Лист № 1

всего листов 3

Приложение к свидетельству № 2086 об утверждении типа стандартных образцов (обязательное)

• - техническое задание, утвержденное 02 февраля 2011 г.,

• - программа испытаний стандартного образца серийного выпуска в целях утверждения типа, утвержденная 02.02.2011 г.

• - программа испытаний стандартного образца для серийного производства, утвержденная 02.02.2011 г.

Периодичность актуализации технической документации на тип стандартного образца не реже одного раза в пять лет.

• - серийное производство периодически повторяющимися партиями.

• - партия № 1, апрель 2011 г.

НАЗНАЧЕНИЕ: для метрологической аттестации методик измерений локальных 3D параметров поверхности в нанометровом диапазоне; контроля погрешностей методик измерений в процессе их применения в соответствии с установленными в них алгоритмами, а также для метрологического контроля средств измерений.

• - сфера государственного регулирования: выполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции и продукции других видов, а также иных объектов установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.

• - область применения: нанотехнологии, научные исследования.

ДОКУМЕНТЫ, определяющие применение:

• - на методы метрологической аттестации МВИ:

• - ГОСТ Р 8.563-2009 ГСИ. Методики (методы) измерений;

• - ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Основные положения и определения;

• - ГОСТ Р ИСО 5725-2-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерений;

Лист № 2 всего листов 3 Приложение к свидетельству № 2086 об утверждении типа стандартных образцов

(обязательное)

- ГОСТ Р ИСО 5725-3-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 3. Промежуточные показатели прецизионности стандартного метода измерений;

- ГОСТ Р ИСО 5725-4-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 4.Основные методы определения правильности стандартного метода измерений;

- на методы контроля погрешностей МВИ: ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 6. Использование значений точности на практике.

ОПИСАНИЕ: Материал СО представляет собой пластину монокристаллического кремния с покрытием платины. При изготовлении образцов использовался кремний марки КЭС 0.01, плоскость (100), удельное сопротивление 0,01 Ом^см, с размерами 5 x 5 x 0,5 мм. Методом катодного магнетронного распыления на установке JFC-1600 (фирма JEOL) в атмосфере воздуха (остаточное давление 5 Па) на пластины кремния при задании ионного тока 40 мА в течение 600 с наносился слой платины (99,99%) толщиной 260 нм. Затем образец отжигался сначала при температуре 550 °С в течение 2 часов, а затем при 650 °С в течение 2 часов. Экземпляр ГСО помещен в пластиковую коробку размерами 50х50х20 мм, оснащенную антистатическим гелиевым покрытием (Gel-Box AD-22AS-00-X, фирмы Gel-Pak (Хайвард, Канада)), помещаемую в герметичный картонный контейнер (коробку) с поролоновой прокладкой.

Аттестуемые характеристики: фактор ступенчатости нанорельефа (параметр сигма), нм; фактор острийности нанорельефа (параметра S(L₀^-1)), (нм)²мкм; фактор длины корреляции для нерегулярностей-всплесков нанорельефа (L₀), мкм; фактор длины корреляции для нерегулярностей-скачков нанорельефа (L₁), мкм; параметр затухания корреляций нерегулярностей-скачков нанорельефа (параметр Н₁ - константа Херста); параметр затухания корреляций нерегулярностей-всплесков нанорельефа (параметр фликкер-шума n).

Таблица - Нормированные метрологические характеристики

Приложение к свидетельству № 2086 об утверждении типа стандартных образцов (обязательное)

Окончание таблицы

СРОК ГОДНОСТИ ЭКЗЕМПЛЯРА: 3 года

Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в правом верхнем углу этикетки стандартного образца утвержденного типа.

ГСО хранят при температуре от 4 °С до 30 °С. Транспортирование допускается любым видом транспорта при недопустимости ударов и попадания влаги, при температуре в диапазоне от 4 °С до 30 °С и влажности не более 75 %.

РАЗРАБОТЧИК: - ФГУП «Ордена Трудового Красного Знамени научноисследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова» (ФГУП «НИФХИ им. Л.Я. Карпова»).

Россия, 105064, г. Москва, пер. Обуха, д. 3-1/12, стр. 6.

ИЗГОТОВИТЕЛЬ: -ФГУП «Ордена Трудового Красного Знамени научноисследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова» (ФГУП «НИФХИ им. Л.Я. Карпова»).

Россия, 105064, г. Москва, пер. Обуха, д. 3-1/12, стр. 6.

Заместитель