Приложение к свидетельству № 2405

об утверждении типа стандартных образцов

(обязательное)

Лист № 1

всего листов 3

ОПИСАНИЕ ТИПА СТАНДАРТНОГО ОБРАЗЦА

УТВЕРЖДЕННОГО ТИПА СТАНДАРТНЫЙ ОБРАЗЕЦ СРЕДНЕГО РАЗМЕРА ЭЛЕМЕНТОВ МИКРОСТРУКТУРЫ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ

СОНАЛ-II

ГСО 10038-2011

• - «Техническое задание на разработку стандартных образцов среднего размера элементов микроструктуры функциональных наноструктурированных покрытий (с номинальным значением 150 нм) СОНАЛ-II», утвержденное 20.06.2011 г.;

• - «Стандартные образцы среднего размера элементов микроструктуры функциональных наноструктурированных покрытий СОНАЛ-II. Программа испытаний в целях утверждения типа», утвержденная 05.09.2011 г.

Периодичность актуализации технической документации на тип стандартного образца не реже одного раза в пять лет.

ФОРМА ВЫПУСКА: серийное производство периодически повторяющимися партиями

партия № 1, дата выпуска 03.10.2011 г.

Для аттестации методик измерений размерных параметров элементов микроструктуры функциональных покрытий: наночастиц, зерен, кристаллитов, основанных на методах рентгеновской рефлектометрии, электронной дифрактометрии и микроскопии, для контроля погрешностей методик измерений в процессе их применения, а также для исследования и контроля метрологических характеристик программноаппаратных комплексов и программ ЭВМ, использующихся при обработке изображений, получаемых методом электронной микроскопии.

• - область применения: микро-, наноэлектроника, нанотехнологии, производство охлаждающих и генерирующих термоэлектрических систем нового поколения, создание наноструктурированных материалов, оснащение органов государственных и метрологических служб.

• - ГОСТ Р ИСО 5725-1-2002 - ГОСТ Р ИСО 5725-6-2002,

• - «Инструкция по применению стандартных образцов среднего размера элементов микроструктуры функциональных наноструктурированных покрытий СОНАЛ-II».

Стандартный образец представляет собой подложку из кремния с нанесенным на одну из сторон наноструктурированным покрытием из нитрида алюминия общей толщиной примерно 1 мкм. Номинальное значение среднего размера элемента микроструктуры покрытия составляет 150 нм. На обратной стороне стандартного образца нанесена маркировка «СОНАЛ-II», внутренний номер серии (для рекламаций производителю), номер партии и номер экземпляра внутри партии.

Габаритные размеры стандартного образца - 17,0х17,0х0,4 мм³ с допуском в каждом измерении не более 0,1 мм.

Стандартный образец помещен в герметичный контейнер со специальным клейким слоем Gel-Pack. На лицевой и оборотной стороне контейнера расположена этикетка.

Аттестуемые характеристики:

1) средний размер элемента микроструктуры вдоль плоскости покрытия из нитрида алюминия, выраженный в нанометрах.

Таблица 1 - Нормированные метрологические характеристики

Место и способ нанесения знака утверждения типа на сопроводительные документы стандартного образца: печатным способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и этикетки стандартного образца утвержденного типа.

- Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (МФТИ).

141700, Московская область, г. Долгопрудный, Институтский переулок, 9.

подпись            расшифровка подписи