допускаемое аттестованное значение СО |
Допускаемое значение абсолютной погрешности аттестованного значения СО при доверительной вероятности 0,95 |
|
Средний проецированный пробег ионов кремния, Rp, нм |
184 |
3 |
|
Среднее квадратическое отклонение проецированных пробегов ионов кремния, ARp, нм |
90 |
1 |
|
Концентрация ионов кремния в максимуме распределения, Стах ■> СМ |
8,60 -1019 |
0,12 -1019 |
Таблица 2
|
Аттестуемая характеристика СО |
Расстояние от поверхности, мкм |
Допускаемое аттестованное значение СО, см'3 |
Допускаемое значение абсолютной погрешности аттестованного значения при доверительной вероятности Р=0,95, см'3 |
|
Концентрация ионов кремния |
0,16 |
8,6-1019 |
0,1-1019 |
|
0,28 |
4,6-1019 |
0,2-1019 | |
|
0,36 |
1,3-1019 |
0,1-1019 | |
|
0,40 |
5,7-Ю18 |
0,5-1018 | |
|
0,48 |
1,1-1018 |
0,1-1018 | |
|
0,52 |
5,4-1017 |
0,9-1017 | |
|
0,60 |
1,5-1017 |
0,2-1017 | |
|
0,68 |
4,7-Ю16 |
1,4-1016 | |
|
0,80 |
1,1-Ю16 |
0,4-1016 | |
|
0,84 |
5,7-Ю15 |
3,0-Ю15 | |
|
0,96 |
2,8-1015 |
0,9-1015 |
Срок годности экземпляра СО: 20 лет.
РАЗРАБОТЧИКИ СО:
-
- Уральский научно-исследовательский институт метрологии (УНИИМ),
620219, г. Екатеринбург, ГСП-824, ул. Красноармейская, 4;
-
- ФГУП “Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности” (ГИРЕДМЕТ),
109017, г. Москва, Ж-17, Б. Толмачевский пер., д. 5.
ИЗГОТОВИТЕЛЬ: ФГУП “Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности” (ГИРЕДМЕТ),
109017, г. Москва, Ж-17, Б. Толмачевский пер., д. 5.
Директор УНИИМ
Директор “ГИРЕДМЕТ”
В В Леонов
А.В. Елютин
Статистика
Кол-во поверок -
Кол-во поверок (подведы РСТ) -
Кол-во поверок (неподведы РСТ) -
Кол-во поверок (гос. организации) -
Кол-во поверок (чвстники) -
Кол-во владельцев - 0
Все стандартные образцы ФГУП "ГИРЕДМЕТ"
| Номер в реестре | Наименование СО | Статус |
|---|---|---|
| ГСО 332-73/334-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический n-типа), комплект | Срок действия истек |
| ГСО 338-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический n-типа), комплект | Срок действия истек |
| ГСО 340-73/341-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический n-типа), комплект | Срок действия истек |
| ГСО 606-74/611-74 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический n-типа), комплект | Срок действия истек |
| ГСО 4366-88/4369-88 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ), комплект УЭСР | Срок действия истек |
| ГСО 4450-88/4453-88 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ), комплект УЭСУ | Срок действия истек |
| ГСО 4982-89 | СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО БОРОМ | Срок действия истек |
| ГСО 4983-89 | СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО ФОСФОРОМ | Срок действия истек |
| ГСО 5441-90 | СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО КРЕМНИЕМ (АГ-Si) | Срок действия истек |
| ГСО 5442-90 | СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО ХРОМОМ (АГ-Сr) | Срок действия истек |
Владельцы ГСО 5441-90 СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО КРЕМНИЕМ (АГ-Si)
| Организация | Кол-во поверок |
|---|
Приложение к сертификату № 1555 (обязательное)
ОПИСАНИЕ ТИПА ГСО
СОГЛАСОВАНО
Головного
Стандартный образец состава поверхностных слоев арсенида галлия, ионнолегированного кремнием (АГ - Si)
ВНЕСЕН В ГОСУДАРСТВЕННЫЙ РЕЕСТР
УТВЕРЖДЕННЫХ ТИПОВ ГСО Регистрационный номер
ГСО 5441-90
ВЫПУСКАЕТСЯ ПО НД: партия СО выпущена в марте 1990 г. по техническому заданию, утвержденному 24.01.90.
НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ: стандартный образец предназначен для градуировки масс-спектрометров вторичных ионов, электронных оже-спектрометров и других приборов, используемых для определения малых содержаний кремния от 2,8-Ю13 до 8,6-1019 см’3 в материалах и изделиях электронной техники на основе арсенида галлия; для метрологической аттестации методик послойного анализа поверхностных слоев арсенида галлия на содержание кремния; для установления метрологических характеристик отраслевых стандартных образцов (ОСО) и стандартных образцов предприятий (СОП) методом сравнения, для контроля погрешностей методик выполнения измерений (МВИ) содержания кремния в арсениде галлия при анализе состава поверхностных слоев.
Область применения - электронная промышленность, цветная металлургия и др. отрасли.
НОРМАТИВНЫЕ ДОКУМЕНТЫ, определяющие необходимость применения СО:
-
- на методы градуировки средств измерений: МИ 2345-95 ГСИ. Характеристики градуировочные средств измерений состава и свойств веществ и материалов. Методика выполнения измерений с использованием стандартных образцов,
-
- на методы метрологической аттестации МВИ: МИ 2336-95 ГСИ. Характеристики погрешности результатов количественного химического анализа. Алгоритмы оценивания;
-
- на методы испытаний: МИ 2258-93 ГСИ. Стандартные образцы. Оценивание метрологических характеристик с использованием эталонов и образцовых средств измерений,
-
- на методы контроля погрешностей МВИ: МИ 2335-95 ГСИ. Внутренний контроль качества результатов количественного химического анализа;
-
- другие документы: инструкция по применению ГСО.
ОПИСАНИЕ: стандартный образец изготовлен из арсенида галлия марки АГЧТ-1 по ТУ 48-4-276-82, ионнолегированного кремнием, в виде пластин размерами 6x8x0,5 мм. Толщина ионнолегированного слоя не превышает 1 мкм.
НОРМИРОВАННЫЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
Таблица 1
|
Аттестуемая характеристика СО |
Допускаемое аттестованное значение СО |
Допускаемое значение абсолютной погрешности аттестованного значения СО при доверительной вероятности 0,95 |
|
Средний проецированный пробег ионов кремния, Rp, нм |
184 |
3 |
|
Среднее квадратическое отклонение проецированных пробегов ионов кремния, ARp, нм |
90 |
1 |
|
Концентрация ионов кремния в максимуме распределения, Стах ■> СМ |
8,60 -1019 |
0,12 -1019 |
Таблица 2
|
Аттестуемая характеристика СО |
Расстояние от поверхности, мкм |
Допускаемое аттестованное значение СО, см'3 |
Допускаемое значение абсолютной погрешности аттестованного значения при доверительной вероятности Р=0,95, см'3 |
|
Концентрация ионов кремния |
0,16 |
8,6-1019 |
0,1-1019 |
|
0,28 |
4,6-1019 |
0,2-1019 | |
|
0,36 |
1,3-1019 |
0,1-1019 | |
|
0,40 |
5,7-Ю18 |
0,5-1018 | |
|
0,48 |
1,1-1018 |
0,1-1018 | |
|
0,52 |
5,4-1017 |
0,9-1017 | |
|
0,60 |
1,5-1017 |
0,2-1017 | |
|
0,68 |
4,7-Ю16 |
1,4-1016 | |
|
0,80 |
1,1-Ю16 |
0,4-1016 | |
|
0,84 |
5,7-Ю15 |
3,0-Ю15 | |
|
0,96 |
2,8-1015 |
0,9-1015 |
Срок годности экземпляра СО: 20 лет.
РАЗРАБОТЧИКИ СО:
-
- Уральский научно-исследовательский институт метрологии (УНИИМ),
620219, г. Екатеринбург, ГСП-824, ул. Красноармейская, 4;
-
- ФГУП “Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности” (ГИРЕДМЕТ),
109017, г. Москва, Ж-17, Б. Толмачевский пер., д. 5.
ИЗГОТОВИТЕЛЬ: ФГУП “Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности” (ГИРЕДМЕТ),
109017, г. Москва, Ж-17, Б. Толмачевский пер., д. 5.
Директор УНИИМ
Директор “ГИРЕДМЕТ”
В В Леонов
А.В. Елютин