Приложение к свидетельству № 2379

об утверждении типа стандартных образцов

(обязательное)

Лист № 1

всего листов 3

- техническое задание на разработку стандартного образца структуры нанопериодической VSDU-1000, утвержденное 09.2011 г.;

- программа испытаний стандартного образца структуры нанопериодической VSDU-1000 в целях утверждения типа, утвержденная 10.2011 г.;

- программа испытаний стандартного образца структуры нанопериодической VSDU-1000 серийного выпуска, утвержденная 10.2011 г.

Периодичность актуализации технической документации на тип стандартного образца не реже одного раза в пять лет.

ФОРМА ВЫПУСКА: серийное производство периодически повторяющимися партиями.

НОМЕР ЭКЗЕМПЛЯРА (ПАРТИИ), ДАТА ВЫПУСКА: партия № 1, дата выпуска -сентябрь 2011 г.

НАЗНАЧЕНИЕ: СО предназначен для аттестации методик измерений геометрических размеров, контроля точности методик измерений с установленными в них алгоритмами, могут применяться для поверки и калибровки средств измерений (микроскопов сканирующих зондовых, электронных растровых) при соответствии метрологических характеристик СО требованиям метрологического контроля.

государственного контроля (надзора);

• - область применения: научные исследования, наноиндустрия.

• - методики измерений геометрических параметров структуры нанопериодической.

• - документы на методики поверки (калибровки) средств измерений (микроскопов сканирующих зондовых, электронных растровых).

• - ГОСТ Р 8.563-2009 ГСИ. Методики (методы) измерений;

• - ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 1. Основные положения и определения;

- ГОСТ Р ИСО 5725-2-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 2. Основной метод определения повторяемости и воспроизводимости стандартного метода измерений;

- ГОСТ Р ИСО 5725-3-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 3. Промежуточные показатели прецизионности стандартного метода измерений;

- ГОСТ Р ИСО 5725-4-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 4. Основные методы определения правильности стандартного метода измерений.

- на методы контроля погрешностей методики измерений: ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002 Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений. Часть 6. Использование значений точности на практике.

ОПИСАНИЕ: СО представляет собой квадрат со стороной приблизительно 1 см, вырезанный из подложки кремния кристаллографической ориентации (001), на которой нанесена тонкая плёнка металла Pd толщиной 30-130 нм. В центре СО в квадратной области со стороной приблизительно 80 мкм реализован периодический паттерн, представляющий собой упорядоченный ансамбль квадратных ямок, расположенных трансляционно-симметрично. Стандартный образец упакован в пенал, который предохраняет его от механических повреждений.

Комплект поставки: СО в пенале с этикеткой, паспорт.

Рис.1 Схематическое изображение фрагмента поверхности СО структуры нанопериодической VSDU-1000, представляющей собой ансамбль упорядоченно расположенных квадратных ямок, расположенных трансляционно-симметрично. Показана аттестуемая характеристика: период Т (без различения направлений Ох и Оу).

НОРМИРОВАННЫЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:

Периодичность контроля: 1 раз в год.

Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в левом верхнем углу этикетки СО утвержденного типа.

подпись расшифровка подписи