Номер по Госреестру СО: ГСО 9997-2011
СО СОСТАВА И СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ GaAs-AlAs СО СЛОЯМИ НАНОРАЗМЕРНЫХ ТОЛЩИН (СО ГС-СР)
материал СО представляет собой периодическую многослойную гетероструктуру со сверхрешеткой GaAs-AlAs, состоящей из пяти пар нелегированных слоев GaAs и AlAs со слоями наноразмерных толщин. СО изготавливаются в форме квадрата размером 10х10 мм2 с допуском не более 1 мм2 с гладкой рабочей поверхностью. Каждый экземпляр СО помещен в индивидуальную упаковку (пластиковый контейнер), который помещен в полиэтиленовый пакет, который заполнен инертной средой и запаян. На поверхность пакета нанесена этикетка.
СРОК ГОДНОСТИ: 5 лет
СРОК СВИДЕТЕЛЬСТВА: 22.11.2016
НОМЕР ЗАПИСИ: 1283
ДАТА ОПУБЛИКОВАНИЯ: 18.05.2018
ПРОИЗВОДИТЕЛЬ: ФТИ им. А.Ф. Иоффе
СТРАНА: Россия
НАИМЕНОВАНИЕ АТТЕСТОВАННОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- атомная доля атомов Ga в слое GaAs и атомов Al в слое AlAs, отн.ед. (номер слоя СО: 2,3,4,5,6,7,8,9,10; состав слоя, соответственно: AlAs, GaAs, AlAs, GaAs, AlAs, GaAs, AlAs, GaAs, AlAs) толщина слоя, нм (номер слоя СО: 2,3,4,5,6,7,8,9,10; состав слоя, соответственно: AlAs, GaAs, AlAs, GaAs, AlAs, GaAs, AlAs, GaAs, AlAs)СПОСОБ УСТАНОВЛЕНИЯ АТТЕСТОВАННОГО ЗНАЧЕНИЯ
- Применение аттестованных методик измеренийНазначение стандартного образца
для метрологической аттестации методик измерений толщины слоев, основанных на методе рентгеновской рефлектометрии, и для контроля погрешностей методик измерений толщины слоев в процессе их применения в соответствии с установленными в них алгоритмами, а также для калибровки средств измерений оже-электронной спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии.Описание стандартного образца
Материал СО представляет собой периодическую многослойную гетероструктуру со сверхрешеткой GaAs-AlAs, состоящей из пяти пар нелегированных слоев GaAs и AlAs со слоями наноразмерных толщин.
СО изготавливаются в форме квадрата размером 10x10 мм2 с допуском не более 1 мм2 с гладкой рабочей поверхностью.
Каждый экземпляр СО помещен в индивидуальную упаковку (пластиковый контейнер), который помещен в полиэтиленовый пакет, который заполнен инертной средой и запаян. На поверхность пакета нанесена этикетка.
Знак утверждения типа
Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в правом верхнем углу этикетки стандартного образца утвержденного типа.ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ СВЕДЕНИЯ: прослеживаемость стандартных образцов обеспечивается применением поверенного высокоразрешающего рентгеновского дифрактометра модели D8 DISCOVER, BRUKER. Рентгеновский дифрактометр поверен с применением стандартного образца утвержденного типа категории ГСО: СО дифракционных свойств кристаллической решётки (оксид алюминия) ГСО 9464-2009 (SRM 1976а). Размытость межслоевых границ со 2 по 10 слой гетероструктры не более 1 нм.
Комплектность стандартного образца
Документы, устанавливающие требования к стандартному образцу
Метрологические характеристики
Аттестованные характеристики - толщина слоя, нм, атомная доля атомов Ga в слое GaAs и атомов Al в слое AlAs, отн. ед., приведены в таблице 1
Таблица 1 - Нормированные метрологические характеристики СО
|
Но мер слоя |
Наименование аттестуемой характеристики СО | ||||
|
Толщина слоя |
Атомная доля ато GaAs и атомов Al |
мов Ga в слое в слое AlAs |
Состав слоя | ||
|
Интервал допускаемых аттестованных значений, нм |
Границы допускаемых значений абсолютной погрешности (Р = 0,95), нм |
Интервал допускаемых аттестованных значений, отн. ед. |
Границы допускаемых значений относительной погрешности (Р = 0,95), % | ||
|
2 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
|
3 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
GaAs |
|
4 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
|
5 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
GaAs |
|
6 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
|
7 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
GaAs |
|
8 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
|
9 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
GaAs |
|
10 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
СРОК ГОДНОСТИ ЭКЗЕМПЛЯРА: 5 лет.
Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в правом верхнем углу этикетки стандартного образца утвержденного типа.
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ СВЕДЕНИЯ: прослеживаемость стандартных образцов обеспечивается применением поверенного высокоразрешающего рентгеновского дифрактометра модели D8 DISCOVER, BRUKER. Рентгеновский дифрактометр поверен с применением стандартного образца утвержденного типа категории ГСО: СО дифракционных свойств кристаллической решётки (оксид алюминия) ГСО 9464-2009 (SRM 1976а). Размытость межслоевых границ со 2 по 10 слой гетероструктры не более 1 нм.
РАЗРАБОТЧИК: - Учреждение Российской академии наук Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН (ФТИ им. А.Ф. Иоффе). 194021, г. Санкт-Петербург, ул. Политехническая, д. 26.
ИЗГОТОВИТЕЛЬ:- Учреждение Российской академии наук Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН (ФТИ им. А.Ф. Иоффе). 194021, г. Санкт-Петербург, ул. Политехническая, д. 26.
Заместитель Руководителя Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии ____________ Е.Р.Петросянподпись расшифровка подписи
М.П. «___»______________2011 г.Статистика
Кол-во поверок -
Кол-во поверок (подведы РСТ) -
Кол-во поверок (неподведы РСТ) -
Кол-во поверок (гос. организации) -
Кол-во поверок (чвстники) -
Кол-во владельцев - 0
Все стандартные образцы ФТИ им. А.Ф. Иоффе
| Номер в реестре | Наименование СО | Статус |
|---|---|---|
| ГСО 9997-2011 | СО СОСТАВА И СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ GaAs-AlAs СО СЛОЯМИ НАНОРАЗМЕРНЫХ ТОЛЩИН (СО ГС-СР) | Срок действия истек |
| ГСО 9996-2011 | СО СОСТАВА И СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ GaAs-AlAs СО СЛОЯМИ GaAs НАНОРАЗМЕРНЫХ ТОЛЩИН И ДЕЛЬТА-СЛОЕВ AlAs (СО ГС-Д) | Срок действия истек |
Владельцы ГСО 9997-2011 СО СОСТАВА И СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ GaAs-AlAs СО СЛОЯМИ НАНОРАЗМЕРНЫХ ТОЛЩИН (СО ГС-СР)
| Организация | Кол-во поверок |
|---|
Приложение к свидетельству № 2364
об утверждении типа стандартных образцов
(обязательное)
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СТАНДАРТНОГО ОБРАЗЦА
УТВЕРЖДЕННОГО ТИПА СТАНДАРТНЫЙ ОБРАЗЕЦ СОСТАВА И СВОЙСТВ МНОГОСЛОЙНОЙ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ НА ОСНОВЕ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ GaAs-AlAs СО СЛОЯМИ НАНОРАЗМЕРНЫХ ТОЛЩИН (СО ГС-СР)
ГСО 9997-2011
ДОКУМЕНТЫ, устанавливающие требования к метрологическим и техническим характеристикам и выпуску из производства:- «Техническое задание на разработку стандартного образца состава и свойств многослойной гетероструктуры на основе твердых растворов GaAs-AlAs со слоями наноразмерных толщин (СО ГС-СР)», утвержденное в сентябре 2011 г.,
-
- «Программа испытаний стандартного образца состава и свойств многослойной гетероструктуры на основе твердых растворов GaAs-AlAs со слоями наноразмерных толщин (СО ГС-СР) в целях утверждения типа», утвержденная в сентябре 2011 г.,
-
- «Программа испытаний стандартного образца состава и свойств многослойной гетероструктуры на основе твердых растворов GaAs-AlAs со слоями наноразмерных толщин (СО ГС-СР) серийного производства», утвержденная в сентябре 2011 г.
Периодичность актуализации технической документации на тип стандартного образца не реже одного раза в пять лет.
ФОРМА ВЫПУСКА: серийное производство периодически повторяющимися партиями.
НОМЕР ПАРТИИ, ДАТА ВЫПУСКА: партия № 1, дата выпуска сентябрь 2011 г.
НАЗНАЧЕНИЕ: для метрологической аттестации методик измерений толщины слоев, основанных на методе рентгеновской рефлектометрии, и для контроля погрешностей методик измерений толщины слоев в процессе их применения в соответствии с установленными в них алгоритмами, а также для калибровки средств измерений оже-электронной спектроскопии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии.
СФЕРА ПРИМЕНЕНИЯ:-
- сфера государственного регулирования: вне сферы государственного регулирования обеспечения единства измерений;
-
- область применения: наноиндустрия, научные исследования.
-
- ГОСТ Р ИСО 5725-2002 (части 1-6) Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений.
Материал СО представляет собой периодическую многослойную гетероструктуру со сверхрешеткой GaAs-AlAs, состоящей из пяти пар нелегированных слоев GaAs и AlAs со слоями наноразмерных толщин.
СО изготавливаются в форме квадрата размером 10x10 мм2 с допуском не более 1 мм2 с гладкой рабочей поверхностью.
Каждый экземпляр СО помещен в индивидуальную упаковку (пластиковый контейнер), который помещен в полиэтиленовый пакет, который заполнен инертной средой и запаян. На поверхность пакета нанесена этикетка.
НОРМИРОВАННЫЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:Аттестованные характеристики - толщина слоя, нм, атомная доля атомов Ga в слое GaAs и атомов Al в слое AlAs, отн. ед., приведены в таблице 1
Таблица 1 - Нормированные метрологические характеристики СО
|
Но мер слоя |
Наименование аттестуемой характеристики СО | ||||
|
Толщина слоя |
Атомная доля ато GaAs и атомов Al |
мов Ga в слое в слое AlAs |
Состав слоя | ||
|
Интервал допускаемых аттестованных значений, нм |
Границы допускаемых значений абсолютной погрешности (Р = 0,95), нм |
Интервал допускаемых аттестованных значений, отн. ед. |
Границы допускаемых значений относительной погрешности (Р = 0,95), % | ||
|
2 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
|
3 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
GaAs |
|
4 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
|
5 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
GaAs |
|
6 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
|
7 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
GaAs |
|
8 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
|
9 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
GaAs |
|
10 |
8,00 - 12,00 |
±0,60 |
0,475 - 0,525 |
±5,0 |
AlAs |
СРОК ГОДНОСТИ ЭКЗЕМПЛЯРА: 5 лет.
Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в правом верхнем углу этикетки стандартного образца утвержденного типа.
ДОПОЛНИТЕЛЬНЫЕ СВЕДЕНИЯ: прослеживаемость стандартных образцов обеспечивается применением поверенного высокоразрешающего рентгеновского дифрактометра модели D8 DISCOVER, BRUKER. Рентгеновский дифрактометр поверен с применением стандартного образца утвержденного типа категории ГСО: СО дифракционных свойств кристаллической решётки (оксид алюминия) ГСО 9464-2009 (SRM 1976а). Размытость межслоевых границ со 2 по 10 слой гетероструктры не более 1 нм.
РАЗРАБОТЧИК: - Учреждение Российской академии наук Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН (ФТИ им. А.Ф. Иоффе). 194021, г. Санкт-Петербург, ул. Политехническая, д. 26.
ИЗГОТОВИТЕЛЬ:- Учреждение Российской академии наук Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН (ФТИ им. А.Ф. Иоффе). 194021, г. Санкт-Петербург, ул. Политехническая, д. 26.
Заместитель Руководителя Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии ____________ Е.Р.Петросянподпись расшифровка подписи
М.П. «___»______________2011 г.