Приложение к свидетельству № 2402

об утверждении типа стандартных образцов

(обязательное)

Лист № 1

всего листов 3

• - «Техническое задание на разработку стандартных образцов пространственных характеристик наноструктур на основе аморфных многослойных покрытий СПАМ-20», утвержденное 20.06.2011 г.;

• - «Стандартные образцы пространственных характеристик наноструктур на основе аморфных многослойных покрытий СПАМ-20. Программа испытаний в целях утверждения типа», утвержденная 05.09.2011 г.

Периодичность актуализации технической документации на тип стандартного образца не реже одного раза в пять лет.

ФОРМА ВЫПУСКА: серийное производство периодически повторяющимися партиями.

партия № 1, дата выпуска 14.09.2011 г.

Для аттестации методик измерений структурных параметров объектов и веществ, основанных на методах рентгеновской дифрактометрии и рефлектометрии, контроля погрешностей методик измерений в процессе их применения.

• - область применения: микро-, наноэлектроника, нанотехнологии, производство биосовместимых имплантов, металлических биофункциональных наноплёнок, тонкопленочных фотоэлементов, создание наноструктурированных материалов, оснащение органов государственных и метрологических служб.

• - ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002 - ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002,

• - «Инструкция по применению стандартных образцов пространственных характеристик наноструктур на основе аморфных многослойных покрытий СПАМ-20»,

• - «Средняя толщина слоев и межслоевой период повторения в многослойной структуре. Методика измерений с помощью рентгеновского дифрактометра» (аттестована ОАО «НИЦПВ» 28.10.2011 г.).

Стандартный образец представляет собой кремниевую пластину с нанесенным на одну из сторон многослойным покрытием из чередующихся слоев оксида титана и оксида алюминия. Для защиты от внешних воздействий и пыли поверхность образца покрыта тонким (~400 нм) слоем оксида кремния.

На лицевой стороне стандартного образца сформированы окна травления в многослойной структуре Al2O3/TiO2 до кремниевой подложки в составе четырех маркерных крестов по углам образца и девяти квадратных отверстий размером 100х100 мкм², расположенных с шагом в 1 мм, в центре. На обратной стороне стандартного образца нанесена маркировка «СПАМ-20», внутренний номер серии (для рекламаций производителю), номер партии и номер экземпляра внутри партии.

Габаритные размеры стандартного образца - 17,0x17,0x0,4 мм³ с допуском в каждом измерении не более 0,1 мм.

Стандартный образец помещен в герметичный контейнер со специальным клейким слоем Gel-Pack. На лицевой и оборотной стороне контейнера расположена этикетка.

Аттестуемые характеристики:

• 1)    средняя толщина слоев оксида алюминия в покрытии, выраженная в нанометрах;

• 2)    средняя толщина слоев оксида титана в покрытии, выраженная в нанометрах;

• 3)    межслоевой период повторения слоев, выраженный в нанометрах;

• 4)    общая толщина многослойной структуры, выраженная в нанометрах.

Таблица 1 - Нормированные метрологические характеристики

Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: печатным способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и этикетки стандартного образца утвержденного типа.

- Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (МФТИ).

141700, Московская область, г. Долгопрудный, Институтский переулок, 9.

подпись            расшифровка подписи