Номер по Госреестру СИ: 75511-19
75511-19 Интерферометр
(DIMETIOR VB)
Назначение средства измерений:
Интерферометр DIMETIOR VB (далее интерферометр) предназначен для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.
Внешний вид.
Интерферометр
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Интерферометр DIMETIOR VB имеет в своем составе программное обеспечение (ПО), встроенное в аппаратное устройство операторского персонального компьютера, разработанное для конкретных измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение «IntelliWave» является специализированным ПО системы и предназначено для её управления, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО «IntelliWave» не может быть использовано отдельно от системы.
Конструкция СИ исключает возможность несанкционированного влияния на ПО СИ и измерительную информацию. Метрологически значимая часть ПО интерферометра и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Главной защитой ПО является USB-ключ-заглушка. HASP (программа, направленная на борьбу с нарушением авторских прав на компьютерное пиратство) использует 128-битное шифрование по алгоритму AES (симметричный алгоритм блочного шифрования информации), что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
IntelliWave |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
6.7.1 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в эксплуатационных документах.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к интерферометру DIMETIOR VB
ГОСТ 8.661-2018 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров отклонения от плоскостности оптических поверхностей размером до 200 мм
Техническая документация фирмы-производителя
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с документом по поверке МП № 203-22-2019 «Интерферометр DIMETIOR VB. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» 26 марта 2019г.
Основное средство поверки: мера отклонений от плоскостности 0 120 мм, рег. № 48279-11.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
ESDI, США
Адрес:150 N.Tucson Boulevard Tucson, AZ 85716, США
Телефон: +1 (520) 296-3068
Факс: +1 (520) 296-2897
E-mail: www.esdimetrology.com
Заявитель
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт оптико-электронного приборостроения» (АО «НИИ ОЭП»)
Адрес: 188540, Ленинградская обл., г. Сосновый Бор, ул. Ленинградская, д.29, литер Т Телефон/факс: +7(81369) 22778/ +7(81369) 45373
E-mail: contact@niioep.ru, web-сайт: www.niioep.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы»Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, web-сайт: www.vniims.ru
Измерения отклонений от плоскостности оптических поверхностей основано на анализе получаемой интерференционной картины, возникающей в промежутке между поверхностью контролируемой детали и эталонной поверхностью сравнения в результате интерференции отраженных от них волновых фронтов.
Интерферометр состоит из следующих основных блоков: оптико-механического блока, блока крепления эталонной пластины и компьютера с программным обеспечением (ПО) для управления интерферометром и анализа интерферограмм. Интерферометр оснащен модулем синхронного фазового сдвига.
В интерферометре используется He-Ne лазер с длиной волны 633 нм в качестве когерентного источника и поляризационный свет. На выходе интерферометра под небольшими углами к оптической оси формируются два параллельных пучка с ортогональной поляризацией. Далее один пучок отражается от поверхности эталонной пластины, смонтированной снаружи оптико-механического блока, другой отражается от контролируемой поверхности. После отражения оба пучка возвращаются в интерферометр и интерферируют, создавая интерференционную картину.
С помощью модуля синхронного фазового сдвига в интерферометре формируются одновременно три сдвинутые по фазе интерферограммы, регистрируемые в одно и тоже время тремя независимыми камерами.
С помощью программы Intelli Wave три сдвинутые по фазе интерферограммы обрабатываются и преобразуются в 3D карту поверхности, в результате чего представляется информация об отклонениях от плоскостности контролируемой оптической поверхности.
Пломбирование интерферометра DIMETIOR VB от несанкционированного доступа не предусмотрено.
Рисунок 1 - Внешний вид интерферометра DIMETIOR VB
Таблица 2 -
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений отклонений от |
от 0,03 до 2,00 |
плоскостности, мкм | |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм* |
±0,03 |
Максимальный диаметр измеряемых оптических поверхностей, мм |
100 |
Длина волны He-Ne лазера, нм |
633 |
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 |
3А |
Масса, не более, кг |
27 |
Габаритные размеры, не более, мм | |
- длина |
519 |
- ширина |
330 |
- высота |
325 |
Примечание: * - при температуре воздуха от плюс 18 °С до плюс 22 °С.
Таблица 3 - Условия эксплуатации
Температура окружающей среды, °C |
от +15 до +30 |
Относительная влажность воздуха, %, не более |
90 |
Напряжение переменного тока, В |
110/240 |
Частота, Гц |
50/60 |