Номер по Госреестру СИ: 68090-17
68090-17 Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем
(J750Ex-HD)
Назначение средства измерений:
Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD (далее - стенды) предназначены для измерения вольт-амперных характеристик микросхем с высокой степенью интеграции.
Внешний вид.
Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем
Рисунок № 1
Внешний вид.
Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем
Рисунок № 2
Внешний вид.
Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем
Рисунок № 3
Программное обеспечение
Установленный на компьютере программный продукт IG-XL служит для разработки, отладки и исполнения программ тестирования, выполняет функции управления режимами, обработки и представления измерительной информации. Программа J750Maint предназначена для автоматизированной поверки стендов.
Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «низкий» по Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
Идентификационное наименование |
IG-XL |
v. 3.50.50 и выше |
Номер версии (идентификационный номер) |
J750Maint |
v. 7.60.50 и выше |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель головного измерительного блока в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к стендам измерительным для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HDГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 •IO-16 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014. Оборудование электрическое для измерения, управления и лабораторного применения. Требования электромагнитной совместимости. Часть 1. Общие требования.
ГОСТ IEC 61010-1-2014. Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Часть 1. Общие требования.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу J750Mn-2017 «ГСИ. Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем J750Ex-HD. Методика поверки», утвержденному ЗАО «АКТИ-Мастер» 30.05.2017 г.
Средства поверки:
-
- мультиметр Agilent 3458A, регистрационный номер 25900-03;
-
- частотомер электронно-счетный 53181A, регистрационный номер 26211-03.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится лицевую панель головного измерительного блока в виде наклейки (место нанесения показано на рисунке 2) и/или на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Фирма «Teradyne Inc.», США
Адрес: 600 Riverpark Drive, North Reading, MA 01864, USA
Тел.: +1/978370-2700
Е-mail: customercare@teradyne.com
Заявитель
Общество с ограниченной ответственностью «Совтест АТЕ» (ООО «Совтест АТЕ»)
ИНН 4629047554
Адрес: 305000, г. Курск, ул. Володарского, д. 49а
Тел.: +7(4712)54-54-17
Факс: +7(4712)56-35-50
Е-mail: info@sovtest.ru
Испытательный центр
Закрытое акционерное общество «АКТИ-Мастер» (ЗАО «АКТИ-Мастер»)
Адрес: 127254, г. Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5
Тел./факс: +7(495)926-71-85
Web-сайт: http://www.actimaster.ru
E-mail: post@actimaster.ru
Стенды представляют собой автоматизированную многоканальную аппаратуру для функционального и параметрического контроля, который осуществляется путем подачи сигналов напряжения и тока на выводы тестируемой микросхемы и измерения выходных сигналов напряжения и тока, или сравнении выходных сигналов с заданными (ожидаемыми) сигналами. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с выбранной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется измерительными каналами в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
В режиме функционального контроля каждый из каналов выполняет измерения параметров микросхемы в определенной тестовой последовательности с заданием параметров амплитуды, положения фронта и спада выходных импульсов. Амплитуда импульса определяется значениями верхнего и нижнего уровней напряжения драйвера, положения фронтов и спадов импульсов задаются временными метками драйверов. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы, в которых задаются верхний и нижний уровни напряжения, и время контроля. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала, регулируемая по силе тока и уровням напряжения переключения полярности тока. Параметры функционального контроля устанавливаются независимо по каждому каналу.
В режиме параметрических измерений используются источники-измерители PPMU, параметры которых задаются независимо по каждому каналу, а также общий источник-измеритель BPMU на цифровом канальном модуле, и измерительные источники питания. На тестируемый объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания DPS, HDDPS и HDVIS.
Стенды состоят из измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки охлаждения, и управляющего компьютера. На верхнюю панель измерительного головного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой.
Внешний вид составных частей стендов приведен на рисунках 1, 2.
Рисунок 1 - Общий вид стендов
Рисунок 2 - Вид измерительного головного блока
(а) место нанесения знака утверждения типа и знака поверки
(б) схема пломбировки от несанкционированного доступа
Таблица 4 - Комплектность стендов
Наименование и обозначение |
Кол-во, шт. |
Измерительный головной блок |
1 |
Трансформаторный блок |
1 |
Инженерная тележка |
1 (по заказу) |
Поворотный стол |
1 (по заказу) |
Управляющий компьютер с периферийными устройствами и установленными программами IG-XL, J750Maint |
1 |
Руководство по эксплуатации |
1 |
Методика поверки J750Mn-2017 |
1 |
представлены в таблицах 2 и 3.
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
1 |
2 |
ГЕНЕРАТОР ТЕСТОВОЙ ПОСЛЕДОВАТ |
ЕЛЬНОСТИ |
Максимальная длина тестовой последовательности, Мбит |
64 |
Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности, МГц |
400 |
Частота опорного сигнала, МГц |
100 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности частоты опорного сигнала, МГц |
±0,001 |
ДРАЙВЕР (ИСТОЧНИК НАПРЯЖЕНИЯ)
Диапазоны воспроизводимых уровней постоянного напряжения, В
высокий уровень |
от -1,45 до +6,50 |
низкий уровень |
от-1,50 до +6,45 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ |
±7,5 |
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ PPMU
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения, В |
от -1,5 до +6,5 |
Разрешение по постоянному напряжению, мкВ |
150 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения, мВ |
±5,0 |
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI воспроизведения и измерения силы постоянного тока
воспроизведение |
измерение | ||
Di/Ri |
AI |
Di/Ri |
А1 |
±2 мкА / 0,1 нА |
±0,028 мкА | ||
±20 мкА / 1 нА |
±0,14 мкА |
±20 мкА / 1 нА |
±0,14 мкА |
±200 мкА / 10 нА |
±1,4 мкА |
±200 мкА / 10 нА |
1,4 мкА |
±2 мА / 100 нА |
±14 мкА |
±2 мА / 100 нА |
±14 мкА |
±50 мА / 2 мкА |
±(0,002-1 + 0,2) мА 1 |
±50 мА / 2 мкА |
±(0,0024 + 0,2) мА 1 |
Продолжение таблицы 2
1 |
2 |
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ BPMU |
Диапазоны DU / разрешение RU и пределы допускаемой абсолютной погрешности AU воспроизведения и измерения постоянного напряжения
Du / Ru |
ди |
±2 В / 0,0625 мВ |
±(0,001-и ± 0,0015) 1} |
±5 В/0,156 мВ |
±(0,001-и ±0,003) 1} |
±10 В/0,312 мВ |
±(0,001-и ±0,006) 1} |
±24 В / 0,937 мВ |
±(0,001-и ±0,018) 1} |
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI воспроизведения и измерения силы постоянного тока
воспроизведение |
измерение | ||
Di / Ri |
AI ±(0,001-1 + 0,25) мкА 2 3 ±(0,001-1 + 0,0016) мА 4 ±(0,001-1 + 0,016) мА 4 ±(0,001-1 + 0,16) мА 4 |
Di / Ri |
AI ±(0,005-1 + 0,11) мкА 3 ±(0,002-1 + 0,12) мкА 3 ±(0,002-1 + 0,3) мкА 3 ±(0,001-1 + 0,002) мА 4 ±(0,001-1 + 0,02) мА 4 ±(0,001-1 + 0,2) мА 4 |
±200 мкА / 6,25 нА |
±2 мкА / 62,5 пА ±20 мкА / 625 пА ±200 мкА / 6,25 нА | ||
±2 мА / 62,5 нА |
±2 мА / 62,5 нА | ||
±20 мА / 625 нА |
±20 мА / 625 нА | ||
±200 мА / 6,25 мкА |
±200 мА / 6,25 мкА |
КОМПАРАТОР
Диапазон уровней постоянного напряжения на входах, В Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения, мВ
от -1,5 до +6,5
±7,5
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ DPS
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ
от 0 до +10,0
±(0,001-U +10) 5
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI измерения силы постоянного тока
Di/Ri |
Д16 |
от 0 до 50 мкА / 12,2 нА |
±(0,002-1 ±0,1) мкА 3 |
от 0 до 500 мкА / 122 нА |
±(0,001-1 ± 1) мкА2’ |
от 0 до 10 мА / 2,44 мкА от 0 до 100 мА / 24,4 мкА от 0 до 1000 мА 7 244 мкА |
: (0.001-I • 0.025) мА 3’ ±(0,001-1 ±0,25) мА4 : (0.001-1 • 2.5) мА 3’ |
Продолжение таблицы 2
1 |
2 | |||
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ HDDPS | ||||
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В |
от -2,0 до +11,0 | |||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ |
±(0,001 •U + 4) 1} | |||
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI измерения силы постоянного тока | ||||
.....................................................................Pi/Ri............................................................... ±50 мкА / 3,82 нА ±500 мкА 7 38,2 нА |
AI 2) ±(0,001-1 ±0,1) мкА3) ±(0,001-1 ±0,5) мкА3' | |||
±10 мА/763 нА |
±(0,001-1 ±0,01) мА 4) | |||
±100 мА / 7,63 мкА |
±(0,001-1 ±0,1) мА 4) | |||
±1000 мА / 244 мкА |
±(0,001-1 ±2) мА 4) | |||
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАН |
ИЯ HDVIS | |||
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В |
от -10,0 до +10,0 | |||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ |
±(0,001 •U + 5) 1} | |||
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI измерения силы постоянного тока | ||||
Dj/Ri |
AI 2) | |||
±5 мкА / 195,3 nA ±50 мкА / 1,953 нА ±500 мкА 7 0,5 мкА |
±(0,002-1 ± 0,025) мкА3) ±(0,002-1 ±0,125) мкА 3) ±(0,002-1 + 0.5) мкА31 | |||
±5 мА / 195,3 нА |
; (0.002-1 • 0.005) мА4 ’ | |||
±50 мА / 1,953 мкА |
±(0,002-1 ± 0,05) мА4) | |||
±200 мА/7,8125 мкА |
±(0,002-1 ±0,2) мА 4) | |||
|
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
1 |
2 |
Габаритные размеры (длина / ширина / высота), мм | |
измерительный головной блок |
830 / 690 /740 |
трансформаторный блок |
800/540/ 1120 |
Масса, кг, не более | |
измерительный головной блок |
250 |
трансформаторный блок |
227 |
Продолжение таблицы 3
1 |
2 |
Параметры электропитания (трехфазная сеть) | |
частота сети, Гц |
50±0,5 |
напряжение, В |
380±19 |
Потребляемая мощность, кВ^А, не более |
15 |
Рабочие условия применения | |
температура окружающей среды, °С |
от 18 до 28 |
относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |
Электромагнитная совместимость |
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014 |
Безопасность |
ГОСТ IEC 61010-1-2014 |