Номер по Госреестру СО: ГСО 10037-2011
СО СРЕДНЕГО РАЗМЕРА ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСТРУКТУРЫ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ СОНАЛ-I
СО представляет собой подложку из кремния с нанесенным на одну из сторон наноструктурированным покрытием из нитрида алюминия общей толщиной примерно 1 мкм. Номинальное значение среднего размера элемента микроструктуры покрытия составляет 80 нм. Габаритные размеры СО - 17.0х17.0х0.4 мм3 с допуском в каждом измерении не более 0.1 мм. На обратной стороне СО нанесена маркировка "СОНАЛ-I", внутренний номер серии (для рекламаций производителю), номер партии и номер экземпляра внутри партии. СО помещен в герметичный контейнер со специальным клейким слоем Gel-Pack. На лицевой и оборотной стороне контейнера расположена этикетка.
СРОК ГОДНОСТИ: 2 года
СРОК СВИДЕТЕЛЬСТВА: 16.12.2016
НОМЕР ЗАПИСИ: 1344
ДАТА ОПУБЛИКОВАНИЯ: 18.05.2018
ПРОИЗВОДИТЕЛЬ: МФТИ
СТРАНА: Россия
НАИМЕНОВАНИЕ АТТЕСТОВАННОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- средний размер элементов микроструктуры покрытия, нмСПОСОБ УСТАНОВЛЕНИЯ АТТЕСТОВАННОГО ЗНАЧЕНИЯ
- Применение аттестованных методик измеренийНазначение стандартного образца
Для аттестации методик измерений размерных параметров элементов микроструктуры функциональных покрытий: наночастиц, зерен, кристаллитов, основанных на методах рентгеновской рефлектометрии, электронной дифрактометрии и микроскопии, для контроля погрешностей методик измерений в процессе их применения, а также для исследования и контроля метрологических характеристик программноаппаратных комплексов и программ ЭВМ, использующихся при обработке изображений, получаемых методом электронной микроскопии.
Описание стандартного образца
Стандартный образец представляет собой подложку из кремния с нанесенным на одну из сторон наноструктурированным покрытием из нитрида алюминия общей толщиной примерно 1 мкм. Номинальное значение среднего размера элемента микроструктуры покрытия составляет 80 нм. Габаритные размеры стандартного образца -17,0х17,0х0,4 мм3 с допуском в каждом измерении не более 0,1 мм.
На обратной стороне стандартного образца нанесена маркировка «СОНАЛ-I», внутренний номер серии (для рекламаций производителю), номер партии и номер экземпляра внутри партии.
Стандартный образец помещен в герметичный контейнер со специальным клейким слоем Gel-Pack. На лицевой и оборотной стороне контейнера расположена этикетка.
Знак утверждения типа
Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: печатным способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и этикетки стандартного образца утвержденного типа.
Комплектность стандартного образца
Документы, устанавливающие требования к стандартному образцу
Метрологические характеристики
Аттестуемые характеристики:
1) средний размер элемента микроструктуры вдоль плоскости покрытия из нитрида алюминия, выраженный в нанометрах.
Таблица 1 - Нормированные метрологические характеристики
|
№ п/п |
Наименование аттестуемой характеристики |
Единица измерения |
Диапазон допускаемых аттестованных значений |
Расширенная неопределенность при Р=0,95, (k=2) |
|
1 |
средний размер элементов микроструктуры покрытия |
нм |
50:100 |
10% |
Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: печатным способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и этикетки стандартного образца утвержденного типа.
РАЗРАБОТЧИК: - Федеральное государственное автономное образовательное
учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (МФТИ).
141700, Московская область, г. Долгопрудный, Институтский переулок, 9.
ИЗГОТОВИТЕЛЬ:
- Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (МФТИ).
141700, Московская область, г. Долгопрудный, Институтский переулок, 9.
Заместитель Руководителя Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии _______________ Е.Р. Петросянподпись расшифровка подписи
М.П. «___»______________2011 г.Статистика
Кол-во поверок -
Кол-во поверок (подведы РСТ) -
Кол-во поверок (неподведы РСТ) -
Кол-во поверок (гос. организации) -
Кол-во поверок (чвстники) -
Кол-во владельцев - 0
Все стандартные образцы МФТИ
| Номер в реестре | Наименование СО | Статус |
|---|---|---|
| ГСО 10038-2011 | СО СРЕДНЕГО РАЗМЕРА ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСТРУКТУРЫ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ СОНАЛ-II | Срок действия истек |
| ГСО 10037-2011 | СО СРЕДНЕГО РАЗМЕРА ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСТРУКТУРЫ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ СОНАЛ-I | Срок действия истек |
| ГСО 10036-2011 | СО ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ АМОРФНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ СПАМ-100 | Срок действия истек |
| ГСО 10035-2011 | СО ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК НАНОСТРУКТУР НА ОСНОВЕ АМОРФНЫХ МНОГОСЛОЙНЫХ ПОКРЫТИЙ СПАМ-20 | Срок действия истек |
| ГСО 10034-2011 | СО СРЕДНЕГО РАЗМЕРА КРИСТАЛЛИТА В ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЯХ ПОЛИП-50 | Срок действия истек |
| ГСО 10033-2011 | СО СРЕДНЕГО РАЗМЕРА КРИСТАЛЛИТА В ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЯХ ПОЛИП-10 | Срок действия истек |
| ГСО 10032-2011 | СО ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР ОСАГА-100 | Срок действия истек |
| ГСО 10031-2011 | СО ПРОСТРАНСТВЕННЫХ ХАРАКТЕРИСТИК ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ГЕТЕРОСТРУКТУР ОСАГА-60 | Срок действия истек |
Владельцы ГСО 10037-2011 СО СРЕДНЕГО РАЗМЕРА ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСТРУКТУРЫ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ СОНАЛ-I
| Организация | Кол-во поверок |
|---|
Приложение к свидетельству № 2404
об утверждении типа стандартных образцов
(обязательное)
Лист № 1
всего листов 3
ОПИСАНИЕ ТИПА СТАНДАРТНОГО ОБРАЗЦА
УТВЕРЖДЕННОГО ТИПА СТАНДАРТНЫЙ ОБРАЗЕЦ СРЕДНЕГО РАЗМЕРА ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСТРУКТУРЫ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ СОНАЛ-I
ГСО 10037-2011
ДОКУМЕНТЫ, устанавливающие требования к метрологическим и техническим характеристикам и выпуску из производства:-
- «Техническое задание на разработку стандартных образцов среднего размера элементов микроструктуры функциональных наноструктурированных покрытий (с номинальным значением 80 нм) СОНАЛ-I», утвержденное 20.06.2011 г.;
-
- «Стандартные образцы среднего размера элементов микроструктуры функциональных наноструктурированных покрытий СОНАЛ-I. Программа испытаний в целях утверждения типа», утвержденная 05.09.2011 г.
Периодичность актуализации технической документации на тип стандартного образца не реже одного раза в пять лет.
ФОРМА ВЫПУСКА: серийное производство периодически повторяющимися партиями.
НОМЕР ЭКЗЕМПЛЯРА (ПАРТИИ), ДАТА ВЫПУСКА:партия № 1, дата выпуска 03.10.2011 г.
НАЗНАЧЕНИЕ:Для аттестации методик измерений размерных параметров элементов микроструктуры функциональных покрытий: наночастиц, зерен, кристаллитов, основанных на методах рентгеновской рефлектометрии, электронной дифрактометрии и микроскопии, для контроля погрешностей методик измерений в процессе их применения, а также для исследования и контроля метрологических характеристик программноаппаратных комплексов и программ ЭВМ, использующихся при обработке изображений, получаемых методом электронной микроскопии.
СФЕРА ПРИМЕНЕНИЯ:-
- область применения: микро-, наноэлектроника, нанотехнологии, производство охлаждающих и генерирующих термоэлектрических систем нового поколения, создание наноструктурированных материалов, оснащение органов государственных и метрологических служб.
-
- ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002 - ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002,
-
- «Инструкция по применению стандартных образцов среднего размера элементов микроструктуры функциональных наноструктурированных покрытий СОНАЛ-I».
Стандартный образец представляет собой подложку из кремния с нанесенным на одну из сторон наноструктурированным покрытием из нитрида алюминия общей толщиной примерно 1 мкм. Номинальное значение среднего размера элемента микроструктуры покрытия составляет 80 нм. Габаритные размеры стандартного образца -17,0х17,0х0,4 мм3 с допуском в каждом измерении не более 0,1 мм.
На обратной стороне стандартного образца нанесена маркировка «СОНАЛ-I», внутренний номер серии (для рекламаций производителю), номер партии и номер экземпляра внутри партии.
Стандартный образец помещен в герметичный контейнер со специальным клейким слоем Gel-Pack. На лицевой и оборотной стороне контейнера расположена этикетка.
НОРМИРОВАННЫЕ МЕТРОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ:Аттестуемые характеристики:
1) средний размер элемента микроструктуры вдоль плоскости покрытия из нитрида алюминия, выраженный в нанометрах.
Таблица 1 - Нормированные метрологические характеристики
|
№ п/п |
Наименование аттестуемой характеристики |
Единица измерения |
Диапазон допускаемых аттестованных значений |
Расширенная неопределенность при Р=0,95, (k=2) |
|
1 |
средний размер элементов микроструктуры покрытия |
нм |
50:100 |
10% |
Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: печатным способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и этикетки стандартного образца утвержденного типа.
РАЗРАБОТЧИК: - Федеральное государственное автономное образовательное
учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (МФТИ).
141700, Московская область, г. Долгопрудный, Институтский переулок, 9.
ИЗГОТОВИТЕЛЬ:
- Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (МФТИ).
141700, Московская область, г. Долгопрудный, Институтский переулок, 9.
Заместитель Руководителя Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии _______________ Е.Р. Петросянподпись расшифровка подписи
М.П. «___»______________2011 г.