Номер по Госреестру СИ: 67708-17
67708-17 Установка вакуумная потокометрическая эталонная
(УВПЭ)
Назначение средства измерений:
Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ (далее по тексту - установка) предназначена для измерения потока газа в вакууме, а также для поверки (калибровки) мер потока (гелиевых течей).
Внешний вид.
Установка вакуумная потокометрическая эталонная
Рисунок № 1
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации, фотохимическим или иным методом на корпус установки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к установке вакуумной потокометрической эталонной УВПЭ
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация изготовителя
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 231-0045-2017 «Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 28.03.2017 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне 10-12 - 1 Па^м3/с ГВЭТ 49-2-2006, СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Па^м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10-9 до 1 Па^м3/с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»
(ФГУП «ВНИИМ им. Д. И. Менделеева»)
ИНН 7809022120
Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии им. Д.И. Менделеева»(ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева»)
Адрес: 190005, Санкт-Петербург, Московский пр., д.19
Телефон: (812) 251-76-01, факс: (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
E-mail: info@vniim.ru
Установка представляет собой вакуумную систему с измерительным и сравнительным объемом, к которым присоединены два эталонных вакуумметра, масс-спектрометрический компаратор, эталонные меры потока газа в вакууме, являющиеся основными метрологическими узлами установки и обеспечивающие диапазон ее измерений.
Установка реализует два принципа измерений. Принцип накопления, основанный на измерении эталонными вакуумметрами изменений абсолютного давления во времени в измерительном объеме установки. Принцип компарирования, основанный на сравнении при помощи масс-спектрометрического компаратора измеряемого потока газа (гелия) от поверяемой (калибруемой) течи с известным потоком газа (гелия) от эталонной меры потока газа в вакууме.
Конструктивно установка выполнена в общем металлическом передвижном корпусе. Управление установкой осуществляется с помощью органов управления, расположенных на панели ее корпуса.
Пломбировка корпуса установки не предусмотрена.
Внешний вид установки приведен на рисунке 1.
• • •
& *
••••
i- **
•••* о ■
Рисунок 1 - Установка вакуумная потокометрическая эталонная УВПЭ
Маркировка
УВПЭ
Программное обеспечение отсутствует.Таблица 1 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Диапазон измерений потока газа в вакууме, Па^м3/с |
от 1-10’11 до 140-5 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины
|
±(15-5409^изм)* ±(10-5405^изм)* |
3 * где QU3M - значение измеренного потока, Па^м /с |
Таблица 2 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Параметры электрического питания: | |
- напряжение переменного тока, В |
220±22 |
- частота переменного тока, Гц |
50±1 |
Потребляемая мощность, кВ^А, не более |
2,5 |
Габаритные размеры, мм, не более | |
- длина |
800 |
- ширина |
1400 |
- высота |
1400 |
Масса, кг, не более |
300 |
Условия эксплуатации: | |
- температура окружающей среды, °С |
от +15 до +25 |
- относительная влажность, % |
от 40 до 80 |
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106,7 |
Средняя наработка на отказ, ч |
10000 |
Средний срок службы, лет |
10 |