Приложение к свидетельству № 2301

об утверждении типа стандартных образцов

(обязательное)

Лист № 1

всего листов 3

- техническое задание на разработку стандартного образца свойств полупроводниковой подложки на основе германиевой пластины (СО ГМФ-Э1), утвержденное 09.2011 г.

- программа испытаний стандартного образца свойств полупроводниковой подложки на основе германиевой пластины (СО ГМФ-Э1) в целях утверждения типа, утвержденная 09.2011 г.

- программа испытаний стандартного образца свойств полупроводниковой подложки на основе германиевой пластины (СО ГМФ-Э1) серийного выпуска, утвержденная 09.2011 г.

Периодичность актуализации технической документации на тип стандартного образца - не реже одного раза в пять лет.

ФОРМА ВЫПУСКА: серийное производство периодически повторяющимися партиями.

НОМЕР ЭКЗЕМПЛЯРА (ПАРТИИ), ДАТА ВЫПУСКА: партия № 1, дата выпуска -октябрь 2011 г.

НАЗНАЧЕНИЕ: для аттестации методик измерений свойств полупроводниковой подложки на основе германиевой пластины, контроля точности методик измерений в соответствии с установленными в них алгоритмами, могут применяться для поверки, калибровки средств измерений при соответствии метрологических характеристик СО требованиям метрологического контроля.

• - сфера государственного регулирования: осуществление мероприятий государственного контроля (надзора);

• - область применения: научные исследования, наноиндустрия.

• - на методы измерений: методики измерений свойств полупроводниковой подложки на основе германиевой пластины.

-на методики поверки (калибровки): ГОСТ 8.557-2007 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений спектральных, интегральных и редуцированных коэффициентов направленного пропускания и оптической плотности в диапазоне длин волн от 0,2 до 50,0 мкм, диффузионного и зеркального отражений в диапазоне длин волн от 0,2 до 20,0 мкм».

- ГОСТ Р 8.563-2009 «ГСИ. Методики (методы) измерений»;

- ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002 «Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Основные положения и определения»;

- ГОСТ Р ИСО 5725-2-2002 «Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерений»;

- ГОСТ Р ИСО 5725-3-2002 «Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 3. Промежуточные показатели прецизионности стандартного метода измерений»;

- ГОСТ Р ИСО 5725-4-2002 «Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 4.Основные методы определения правильности стандартного метода измерений»;

- на методы контроля погрешностей методики измерений: ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002 «Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 6. Использование значений точности на практике».

ОПИСАНИЕ: Стандартный образец представляет собой оптически прозрачную, в заданном спектральном диапазоне, полупроводниковую подложку германия монокристаллического и представляющую собой круглую пластину диаметром 76,2 мм с кристаллографической ориентацией (211), базовым срезом по плоскости (110).

Комплект поставки: СО в пластмассовой коробке с этикеткой, паспорт.

Аттестуемые характеристики - шероховатость рабочей поверхности подложки, нм; плоскостность рабочей поверхности подложки, мкм; оптическое пропускание в диапазоне длин волн 3-5 и 8-12 мкм, %; границы допускаемых значений абсолютной погрешности СО при Р=0,95.

Т а б л и ц а 1 - Нормированные метрологические характеристики

ПЕРИОДИЧНОСТЬ КОНТРОЛЯ: 1 раз в 6 месяцев.

Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в правом верхнем углу этикетки СО утвержденного типа.

Электрофизические параметры СО представлены в таблице 2.

Т а б л и ц а 2

РАЗРАБОТЧИК: - ФГУП «НПО «Орион», 111123, г. Москва, Ш. Энтузиастов, д.46/2.

ИЗГОТОВИТЕЛЬ: - ФГУП «НПО «Орион», 111123, г. Москва, Ш. Энтузиастов, д.46/2.

подпись            расшифровка подписи