Приложение к свидетельству № 5259

об утверждении типа стандартных образцов

Лист № 1

Всего листов 3

Назначение стандартного образца: испытания, калибровка и поверка просвечивающих и растровых электронных микроскопов.

Область промышленности, производства, где преимущественно надлежит применять стандартный образец: испытания и контроль качества продукции.

Описание стандартного образца: материалом стандартного образца является пластинка из множества слоев, выращенных методом металлографической газовой эпитаксии (MOVPE) на GaAs подложке, прикрепленную к фиксатору из немагнитной нержавеющей стали, размером 10 мм х 4 мм х 5 мм. Отверстие на участке нержавеющей стали служит маркером для той стороны пластинки, которая покрывается стеком слоев. Экземпляр СО упакован в пластиковый контейнер, снабженный этикеткой.

Аттестуемые характеристики:

• - ширина полосы (W), нм (Рис. 1);

• - шаг периодически повторяющихся структур (Р), нм (Рис. 1);

• - расстояние между центрами полос (D), нм (Рис. 1).

  Т а б л и ц а 1- Нормированные метрологические характеристик.

  Аттестуемая характеристика	Аттестованное значение, нм	Абсолютное значение расширенной неопределенности СО (при k=2), U, нм
  W1	691	23
  W2	691	23
  W3	293	9
  W4	294	9
  W5	19,5	1,7
  W6	195	6
  W7	195	6
  W8	38	2,6
  W9	3,6	0,8
  W10	14,2	1,5
  W11	3,5	0,7
  W12	96	2,6
  P1	587	17
  P2	389	10
  P3	273	7
  P4	193	5
  P5	136	6
  P6	97	3
  Р7	67,5	2,5

  

  Рисунок 1 - Аналитическая зона СО

  

Окончание таблицы 1

*

измерения проводились методом сканирующей электронной спектроскопии (SEM).

Знак утверждения типа: наносится полиграфическим способом в правом верхнем углу первого листа паспорта и в правом верхнем углу этикетки стандартного образца утвержденного типа.

Комплектность стандартного образца: экземпляр стандартного образца снабжен паспортом стандартного образца, этикеткой, оформленными согласно ГОСТ Р 8.691-2010 «Стандартные образцы материалов (веществ). Содержание паспортов и этикеток», и сертификатом BAM с переводом на русский язык.

• - Техническая документация изготовителя - BAM (Германия);

• - «Техническое задание на стандартный образец шкалы нанометрового диапазона (CRM BAM-L200), утв. ФГУП «УНИИМ» в 2012 г;

• - «Программа испытаний стандартного образца шкалы нанометрового диапазона (CRM BAM-L200), утв. ФГУП «УНИИМ» в 2012 г.

• - ГОСТ Р 8.563-2009 «ГСИ. Методики (методы) измерений»;

• - ГОСТ Р ИСО 5725-2002 «Точность (правильность и прецизионность) методов и результатов измерений»;

• - РМГ 61-2010 «ГСИ. Показатели точности, правильности, прецизионности методик количественного химического анализа. Методы оценки»;

• - РМГ 76-2014 «ГСИ. Внутренний контроль качества результатов количественного химического анализа».

Номер экземпляра (партии), дата выпуска (ввоза): представлен в целях продления срока действия свидетельства об утверждении типа экземпляр стандартного образца с датой выпуска 25 сентября 2007 г.

Изготовитель: Bundesanstalt fur Materialforschung und -prufung (BAM), Unter den Eichen 87, 12205, Berlin, Deutschland (Федеральный институт исследования и испытания материалов, Берлин, Германия).

Заявитель: Уральский научно-исследовательский институт метрологии - филиал Федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»

(УНИИМ - филиал ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»), 620075, г. Екатеринбург, ул. Красноармейская, д. 4. ИНН 7809022120.

Заместитель

Руководителя Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии