Лист № 1

всего листов 3

Приложение к свидетельству № 2375 об утверждении типа стандартных образцов

ОПИСАНИЕ ТИПА СТАНДАРТНОГО ОБРАЗЦА

УТВЕРЖДЕННОГО ТИПА СТАНДАРТНЫЙ ОБРАЗЕЦ

СТРУКТУРЫ НАНОПЕРИОДИЧЕСКОЙ DOFIL-01

ГСО 10008-2011

- техническое задание на разработку стандартного образца структуры нанопериодической DOFIL-01, утвержденное 09.2011 г.;

- программа испытаний стандартного образца структуры нанопериодической DOFIL-01 в целях утверждения типа, утвержденная 10.2011 г.;

- программа испытаний стандартного образца структуры нанопериодической DOFIL-01 серийного выпуска, утвержденная 10.2011 г.

Периодичность актуализации технической документации на тип стандартного образца не реже одного раза в пять лет.

ФОРМА ВЫПУСКА: серийное производство периодически повторяющимися партиями.

НОМЕР ЭКЗЕМПЛЯРА (ПАРТИИ), ДАТА ВЫПУСКА: партия № 1, дата выпуска -сентябрь 2011 г.

НАЗНАЧЕНИЕ: для аттестации методик измерений геометрических размеров, контроля точности методик измерений с установленными в них алгоритмами, могут применяться для поверки и калибровки средств измерений (микроскопов сканирующих зондовых, электронных растровых) при соответствии метрологических характеристик СО требованиям метрологического контроля.

• - сфера государственного регулирования: осуществление мероприятий государственного контроля (надзора);

• - область применения: научные исследования, наноиндустрия.

• - методики измерений геометрических параметров структуры нанопериодической.

• - документы на методики поверки (калибровки) СИ (микроскопов сканирующих зондовых, электронных растровых).

• - ГОСТ Р 8.563-2009 ГСИ. Методики (методы) измерений;

• - ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Основные положения и определения;

• - ГОСТ Р ИСО 5725-2-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерений;

Приложение к свидетельству № 2375 об утверждении типа стандартных образцов (обязательное)

- ГОСТ Р ИСО 5725-3-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 3. Промежуточные показатели прецизионности стандартного метода измерений;

- ГОСТ Р ИСО 5725-4-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 4. Основные методы определения правильности стандартного метода измерений.

- на методы контроля погрешностей методики измерений: ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 6. Использование значений точности на практике.

ОПИСАНИЕ: СО представляет собой квадрат со стороной приблизительно 1 см, вырезанный из подложки кремния кристаллографической ориентации (001), на которой нанесена тонкая плёнка металла Pd толщиной 30-130 нм. В центре образца в квадратной области со стороной приблизительно 80 мкм реализован периодический узор, представляющий собой расположенные в шахматном порядке упорядоченные наборы линий длиной приблизительно 10 мкм, и периодами Т1, Т2, Т3 (см. Рис. 1а) Стандартный образец упакован в пенал, который

предохраняет его от механических повреждений. Комплект поставки: СО в пенале с этикеткой, паспорт.

Рис.1 а - изображение электронно-микроскопическое рабочей области СО структуры нанопериодической DOFIL-01, представляющей собой расположенные в шахматном порядке ансамбли, упорядоченных наборов линий, длиной приблизительно 10 мкм и периодами T1, T2, T3, б - схематическое изображение одного из ансамблей с указанием периодов структуры: T1, T2, T3.

а

Приложение к свидетельству № 2375                                                Лист № 3

об утверждении типа стандартных образцов всего листов 3 (обязательное)

Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в левом верхнем углу этикетки СО утвержденного типа.

РАЗРАБОТЧИК: - Федеральное бюджетное учреждение «Государственный региональный центр стандартизации, метрологии и испытаний в Нижегородской области», (ФБУ "Нижегородский ЦСМ"), 603950, г. Нижний Новгород, ул. Республиканская, д. 1

ИЗГОТОВИТЕЛЬ: - Федеральное бюджетное учреждение «Государственный региональный центр стандартизации, метрологии и испытаний в Нижегородской области», (ФБУ "Нижегородский ЦСМ"), 603950, г. Нижний Новгород, ул. Республиканская, д. 1