Номер по Госреестру СИ: 70239-18
70239-18 Установка для измерения толщины
(UltraMap S100-FP)
Назначение средства измерений:
Установка для измерения толщины UltraMap S100-FP (далее по тексту - установка) предназначена для бесконтактных измерений толщины любого твердого объекта, в том числе полупроводниковых пластин из различных материалов, включая кремний, арсенид галлия, фосфид индия, германий и сапфир.
Внешний вид.
Установка для измерения толщины
Рисунок № 1
Внешний вид.
Установка для измерения толщины
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 162049
ID в реестре СИ - 384449
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Установка для измерения толщины UltraMap S100-FR, Нет модификации,
Производитель
Изготовитель - Фирма "MicroSense, LLC"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 3
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№135 от 2018.01.26 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Установка для измерения толщины (UltraMap S100-FP)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Отчет содержит один интерактивный график (круговую диаграмму) и таблицу. График имеет возможность масштабирования и экспорта данных в Exel. Таблица обладает функцией фильтра данных и сортировки по любой из колонок, информация приведена в целых чисел и процентах.
В зависимости от выбранного года в отчете выводится информация по кол-ву типов СИ, утержденных в этом году и межповерным интервалам (МПИ), присвоенным этим СИ. По каждому из МПИ приводится статистика по кол-ву типов СИ и кол-ву поверок за все время существования ФГИС АРШИН.
Кто поверяет Установка для измерения толщины (UltraMap S100-FP)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 2 | 0 | 2 | 0 | 1 | 0 | 1 | ||
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Установка для измерения толщины (UltraMap S100-FP)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление процессом измерения осуществляется с помощью специального программного обеспечения «UltraMap». Программное обеспечение (ПО) служит для калибровки средства измерения, настройки параметров и проведения измерений, визуализации, анализа, обработки и сохранения полученных данных.
ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши.
ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного компьютера.
Уровень защиты программного обеспечения «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
UltraMap |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.12.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским методом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке для измерения толщины UltraMap S100-FP
Техническая документация фирмы-изготовителя «MicrsoSense LLC-SigmaTech Division», США;
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 140-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 045. М44-17 «ГСИ. Установка для измерения толщины
UltraMap S100-FP. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «26» июня 2017 г.
Основные средства поверки:
Меры длины концевые плоскопараллельные 3 разряда по ГОСТ Р 8.763-2011
(рег.№ 62321-15)
Основные метрологические характеристики:
Номинальные значения длины мер от 0,5 до 100 мм
Допускаемые отклонения длины от номинального значения ±0,20 мкм
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на поверхность корпуса установки (место нанесения указано на рисунке 2).
Заявитель
Закрытое акционерное общество «НИИ Материаловедения» (ЗАО «НИИ МВ») ИНН 7735001490Адрес: 124460, г. Москва, Зеленоград, проезд №4806, д.4, стр. 2 Телефон/Факс: +7(495) 731-14-76
E-mail: info@niimv.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-56-33
Факс: +7 (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия установки основан на двойном зондировании поверхности объекта с верхней и нижней стороны с помощью бесконтактных оптических зондов. Зонды располагаются на подвижном двухкоординатном столе, позиционирование которого осуществляется с помощью встроенного оптического датчика и контролируется линейным сервомотором с контуром обратной связи от датчика. Позиционирование зондов осуществляется с помощью компьютера. Измерения проводится как с нижней, так и с верхней стороны исследуемой пластины, толщина которой вычисляется автоматически в программе «UltraMap». Принцип действия оптических зондов основан на технологии хроматического кодирования глубины вдоль оптической оси зонда, разработанной SigmaTech.
Конструктивно установка состоит из измерительного модуля с оптическим датчиком, верхнего и нижнего оптических зондов, робототехнической системы, воздуховода, переходной платформы со сменными держателями, гранитной платформы, баллона с чистым азотом, компьютера с операционной системой не ниже Windows98, соединительных кабелей.
Результаты измерения передаются на внешний компьютер. Управление установкой осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением «UltraMap», позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.
Общий вид установки на рисунке 1.
Схема мест пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
Рисунок 1 - Общий вид установки для измерения толщины UltraMap S100-FP
Место пломбирования
Место нанесения знака поверки
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа, обозначение места нанесения знака поверки
Таблица 4 - Комплектность средства измерения
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Установка для измерения толщины «UltraMap S100-FP» в составе: измерительный модуль с оптическим сенсором, верхний и нижний зонды, робототехническая система, гранитная и переходная платформа, воздуховод, комплект соединительных кабелей |
- |
1 шт . |
|
Баллон с чистым азотом |
- |
1 шт. |
|
Компьютер |
- |
1 шт. |
|
CD-диск с программным обеспечением |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
МП 045. М44-17 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диапазон измерения толщины, мкм |
от 20 до 2000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения толщины, мкм |
± 3 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Диаметр измеряемых образцов, мм |
60, 76, 100 |
|
Габаритные размеры установки, мм, не более - высота |
720 |
|
- ширина |
520 |
|
- длина |
620 |
|
Масса, кг, не более |
100 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока напряжением, В |
от 200 до 250 |
|
частотой, Гц |
50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
2,2 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающей среды, °С |
От +18 до +35 |
|
Относительная влажность, %, не более |
80 |