Номер по Госреестру СИ: 69535-17
69535-17 Микроскопы конфокальные
(μSurf)
Назначение средства измерений:
Микроскопы конфокальные iSurl (далее по тексту - микроскопы) предназначены для бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий в области оптического производственного контроля.
Внешний вид.
Микроскопы конфокальные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы конфокальные
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 04.12.2022
Номер записи - 161268
ID в реестре СИ - 383668
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
модификация Mobile, mobile,
Производитель
Изготовитель - Фирма "NanoFocus AG"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 4
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№2695 от 2017.12.04 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Микроскопы конфокальные (μSurf)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "NanoFocus AG"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
61934-15 19.10.2021 |
Приборы оптические, µsurf cylinder Фирма "NanoFocus AG" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
69535-17 04.12.2022 |
Микроскопы конфокальные, μSurf Фирма "NanoFocus AG" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Отчет представляет собой таблицу с перечнем эталонов организаций, применяемых при поверке cредств измерений биоанализа. По каждому эталону приведена статистика поверок СИ по годам. В качестве эталона могут выступать ГЭТ, эталоны единиц величин или СИ, используемые в качестве эталонов.
Кто поверяет Микроскопы конфокальные (μSurf)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 3 | 0 | 3 | 0 | 2 | 0 | 2 | ||
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 0 | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы конфокальные (μSurf)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в конфокальных микроскопах осуществляется с помощью специального программного обеспечения pSoft (metrology, analysis версии Standard, Extended, Premium). Программа psoft analysis выпускается в трех вариациях: Standard, Extended и Premium, различающихся дополнительным набором функций для последующей обработки бесконтактных измерений шероховатости и линейных размеров (микрогеометрии) поверхности изделий. Программное обеспечение (ПО) служит для настройки конфокальных микроскопов, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ и обработку полученных данных.
ПО на системном компьютере имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры, мыши и джойстика.
ПО устанавливается в определенную директорию жесткого диска системного компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, наличием пароля и аппаратного ключа разблокировки ПО (заглушки, вставляемой в порт USB компьютера перед запуском ПО). Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «высокий» согласно Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Идентификационное наименование ПО |
□Soft metrology |
□Soft analysis |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.7.X и выше |
v.7.X и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам конфокальным ^SurfТехническая документация фирмы-изготовителя «NanoFocus AG», Германия;
ГОСТ 8.296-2015 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм».
ГОСТ Р 8.763-2011 «ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне от 140-9 до 50 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 029.М44-17 «Государственная система обеспечения единства измерений «Микроскопы конфокальные pSurf. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» «20» марта 2017 г.
Основные средства поверки:
-
1 Меры периода и высоты линейные TGZ1, TGZ2, TGZ3 (Регистрационный номер 41678-09)
Таблица 5 - Основные метрологические характеристики
|
TGZ1 |
TGZ2 |
TGZ3 | |
|
Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах меры, нм |
20 |
110 |
520 |
|
Номинальное значение шага периодической структуры меры, мкм |
3,00 | ||
-
2 Объект-микрометр ОМО (Регистрационный номер 590-63)
Основные метрологические характеристики:
длина шкалы 1001,4±3 мкм, длина между 10 делениями 100±2 мкм, среднее значение шаговой структуры 10±0,1 мкм
-
3 Меры длины концевые плоскопараллельные из состава рабочего эталона единицы длины 3-го разряда в диапазоне от 0,5 до 100 мм по ГОСТ Р 8.763-2011
Основные метрологические характеристики:
длина меры №1 (1±0,0002 мм), №1,33 (1,33±0,0002 мм), № 1,1 (1,1±0,0002 мм)
-
4 Меры шероховатости поверхности в ранге рабочего эталона 3-го разряда по ГОСТ 8.296-2015
Основные метрологические характеристики:
диапазон шероховатостей от 0,01 до 1,80 мкм, пределы допускаемой погрешности 1% Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых микроскопов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на поверхность корпуса микроскопов (место нанесения указано на рисунке 2)
Изготовитель
«NanoFocus AG», Германия
Max-Planck-Ring 48, 46049 Oberhausen, Germany Тел/Факс: +4920862000-0 / +4920862000-99
E-mail: info@nanofocus.de
Заявитель
Закрытое акционерное общество Научно-производственная фирма «УРАН»(ЗАО НПФ «Уран»)
ИНН 7805269568
198099, г. Санкт-Петербург, ул. Промышленная, д.5
Телефон: +7(812) 335-09-75
Факс: +7(812) 335-09-76
E-mail: info@uran-sbp.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: (495) 437-56-33, факс: 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия микроскопов основан на запатентованной CMP-технологии (Conlocal Multi Pinhole). При этом исследуемая поверхность освещается через объектив внешним источником света. До детектора (ПЗС-матрица) доходят только сфокусированные на него световые пучки, отраженные исследуемой поверхностью. Все расфокусированные пучки задерживаются точечной диафрагмой. Данный принцип точечного измерения, за счет использования вращающегося непрозрачного диска с большим количеством точечных отверстий, позволяет осуществлять полное сканирование поверхности объекта.
Конструктивно микроскопы iSurl состоят из конфокальной измерительной головки со встроенным регулятором освещенности, состоящей из конфокального микроскопа с источником света, в нижней части находится объектив и пьезо-привод, в верхней части -ПЗС-камера, контроллера iSurl, прецизионного измерительного стола, массивной гранитной плиты в виброизолированном исполнении, светодиода, объективов, джойстика, компьютера с операционной системой не ниже Windows 7, соединительных кабелей.
Микроскопы выпускаются в четырёх модификациях: explorer, expert, custom, mobile, различающихся диапазоном перемещения по измеряемой поверхности, а также максимальным числом точек в одном измерении. Для модификаций explorer и expert характерно наличие гранитной стойки в виброизолированном исполнении, имеющей форму L-образного штатива. Модификация custom может быть выполнена в двух вариантах, имеющих П-образный или L-образный гранитный штатив. Модификация mobile имеет мобильный тип стойки.
Результаты сканирования поверхности передаются на внешний компьютер. Управление прибором осуществляется с помощью внешнего компьютера с программным обеспечением (isolt metrology, isolt analysis), позволяющим проводить настройку прибора и контроль процесса измерений, осуществлять сбор экспериментальных данных, обрабатывать и сохранять полученные результаты.
Общий вид микроскопов конфокальных iSurl в модификациях explorer, expert, custom, mobile с обозначением мест нанесения маркировки представлен на рисунке 1.
Схема нанесения пломбировки от несанкционированного доступа и обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
палсГйсис
Lrsurt
—
□surf custom (П)
Места
нанесения маркировки
usu гf explorer ueurf expert (L) peurf custom usurf mobile
Рисунок 1 - Общий вид микроскопов конфокальных pSurf с обозначением мест нанесения маркировки
Рисунок 2 - Схема пломбировки от несанкционированного доступа (2), обозначение места нанесения знака поверки (1) микроскопов конфокальных pSurf: custom (А1 - П-образный штатив, А2 - L-образный штатив), explorer (Б), mobile (В), expert (Г)
Таблица 4 - Комплектность средства измерения
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскопы конфокальные pSurf модификации explorer/ expert/ custom/mobile в составе: конфокальная измерительная головка с моторизованной осью Z; объективы (5х, 10х, 20х, 50х, 100х)* с пьезо-приводом; прецизионный измерительный стол*; контроллер pSurf; джойстик (ручной 3D-навигатор); виброизоляционный гранитный штатив (стойка)* |
- |
1 шт. |
|
Компьютер |
- |
1 шт. |
|
CD-диск с программным обеспечением |
- |
1 шт. |
|
Аппаратный ключ для разблокировки ПО |
- |
1 шт. |
|
Комплект соединительных кабелей |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
МП 029.М44-17 |
1 экз. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
|
Определяется опционально по согласованию с заказчиком | ||
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики при увеличении объектива | |||||
|
5x |
10x |
20x |
50x |
100x | ||
|
Диапазон показаний линейных размеров по осям Х и Y, мкм |
от 0 до 3200 |
от 0 до 1600 |
от 0 до 800 |
от 0 до 320 |
от 0 до 160 | |
|
Диапазон измерений линейных размеров по осям Х и Y, мкм |
от 10 до 1001 |
от 3 до 700 |
от 3 до 300 |
от 3 до 100 | ||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по осям X, Y, мкм
до 100 мкм включительно
|
±0,01 ±2,80 ±3,70 | |||||
|
Диапазон показаний линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0 до 350 | |||||
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм |
от 0,02 до 330 | |||||
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения линейных размеров по оси Z, мкм
|
±0,004 ±1,410 ±4,000 | |||||
|
Диапазон показаний параметров шероховатости поверхности (Ra, Rmax), мкм |
- |
- |
от 0,00036 до 1,80000 | |||
|
Диапазон измерений параметров шероховатости поверхности (Ra, Rmax), мкм |
- |
- |
от 0,01 до 1,80 | |||
|
Предел допускаемой абсолютной погрешности измерении параметров шероховатости (Ra, Rmax), мкм |
- |
- |
0,012 | |||
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение | ||||
|
explorer |
expert |
custom |
mobile | ||
|
Тип стойки |
L |
L |
L |
П |
Мобильная |
|
Диапазон перемещения: по осям X,Y, мм |
от 0 до 50 |
от 0 до 100 |
от 0 до 100 |
Опционально |
от 0 до 50 |
|
по оси Z, мм |
от 0 до 75 |
от 0 до 50 |
от 0 до 100 |
от 0 до 35 | |
|
Размер поля | |||||
|
зрения вдоль осей (XxY), |
3200x3200 |
1600x1600 |
800x800 |
320x320 |
160x160 |
|
мкм | |||||
|
Увеличение | |||||
|
объективов, |
5x, |
10х, 20х, 50х, 100x | |||
|
крат | |||||
|
Максимальное |
984x984 | ||||
|
984x984 | |||||
|
число точек |
512x512 |
1200x1200 |
1200x1200 |
512x512 | |
|
в одном |
2048x2048 |
2048x2048 | |||
|
измерении X, Y | |||||
|
Диапазон измерений вдоль | |||||
|
вертикальной оси Z |
от 0 до 350 |
от 0 до 350 |
от 0 до 350 или 550 |
от 0 до 350 | |
|
(прецизионное перемещение), | |||||
|
мкм | |||||
|
Габаритные размеры, мм, не более | |||||
|
- высота |
328 |
526 |
450 |
900 |
417 |
|
- ширина |
268 |
378 |
400 |
750 |
136 |
|
- длина |
707 |
799 |
862 |
1614 |
234 |
|
Масса, кг, не более |
28 |
48 |
80 |
300 |
5,5 |
|
Электропитание осуществляется | |||||
|
от сети | |||||
|
переменного | |||||
|
тока | |||||
|
напряжением, В |
от 100 до 240 | ||||
|
частотой, Гц |
50/60 | ||||
|
Потребляемая | |||||
|
мощность, Вт, |
45 |
90 |
550 |
50 | |
|
не более | |||||
|
Время измерения, сек |
от 2 до 10 | ||||
|
Источник света |
Светодиодный источник света высокой мощности (1 = 505/475 нм), | ||||
|
средняя наработка на отказ 50000 часов | |||||
|
Наименование характеристики |
Значение | |||
|
explorer |
expert |
custom |
mobile | |
|
Условия эксплуатации: температура окружающей среды, °С относительная влажность,%, не более |
от 15 до 35 80 | |||