Номер по Госреестру СО: ГСО 4983-89
СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО ФОСФОРОМ
СО изготовлен в виде пластин кремния размерами (5х10х0,5) мм, ионнолегированных фосфором. Качество подготовки пластин кремния удовлетворяет требованиям ТУ 48-4-298-74. Толщина ионнолегированного фосфором слоя не превышает 1 мкм.
СРОК ГОДНОСТИ: 20 лет
СРОК СВИДЕТЕЛЬСТВА: 21.11.2005
НОМЕР ЗАПИСИ:
ДАТА ОПУБЛИКОВАНИЯ:
ПРОИЗВОДИТЕЛЬ: ФГУП "ГИРЕДМЕТ"
СТРАНА: РОССИЯ
НАИМЕНОВАНИЕ АТТЕСТОВАННОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- средний проецированный пробег ионов бора, нм; среднее квадратическое отклонение проецированных пробегов ионов фосфора, нм; концентрация ионов фосфора в максимуме распределения, см-3СПОСОБ УСТАНОВЛЕНИЯ АТТЕСТОВАННОГО ЗНАЧЕНИЯ
- Расчетно-экспериментальныйНазначение стандартного образца
Описание стандартного образца
стандартный образец изготовлен в виде пластин кремния размерами 5x10x0,5 мм, ионнолегированных фосфором. Качество подготовки пластин кремния удовлетворяет требованиям ТУ 48-4-298-74. Толщина ионнолегированного фосфором слоя не превышает 1 мкм.
Знак утверждения типа
Комплектность стандартного образца
Документы, устанавливающие требования к стандартному образцу
Метрологические характеристики
Таблица 1
|
Аттестуемая характеристика СО |
Допускаемое аттестованное значение СО |
Допускаемое значение абсолютной погрешности аттестованного значения СО при доверительной вероятности 0,95 |
|
Средний проецированный пробег ионов фосфора, Rp , нм |
126,9 |
2,2 |
|
Среднее квадратическое отклонение проецированных пробегов ионов фосфора, ARp , нм |
46,7 |
0,6 |
|
Концентрация ионов фосфора в максимуме распределения, '“'max ? СМ |
5,4.1020 |
6,2.1018 |
Таблица 2
|
Аттестуемая характеристика СО |
Расстояние от поверхности, мкм |
Допускаемое аттестованное значение СО, см’3 |
Допускаемое значение абсолютной погрешности аттестованного значения СО при доверительной вероятности Р=0,95, см’3 |
|
Концентрация ионов фосфора |
0,12 |
5,2-1020 |
9,6-Ю18 |
|
0,20 |
1,0-1020 |
1,1-Ю19 | |
|
0,23 |
5,0-Ю19 |
6,1-Ю18 | |
|
0,26 |
1,0-Ю19 |
1,7-Ю18 | |
|
0,28 |
5,0-Ю18 |
7,9-Ю17 | |
|
0,33 |
1,0-Ю18 |
1,5-Ю17 | |
|
0,39 |
5,0-Ю17 |
1,1-Ю17 | |
|
0,51 |
1,0-Ю17 |
6,2-Ю16 |
Срок годности экземпляра СО: 20 лет.
РАЗРАБОТЧИКИ СО:
-
- Уральский научно-исследовательский институт метрологии (УНИИМ),
620219, г. Екатеринбург, ГСП-824, ул. Красноармейская, 4;
-
- ФГУП “Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности” (ГИРЕДМЕТ),
109017, г. Москва, Ж-17, Б. Толмачевский пер., д. 5.
и проектный институт
ИЗГОТОВИТЕЛЬ: ФГУП “Государственный научно-исследовательский редкометаллической промышленности” (ГИРЕДМЕТ),
109017, г. Москва, Ж-17, Б. Толмачевский пер., д. 5.
Директор УНИИМ
Директор ГИРЕДМЕТ
А.В Елютин
В В Леонов
X
Статистика
Кол-во поверок -
Кол-во поверок (подведы РСТ) -
Кол-во поверок (неподведы РСТ) -
Кол-во поверок (гос. организации) -
Кол-во поверок (чвстники) -
Кол-во владельцев - 0
Все стандартные образцы ФГУП "ГИРЕДМЕТ"
| Номер в реестре | Наименование СО | Статус |
|---|---|---|
| ГСО 332-73/334-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический n-типа), комплект | Срок действия истек |
| ГСО 338-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический n-типа), комплект | Срок действия истек |
| ГСО 340-73/341-73 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический n-типа), комплект | Срок действия истек |
| ГСО 606-74/611-74 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (кремний монокристаллический n-типа), комплект | Срок действия истек |
| ГСО 4366-88/4369-88 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ), комплект УЭСР | Срок действия истек |
| ГСО 4450-88/4453-88 | СО УДЕЛЬНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ (КРЕМНИЙ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ), комплект УЭСУ | Срок действия истек |
| ГСО 4982-89 | СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО БОРОМ | Срок действия истек |
| ГСО 4983-89 | СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО ФОСФОРОМ | Срок действия истек |
| ГСО 5441-90 | СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО КРЕМНИЕМ (АГ-Si) | Срок действия истек |
| ГСО 5442-90 | СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО ХРОМОМ (АГ-Сr) | Срок действия истек |
Владельцы ГСО 4983-89 СО СОСТАВА ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ИОННОЛЕГИРОВАННОГО ФОСФОРОМ
| Организация | Кол-во поверок |
|---|
Приложение к сертификату № 1554 (обязательное)
ОПИСАНИЕ ТИПА ГСО
Стандартный образец состава поверхностных слоев монокристаллического кремния, ионнолегированного фосфором
ВНЕСЕН В ГОСУДАРСТВЕННЫЙ реестр УТВЕРЖДЕННЫХ ТИПОВ ГСО
Регистрационный номер
ГСО 4983-89
ВЫПУСКАЕТСЯ ПО НД: партия СО выпущена в ноябре 1988 г. по техническому заданию, утвержденному 20.07.88.
НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ: стандартный образец предназначен для градуировки масс-спектрометров вторичных ионов и других приборов, используемых для определения малых содержаний фосфора от 1,0-101' до 5,2-1020 см-3 в материалах и изделиях электронной техники на основе кремния; для метрологической аттестации методик послойного анализа поверхностных слоев кремния на содержание фосфора; для установления метрологических характеристик отраслевых стандартных образцов (ОСО) и стандартных образцов предприятий (СОП) методом сравнения, для контроля погрешностей методик выполнения измерений (МВИ) содержания фосфора в кремнии монокристаллическом при анализе состава поверхностных слоев.
Область применения - электронная промышленность, цветная металлургия и др. отрасли.
НОРМАТИВНЫЕ ДОКУМЕНТЫ, определяющие необходимость применения СО
-
- на методы градуировки средств измерений: МИ 2345-95 ГСИ. Характеристики градуировочные средств измерений состава и свойств веществ и материалов. Методика выполнения измерений с использованием стандартных образцов;
-
- на методы метрологической аттестации МВИ: МИ 2336-95 ГСИ. Характеристики погрешности результатов количественного химического анализа. Алгоритмы оценивания;
-
- на методы испытаний: МИ 2258-93 ГСИ. Стандартные образцы. Оценивание метрологических характеристик с использованием эталонов и образцовых средств измерений;
-
- на методы контроля погрешностей МВИ: МИ 2335-95 ГСИ. Внутренний контроль качества результатов количественного химического анализа,
-
- другие документы: инструкция по применению ГСО.
ОПИСАНИЕ: стандартный образец изготовлен в виде пластин кремния размерами 5x10x0,5 мм, ионнолегированных фосфором. Качество подготовки пластин кремния удовлетворяет требованиям ТУ 48-4-298-74. Толщина ионнолегированного фосфором слоя не превышает 1 мкм.
НОРМИРОВАННЫЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:
Таблица 1
|
Аттестуемая характеристика СО |
Допускаемое аттестованное значение СО |
Допускаемое значение абсолютной погрешности аттестованного значения СО при доверительной вероятности 0,95 |
|
Средний проецированный пробег ионов фосфора, Rp , нм |
126,9 |
2,2 |
|
Среднее квадратическое отклонение проецированных пробегов ионов фосфора, ARp , нм |
46,7 |
0,6 |
|
Концентрация ионов фосфора в максимуме распределения, '“'max ? СМ |
5,4.1020 |
6,2.1018 |
Таблица 2
|
Аттестуемая характеристика СО |
Расстояние от поверхности, мкм |
Допускаемое аттестованное значение СО, см’3 |
Допускаемое значение абсолютной погрешности аттестованного значения СО при доверительной вероятности Р=0,95, см’3 |
|
Концентрация ионов фосфора |
0,12 |
5,2-1020 |
9,6-Ю18 |
|
0,20 |
1,0-1020 |
1,1-Ю19 | |
|
0,23 |
5,0-Ю19 |
6,1-Ю18 | |
|
0,26 |
1,0-Ю19 |
1,7-Ю18 | |
|
0,28 |
5,0-Ю18 |
7,9-Ю17 | |
|
0,33 |
1,0-Ю18 |
1,5-Ю17 | |
|
0,39 |
5,0-Ю17 |
1,1-Ю17 | |
|
0,51 |
1,0-Ю17 |
6,2-Ю16 |
Срок годности экземпляра СО: 20 лет.
РАЗРАБОТЧИКИ СО:
-
- Уральский научно-исследовательский институт метрологии (УНИИМ),
620219, г. Екатеринбург, ГСП-824, ул. Красноармейская, 4;
-
- ФГУП “Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности” (ГИРЕДМЕТ),
109017, г. Москва, Ж-17, Б. Толмачевский пер., д. 5.
и проектный институт
ИЗГОТОВИТЕЛЬ: ФГУП “Государственный научно-исследовательский редкометаллической промышленности” (ГИРЕДМЕТ),
109017, г. Москва, Ж-17, Б. Толмачевский пер., д. 5.
Директор УНИИМ
Директор ГИРЕДМЕТ
А.В Елютин
В В Леонов
X