Номер по Госреестру СИ: 66927-17
66927-17 Стенды измерительные для контроля параметров микроэлектронных компонентов
(FT-17HF-768, FT-17DT-256)
Назначение средства измерений:
Стенды измерительные для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF-768, FT-17DT-256 (далее - стенды) предназначены для измерения вольт-амперных характеристик цифровых и цифро-аналоговых микросхем.
Программное обеспечение
Предустановленное на компьютере программное обеспечение служит для разработки, отладки и исполнения программ тестирования, выполняет функции управления режимами, обработки и представления измерительной информации. Уровень защиты программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений «низкий» по Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | ||
Идентификационное наименование |
XperTest |
StaticTuning |
HFDT Diagnostic |
Номер версии (идентификационный номер) |
3.8.7.1 и выше |
4.3 и выше |
5 и выше |
место нанесения знака утверждения типа и знака поверки
Рисунок 1
место пломбирования (специальная краска под винт) - Общий вид стендов FT-17HF-768
место нанесения знака утверждения типа и знака поверки
место пломбирования (специальная краска под винт) Рисунок 2 - Общий вид стендов FT-17DT-256 в исполнении А
место нанесения знака утверждения типа и знака поверки
место пломбирования (специальная краска под винт) Рисунок 3 - Общий вид стендов FT-17DT-256 в исполнении Б
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на панель корпуса измерительного блока в виде наклейки и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационных документах.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к стендам измерительным для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF-768 и FT-17DT-256
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. ГСИ. Государственный первичный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 •IO-16 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014. Оборудование электрическое для измерения, управления и лабораторного применения. Требования электромагнитной совместимости. Часть 1. Общие требования.
ГОСТ IEC 61010-1-2014. Безопасность электрических контрольно-измерительных приборов и лабораторного оборудования. Часть 1. Общие требования.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу FT-17Mn-2017 «ГСИ. Стенды измерительные для контроля параметров микроэлектронных компонентов FT-17HF-768, FT-17DT-256. Методика поверки», утвержденному ЗАО «АКТИ-Мастер» 01.02.2017 г.
Основные средства поверки:
-
- калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2400, регистрационный номер 25789-08;
-
- частотомер Keysight 53230A, регистрационный номер 51077-12;
-
- катушка электрического сопротивления Р310 0,01 Ом, класс точности 0,01,
регистрационный номер 1162-58;
-
- катушка электрического сопротивления Р321 0,1 Ом, класс точности 0,01,
регистрационный номер 1162-58.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик стендов с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на панель корпуса измерительного блока стендов в виде наклейки (место нанесения показано на рисунках 1 - 3) и/или на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «Совтест АТЕ» (ООО «Совтест АТЕ»)
ИНН 4629047554
Адрес: 305000, г. Курск, ул. Володарского, д. 49а
Тел +7(4712)54-54-17
Факс +7(4712)56-35-50
Е-mail: info@sovtest.ru
Испытательный центр
Закрытое акционерное общество «АКТИ-Мастер» (ЗАО «АКТИ-Мастер»)
Адрес: 127254, г. Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5
Тел./факс: +7(495)926-71-85
Web: http://www.actimaster.ru
E-mail: post@actimaster.ru
Стенды представляют собой автоматизированную многоканальную аппаратуру для функционального и параметрического контроля, который осуществляется путем подачи сигналов напряжения и тока на выводы тестируемой микросхемы и измерения выходных сигналов напряжения и тока, или сравнении выходных сигналов с заданными (ожидаемыми) сигналами. Основной аппаратной частью стендов являются универсальные каналы, каждый из которых включает в себя генератор тестовой последовательности, драйвер (источник напряжения), компаратор напряжения, активную нагрузку, источник-измеритель статических параметров. Кроме универсальных каналов, имеются дополнительные каналы источников-измерителей статических параметров с расширенными диапазонами напряжения и силы тока, и каналы измерительных источников питания.
Каналы размещаются на платах канальной электроники, каждая плата содержит 64 универсальных канала, 8 дополнительных каналов источников-измерителей статических параметров и 8 каналов измерительных источников питания.
В модификации FT-17HF-768 может быть установлено до 12-ти плат канальной электроники, в модификации FT-17DT-256 - до 4-х, количество плат определяется по заказу.
Входы и выходы плат канальной электроники выведены на подпружиненные контакты измерительных блоков. Для подключения объектов контроля используются специальные переходные платы.
Стенды FT-17HF-768 выполнены в напольном исполнении, их общий вид показан на рисунке 1. На передвижной платформе установлена стойка управления манипулятора, с помощью которого осуществляется перемещение измерительного блока. В стойке управления находится компьютер, блок питания и вспомогательное оборудование. Монитор, клавиатура и манипулятор «мышь» размещены на держателе, прикрепленном к стойке.
Стенды FT-17DT-256 представляют собой измерительный блок, работающий под управлением внешнего компьютера, и имеют два конструктивных варианта - исполнение А (рисунок 2) и исполнение Б (рисунок 3).
Таблица 4 - Комплектность стендов
Наименование и обозначение |
Кол-во, шт. |
1 |
2 |
Стенд FT-17HF-768 | |
Блок измерительный |
1 |
Стойка управления |
1 |
Манипулятор |
1 |
Компьютер с операционной системой Windows-7 и программным обеспечением XperTest, HFDT Diagnostic |
1 |
Монитор компьютерный |
1 |
П Продолжение таблицы 4
1 |
2 |
Клавиатура компьютерная |
1 |
Манипулятор «мышь» к компьютеру |
1 |
Компакт-диск с программным обеспечением StaticTuning (по заказу) |
1 |
Руководство по эксплуатации (на компакт диске) |
1 |
Руководство пользователя XperTest (на компакт диске) | |
Руководство пользователя HFDT Diagnostic (на компакт диске) |
1 |
Руководство пользователя StaticTuning (на компакт диске, по заказу) |
1 |
Комплект плат переходных (по заказу) |
1 |
Адаптер USB-COM TRENDNET TU-S9 |
1 |
Методика поверки FT-17МП-2017 |
1 |
Комплект адаптеров и кабелей для поверки (по заказу) |
1 |
Блок питания БПС 18-0.7 (по заказу) |
1 |
Стенд FT-17DT-256 | |
Блок измерительный |
1 |
Компьютер с операционной системой Windows-7 и программным обеспечением XperTest, HFDT Diagnostic |
1 |
Монитор компьютерный |
1 |
Клавиатура компьютерная |
1 |
Манипулятор «мышь» к компьютеру |
1 |
Компакт-диск с программным обеспечением StaticTuning (по заказу) |
1 |
Руководство по эксплуатации (на компакт диске) |
1 |
Руководство пользователя XperTest (на компакт диске) | |
Руководство пользователя HFDT Diagnostic (на компакт диске) |
1 |
Руководство пользователя StaticTuning (на компакт диске, по заказу) |
1 |
Комплект плат переходных (по заказу) |
1 |
Адаптер USB-COM TRENDNET TU-S9 |
1 |
Стол поворотный (по заказу) |
1 |
Методика поверки FT-17МП-2017 |
1 |
Комплект адаптеров и кабелей для поверки (по заказу) |
1 |
Блок питания БПС 18-0.7 (по заказу) |
1 |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
1 |
2 |
ГЕНЕРАТОР ТЕСТОВОЙ ПОСЛЕДОВАТЕЛЬНОСТИ | |
Диапазон задания частоты функционального контроля, МГц |
от 0,006105 до 100 |
Пределы допускаемой относительной погрешности частоты |
±0,1 % |
ДРАЙВЕР (ИСТОЧНИК НАПРЯЖЕНИЯ) | |
Диапазоны воспроизводимых уровней постоянного напряжения, В | |
высокий уровень |
от -1,4 до +6,0 |
низкий уровень |
от -1,5 до +5,9 |
средний уровень |
от -1,5 до +6,0 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ |
±15 1) |
Диапазон установки длительности импульсов T, мкс |
от 0,01 до 163,8 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности импульсов, нс |
±(0,001-T + 0,5) 2) |
Время опережения и запаздывания фронта и среза импульсов, пс, не более |
800 3) |
|
П Продолжение таблицы 2
1 |
2 | |||
Длительность фронта и среза импульсов, нс, не более |
3,0 | |||
Максимальная сила тока нагрузки, мА |
120 | |||
Выходное сопротивление, Ом |
50 | |||
ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ ДРАЙВЕР (ИСТОЧНИК НАПРЯ |
[ЖЕНИЯ) | |||
Диапазон воспроизводимых уровней постоянного напряжения, В |
от +6 до +13 | |||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ |
±(0,001 •U + 200) 1,2) | |||
Длительность фронта импульсов, нс, не более |
300 3) | |||
Длительность среза импульсов, нс, не более |
40 4) | |||
Диапазоны ограничения выходного тока в нагрузке, мА |
от ±60 до ±120 | |||
выходное сопротивление, Ом |
10 | |||
АКТИВНАЯ НАГРУЗКА | ||||
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока, мА |
от -12 до +12 | |||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока, мкА |
±(0,002-! + 60) 5) | |||
КОМПАРАТОР | ||||
Диапазон уровней постоянного напряжения на входах, В |
от -1,4 до +6,0 | |||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения постоянного напряжения, мВ |
±15 | |||
Время опережения и запаздывания строба компаратора, нс, не более |
2,0 | |||
ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ИСТОЧНИК ПИТАНИЯ | ||||
Диапазон воспроизведения постоянного напряжения, В |
от -5,5 до +14,0 | |||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения постоянного напряжения, мВ |
±(0,001 •U + 10) 1) | |||
Диапазоны измерения DI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI измерения силы постоянного тока | ||||
Di, мкА |
AI, мкА |
Di, мА ±2,5 ±25 ±400 7) ±1200 8) |
AI, мА | |
±5 |
±(0,001 •I + 0,02) 5) |
±(0,001 •i + 0,0025) 6) | ||
±25 |
±(0,001 •I + 0,05) 5) |
±(0,001 •I + 0,025) 6) | ||
±250 |
±(0,001 •! + 0,25) 5) |
±(0,001 + 1,5) 6,9) | ||
±(O,001•I + 4) 6,10) | ||||
|
П Продолжение таблицы 2
1 |
2 | |||
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ, универсальный канал | ||||
Диапазон воспроизведения и измерения постоянного напряжения, В |
от -1,5 до +6,0 | |||
Разрешение по постоянному напряжению, мкВ |
110 | |||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения, мВ | ||||
воспроизведение |
±(0,001-U+5) 13 | |||
измерение |
±(0,001-и + 6) ь | |||
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI воспроизведения и измерения силы постоянного тока | ||||
воспроизведение |
измерение | |||
Di/Ri |
A1 |
Di/Ri ±2 мкА / 30 пА ±20 мкА / 300 пА ±200 мкА / 3 нА ±2 мА / 30 нА ±32 мА / 480 нА |
AI | |
±2 мкА / 30 пА ±20 мкА / 300 пА ±200 мкА / 3 нА |
±(0,001-1 + 0,01) 2) ±(0,001-1 + 0,05) 2) ±(0,001 •I + 0,5) 2) |
±(0,001-I + 0,02) 2) ±(0,001-1 + 0,06) 2) ±(0,001-1 + 0,6) 2) | ||
±2 мА / 30 нА |
±(6,001-1 + 0,005) 3) |
±(0,001-i + 0,006) 3) | ||
±32 мА / 480 нА |
±(0,001-1 + 0,1) 3) |
±(0,001-i + 0,1) 3) | ||
ИСТОЧНИК-ИЗМЕРИТЕЛЬ СТАТИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ, дополнительный канал | ||||
Диапазон постоянного напряжения, В воспроизведение измерение |
от -4,0 до +12,5 от -2,7 до +11,7 | |||
Разрешение по постоянному напряжению, мкВ |
250 | |||
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения, мВ |
±(0,001-U + 5) 1) | |||
Диапазоны DI / разрешение RI и пределы допускаемой абсолютной погрешности AI воспроизведения и измерения силы постоянного тока | ||||
воспроизведение |
измерение | |||
Di / Ri |
A1 |
Di / Ri ±5 мкА / 75 пА ±20 мкА / 300 пА ±200 мкА / 3 нА ±2 мА / 30 нА ±80 мА / 1,2 мкА |
AI | |
±5 мкА / 75 пА |
±(0,001-I + 0,005) 2) |
±(0,001-1 + 0,02) 2) | ||
±20 мкА / 300 пА |
±(0,001-1 + 0,01) 2) |
±(0,001-i + 0,03) 2) | ||
±200 мкА / 3 нА ±2 мА / 30 нА ±80 мА / 1,2 мкА |
±(0,001-1 + 0,1) 2) ±(0,001-1 + 0,001) 3) ...............±(6,66i•^+'o,6з)''3)........... |
±(0,001-1 + 0,15) 2) ±(0,001-1 + 0,0015) 3) ±(0,001-1 + 0,05) 3) | ||
|
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Габаритные размеры, мм FT-17HF-768 | |
высота |
2160 |
ширина |
1775 |
глубина |
1748 |
FT-17DT-256, исполнение А | |
высота |
970 |
ширина |
670 |
глубина |
355 |
FT-17DT-256, исполнение Б | |
высота |
980 |
ширина |
970 |
глубина |
355 |
Масса, кг, не более | |
FT-I7HF-768 |
555,5 |
FT-17DT-256 |
45,0 |
Параметры электропитания | |
частота сети, Гц |
50±0,5 |
напряжение, В |
220±4,4 |
Потребляемая мощность, кВ-A, не более | |
FT-17HF-768 |
5,4 |
FT-17DT-256 |
1,8 |
Рабочие условия применения | |
температура окружающей среды, °С |
от 20 до 26 |
относительная влажность воздуха, % |
от 30 до 70 |
Электромагнитная совместимость |
ГОСТ Р МЭК 61326-1-2014 |
Безопасность |
ГОСТ IEC 61010-1-2014 |