Приложение к свидетельству № 4989

об утверждении типа стандартных образцов

Лист № 1

Всего листов 3

Назначение стандартного образца: градуировка, поверка и калибровка просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), исследования и контроль метрологических характеристик ПЭМ при проведении их испытаний в целях утверждения типа.

Область промышленности, производства, где преимущественно надлежит применять стандартный образец: микро-, наноэлектроника, нанотехнологии, производство полимеров и генная инженерия, создание наноструктурированных материалов, оснащение органов государственных и метрологических служб.

Описание стандартного образца: стандартный образец представляет собой рельефную шаговую структуру в слое монокристаллического кремния толщиной не более 50 нм, укрепленную на стандартном держателе образцов для ПЭМ в области держателя, обозначенной буквой «B». Шаговая структура образована повторяющимися выступами трапецеидальной формы, количество выступов не менее 5. Нумерация выступов шаговой структуры осуществляется в направлении от шаговой структуры к букве «В», обозначенной на держателе. Значения длины L и ширины D шаговой структуры в слое монокристаллического кремния должны удовлетворять условию: L = 7,5±2,5 мкм; D = 7,5±2,5 мкм.

Разработчик стандартного образца: АО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»).

Форма выпуска: серийное производство периодически повторяющимися партиями.

Аттестуемые характеристики:

• - шаг шаговой структуры, нм;

• - расстояние d111 между плоскостями (111) монокристаллического кремния в материале

СО, нм.

Т а б л и ц а 1 - Нормированные метрологические характеристики

Значение шага Т, шаговой структуры определяется по формуле Т, = (Т_гл + T_in)/2,

где Тл - расстояние между левыми вершинами выступов с номерами i и i+1,

где T_in - расстояние между правыми вершинами выступов с номерами i и i+1.

Знак утверждения типа: наносится полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в левом верхнем углу этикетки стандартного образца утвержденного типа.

Комплектность стандартного образца: стандартный образец, помещенный в специальный контейнер, снабженный этикеткой и паспортом, оформленными в соответствии с ГОСТ Р 8.691-2010 «ГСИ. Стандартные образцы материалов (веществ). Содержание паспортов и этикеток».

Документы, устанавливающие требования к стандартному образцу:

• - «Техническое задание на разработку стандартного образца параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния», утвержденное ОАО «НИЦПВ» 03.06. 2011 г.;

• - «Программа испытаний стандартного образца параметров шаговой структуры в тонком слое монокристаллического кремния в целях утверждения типа», утвержденная ОАО «НИЦПВ» 05.09.2011 г.

• -  «Микроскопы электронные просвечивающие с регистрацией изображения на фотопленку. Методика калибровки МК- 51 ПВ» (утверждена ОАО «НИЦПВ» в ноябре 2011 г.),

• - «Микроскопы электронные просвечивающие с регистрацией изображения на ПЗС-камеру. Методика калибровки МК- 52 ПВ» (утверждена ОАО «НИЦПВ» в ноябре 2011 г.)

Номер экземпляра (партии), дата выпуска: представлена в целях продления срока действия свидетельства об утверждении типа стандартного образца партия № 02, выпущенная в сентябре 2011 г.

Изготовитель:     АО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств

поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»), ул. Новаторов, д. 40, корп. 1, г. Москва, 119421. ИНН 7728309630.

Заявитель: АО «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»), ул. Новаторов, д. 40, корп. 1, г. Москва, 119421.

и метрологии подпись расшифровка подписи