Номер по Госреестру СО: ГСО 9890-2011
СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-3)
материал СО представляет собой пластину монокристаллического кремния марки КЭС 0.01 (поверхность (111)) с покрытием осажденного карбида кремния из парогазовой среды карбида дикремния и кремния (остаточное давление воздуха ~10 Па) при температуре 1300 град. Цельсия. Экземпляр СО помещен в пластиковую коробку размерами 50х50х20 мм, оснащенную антистатическим гелиевым покрытием (Gel-Box AD-22AS-00-X фирмы Gel-Pak (Хайвард, Канада)), помещаемую в герметичный картонный контейнер (коробку) с поролоновой прокладкой.
СРОК ГОДНОСТИ: 3 года
СРОК СВИДЕТЕЛЬСТВА: 07.09.2016
НОМЕР ЗАПИСИ: 1026
ДАТА ОПУБЛИКОВАНИЯ: 18.05.2018
ПРОИЗВОДИТЕЛЬ: ФГУП "НИФХИ им. Л.Я. Карпова"
СТРАНА: Россия
НАИМЕНОВАНИЕ АТТЕСТОВАННОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- фактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма), нм; фактор острийности нанорельефа (параметра S(Lo-1)), (нм)2 мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-всплесков нанорельефа (Lo), мкм; фактор длинны корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L1), мкм; параметр затухания корреляций нерегулярностей-скачков нанорельефа (параметр Н1 - константа Херста); параметр затухания корреляций нерегулярностей-всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума n)СПОСОБ УСТАНОВЛЕНИЯ АТТЕСТОВАННОГО ЗНАЧЕНИЯ
- Применение аттестованных методик измеренийНазначение стандартного образца
для метрологической аттестации методик измерений локальных 3D параметров поверхности в нанометровом диапазоне; контроля погрешностей методик измерений в процессе их применения в соответствии с установленными в них алгоритмами, а также для метрологического контроля средств измерений.Описание стандартного образца
Материал СО представляет собой пластину монокристаллического кремния марки КЭС 0.01 (поверхность (111)) с покрытием осажденного карбида кремния из парогазовой среды карбида дикремния и кремния (остаточное давление воздуха ~ 10 Па) при температуре 1300 0С. Экземпляр ГСО помещен в пластиковую коробку размерами 50х50х20 мм, оснащенную антистатическим гелиевым покрытием (Gel-Box AD-22AS-00-X, фирмы Gel-Pak (Хайвард, Канада)), помещаемую в герметичный картонный контейнер (коробку) с поролоновой прокладкой.Знак утверждения типа
Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в правом верхнем углу этикетки стандартного образца утвержденного типа. ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ СВЕДЕНИЯ:ГСО хранят при температуре от 4 °С до 30 °С. Транспортирование допускается любым видом транспорта при недопустимости ударов и попадания влаги, при температуре в диапазоне от 4 °С до 30 °С и влажности не более 75 %.
Комплектность стандартного образца
Документы, устанавливающие требования к стандартному образцу
Метрологические характеристики
Аттестуемые характеристики: фактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма), нм; фактор острийности нанорельефа (параметра S(L0-1)), (нм)2мкм; фактор длины корреляции для нерегулярностей-всплесков нанорельефа (L0), мкм; фактор длины корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L1), мкм; параметр затухания корреляций нерегулярностей-скачков нанорельефа (параметр Н1 - константа Херста); параметр затухания корреляций нерегулярностей-всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума n).
Таблица - Нормированные метрологические характеристики
|
Индекс СО |
Наименование аттестуемой характеристики СО |
Обозначение единицы величины |
Интервал допускаемых аттестованных значений |
Границы допускаемых значений относительной погрешности при Р= 0,95, % |
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
СО-НИФХИ-3 |
Фактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма) |
нм |
от 1,0 до 25,0 |
±32,1 |
|
Фактор острийности нанорельефа (параметра S(L0-1)) |
(нм)2мкм |
от 0,1 до 8,0 |
±38,6 | |
|
Фактор длины корреляции для нерегулярностей- всплесков нанорельефа (L0) |
мкм |
от 0,05 до 0,5 |
±25,8 | |
|
Фактор длины корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L1) |
мкм |
от 0,05 до 0,5 |
±22,2 | |
|
Параметр затухания корреляций нерегулярностей- скачков нанорельефа (параметр Н1 - константа Херста) |
от 0,5 до 2,0 |
±26,1 |
Приложение к свидетельству № 2085 об утверждении типа стандартных образцов (обязательное)
Окончание таблицы
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
СО-НИФХИ-3 |
Параметр затухания корреляций нерегуляр-ностей- всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума п) |
от 2,0 до 3,7 |
±16,0 |
СРОК ГОДНОСТИ ЭКЗЕМПЛЯРА: 3 года.
Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в правом верхнем углу этикетки стандартного образца утвержденного типа.
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ СВЕДЕНИЯ:ГСО хранят при температуре от 4 °С до 30 °С. Транспортирование допускается любым видом транспорта при недопустимости ударов и попадания влаги, при температуре в диапазоне от 4 °С до 30 °С и влажности не более 75 %.
РАЗРАБОТЧИК: - ФГУП «Ордена Трудового Красного Знамени научноисследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова» (ФГУП «НИФХИ им. Л.Я. Карпова»).
Россия, 105064, г. Москва, пер. Обуха, д. 3-1/12, стр. 6.
ИЗГОТОВИТЕЛЬ: -ФГУП «Ордена Трудового Красного Знамени научноисследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова» (ФГУП «НИФХИ им. Л.Я. Карпова»).
Россия, 105064, г. Москва, пер. Обуха, д. 3-1/12, стр. 6.
Заместитель
|
Руководителя Федерального агентства |
_ Е.Р.Петросян | |
|
по техническому регулированию |
подпись |
расшифровка подписи |
|
и метрологии |
М.п. « » |
___________2011 г. |
Статистика
Кол-во поверок - 2
Кол-во поверок (подведы РСТ) -
Кол-во поверок (неподведы РСТ) - 2
Кол-во поверок (гос. организации) -
Кол-во поверок (чвстники) - 2
Кол-во владельцев - 1
Все стандартные образцы ФГУП "НИФХИ им. Л.Я. Карпова"
| Номер в реестре | Наименование СО | Статус |
|---|---|---|
| ГСО 9892-2011 | СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-5) | Срок действия истек |
| ГСО 9891-2011 | СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-4) | Срок действия истек |
| ГСО 9890-2011 | СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-3) | Срок действия истек |
| ГСО 9889-2011 | СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-2) | Срок действия истек |
| ГСО 9888-2011 | СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-1) | Срок действия истек |
Владельцы ГСО 9890-2011 СО ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-3)
| Организация | Кол-во поверок |
|---|---|
| ООО "ЦМС ПРОГРЕСС" | 2 шт. |
Лист № 1
всего листов 3
Приложение к свидетельству № 2085 об утверждении типа стандартных образцов (обязательное)
ОПИСАНИЕ ТИПА СТАНДАРТНОГО ОБРАЗЦА УТВЕРЖДЕННОГО ТИПА СТАНДАРТНЫЙ ОБРАЗЕЦ ЛОКАЛЬНЫХ 3D ПАРАМЕТРОВ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ В НАНОМЕТРОВОМ ДИАПАЗОНЕ (СО-НИФХИ-3) ГСО 9890-2011 ДОКУМЕНТЫ, устанавливающие требования к метрологическим и техническим характеристикам и выпуску из производства:-
- техническое задание, утвержденное 02 февраля 2011 г.,
-
- программа испытаний стандартного образца серийного выпуска в целях утверждения типа, утвержденная 02.02.2011 г.
-
- программа испытаний стандартного образца для серийного производства, утвержденная 02.02.2011 г.
Периодичность актуализации технической документации на тип стандартного образца не реже одного раза в пять лет.
ФОРМА ВЫПУСКА:-
- серийное производство периодически повторяющимися партиями.
-
- партия № 1, апрель 2011 г.
НАЗНАЧЕНИЕ: для метрологической аттестации методик измерений локальных 3D параметров поверхности в нанометровом диапазоне; контроля погрешностей методик измерений в процессе их применения в соответствии с установленными в них алгоритмами, а также для метрологического контроля средств измерений.
СФЕРА ПРИМЕНЕНИЯ:-
- сфера государственного регулирования: выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
-
- область применения: нанотехнологии, научные исследования.
ДОКУМЕНТЫ, определяющие применение:
-
- на методы метрологической аттестации МВИ:
-
- ГОСТ Р 8.563-2009 ГСИ. Методики (методы) измерений;
-
- ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Основные положения и определения;
-
- ГОСТ Р ИСО 5725-2-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерений;
Лист № 2 всего листов 3 Приложение к свидетельству № 2085 об утверждении типа стандартных образцов
(обязательное)
- ГОСТ Р ИСО 5725-3-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 3. Промежуточные показатели прецизионности стандартного метода измерений;
- ГОСТ Р ИСО 5725-4-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 4.Основные методы определения правильности стандартного метода измерений;
- на методы контроля погрешностей МВИ: ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 6. Использование значений точности на практике.
ОПИСАНИЕ: Материал СО представляет собой пластину монокристаллического кремния марки КЭС 0.01 (поверхность (111)) с покрытием осажденного карбида кремния из парогазовой среды карбида дикремния и кремния (остаточное давление воздуха ~ 10 Па) при температуре 1300 0С. Экземпляр ГСО помещен в пластиковую коробку размерами 50х50х20 мм, оснащенную антистатическим гелиевым покрытием (Gel-Box AD-22AS-00-X, фирмы Gel-Pak (Хайвард, Канада)), помещаемую в герметичный картонный контейнер (коробку) с поролоновой прокладкой.
НОРМИРОВАННЫЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:Аттестуемые характеристики: фактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма), нм; фактор острийности нанорельефа (параметра S(L0-1)), (нм)2мкм; фактор длины корреляции для нерегулярностей-всплесков нанорельефа (L0), мкм; фактор длины корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L1), мкм; параметр затухания корреляций нерегулярностей-скачков нанорельефа (параметр Н1 - константа Херста); параметр затухания корреляций нерегулярностей-всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума n).
Таблица - Нормированные метрологические характеристики
|
Индекс СО |
Наименование аттестуемой характеристики СО |
Обозначение единицы величины |
Интервал допускаемых аттестованных значений |
Границы допускаемых значений относительной погрешности при Р= 0,95, % |
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
СО-НИФХИ-3 |
Фактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма) |
нм |
от 1,0 до 25,0 |
±32,1 |
|
Фактор острийности нанорельефа (параметра S(L0-1)) |
(нм)2мкм |
от 0,1 до 8,0 |
±38,6 | |
|
Фактор длины корреляции для нерегулярностей- всплесков нанорельефа (L0) |
мкм |
от 0,05 до 0,5 |
±25,8 | |
|
Фактор длины корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L1) |
мкм |
от 0,05 до 0,5 |
±22,2 | |
|
Параметр затухания корреляций нерегулярностей- скачков нанорельефа (параметр Н1 - константа Херста) |
от 0,5 до 2,0 |
±26,1 |
Приложение к свидетельству № 2085 об утверждении типа стандартных образцов (обязательное)
Окончание таблицы
|
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
СО-НИФХИ-3 |
Параметр затухания корреляций нерегуляр-ностей- всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума п) |
от 2,0 до 3,7 |
±16,0 |
СРОК ГОДНОСТИ ЭКЗЕМПЛЯРА: 3 года.
Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в правом верхнем углу этикетки стандартного образца утвержденного типа.
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ СВЕДЕНИЯ:ГСО хранят при температуре от 4 °С до 30 °С. Транспортирование допускается любым видом транспорта при недопустимости ударов и попадания влаги, при температуре в диапазоне от 4 °С до 30 °С и влажности не более 75 %.
РАЗРАБОТЧИК: - ФГУП «Ордена Трудового Красного Знамени научноисследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова» (ФГУП «НИФХИ им. Л.Я. Карпова»).
Россия, 105064, г. Москва, пер. Обуха, д. 3-1/12, стр. 6.
ИЗГОТОВИТЕЛЬ: -ФГУП «Ордена Трудового Красного Знамени научноисследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова» (ФГУП «НИФХИ им. Л.Я. Карпова»).
Россия, 105064, г. Москва, пер. Обуха, д. 3-1/12, стр. 6.
Заместитель
|
Руководителя Федерального агентства |
_ Е.Р.Петросян | |
|
по техническому регулированию |
подпись |
расшифровка подписи |
|
и метрологии |
М.п. « » |
___________2011 г. |