Номер по Госреестру СИ: 66804-17
66804-17 Эллипсометр
(FILMTEK 2000 PAR-SE)
Назначение средства измерений:
Эллипсометр FilmTek 2000 PAR-SE (далее по тексту - эллипсометр) предназначен для измерения оптических характеристик (эллипсометрические углы Пси и Дельта) полупрозрачных пленок (полупроводниковые, диэлектрические, электрооптические, SOI или SOS материалы; многослойные, оптические антиотражающие покрытия; тонкие металлы; материалы планарных волноводов; стекло с покрытием; многослойные тонкопленочные структуры).
Внешний вид.
Эллипсометр
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 158296
ID в реестре СИ - 380696
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Эллипсометр FILMTEK 2000 PAR-SE, Нет модификации,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Scientific Computing International"
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет "Подбор поверителей по группе средств измерений измерений" позволяет быстро найти организации, специализирующиеся поверкой СИ определенной группы. Каталог содержит Более 900 групп СИ.
Для запуска отчета достаточно выбрать из списка интересующую группу СИ и нажать кнопку "Показать организации-поверители".
В результатах поиска будет отображена таблица, содержащая информацию об организациях, проводивших поверку, их статус (подвед РСТ или нет), модификации типов СИ, общее количество поверок и количество поверок, сделанных в текущем году.
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 2
Кол-во средств измерений - 2
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№418 от 2017.03.01 Об утверждении типов СИ (66 позиций)
№713 от 2017.04.06 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Эллипсометр (FILMTEK 2000 PAR-SE)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Отчет "Анализ рынка поверки Южного федерального округа" предоставляет исчерпывающую информацию об организациях, оказывающих услуги поверки в 8 субъектах РФ с административным центром в городе Ростов-на-Дону.
Параметры исследований:
- фильтр по работающим в округе организациям-поверителям по данным ФСА и ФГИС АРШИН
- объемы первичных и периодических поверок за период 2017г. по н.в.
- фильтр по местам осуществления деятельности
- предоставление информации в графическом и табличном видах
- детальное рассмотрение деятельности каждой из организаций округа по годам
- анализ в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений
- количество поверок по типам СИ в динамике по годам
- индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
- индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
- быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей
- анализ цен на поверку СИ по Фед. округу
Кто поверяет Эллипсометр (FILMTEK 2000 PAR-SE)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | ||
| ФГУП "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Эллипсометр (FILMTEK 2000 PAR-SE)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление процессом измерения в эллипсометре осуществляется с помощью специального программного обеспечения Film Tek SE. Программное обеспечение служит для настройки эллипсометра, проведения измерений, включая визуальный анализ экспериментальных данных, анализ и обработку полученных данных.
ПО имеет пользовательский интерфейс, ввод данных производится с помощью клавиатуры и мыши на персональном компьютере.
Программное обеспечение (ПО) имеет следующие идентификационные данные:
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Film Tek SE |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
87.3.3 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Программное обеспечение устанавливается в определенную директорию жесткого диска персонального компьютера. Несанкционированный доступ к программному обеспечению исключён посредством ограничения прав учетной записи пользователя, а также наличием пароля.
Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится типографским способом на титульный лист Руководства по эксплуатации и на корпус прибора методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к эллипсометру FILMTEK 2000 PAR-SE
1 ГОСТ 8.605-2011 «Государственная система обеспечения единства измерений (ГСИ). Государственная поверочная схема для средств измерений эллипсометрических углов»
2 Техническая документация фирмы «Scientific Computing International», США
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 059.М44-16 «Государственная система обеспечения единства измерений Эллипсометр FilmTek 2000PAR-SE. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 28 декабря 2016 г.
Основные средства поверки:
Государственный рабочий эталон 2-го разряда единиц эллипсометрических углов в диапазоне от 0 до 360° по углу Дельта и от 0 до 90° по углу Пси согласно ГОСТ 8.605-2011.
Таблица 4 - Основные метрологические характеристики
|
Тип и серийный номер пластины |
Значение эллипсометрических углов на длине волны 632.6 нм, градус | |
|
Пси |
Дельта | |
|
L118SW-100, №1108-4ECS |
11.60 |
149.52 |
|
L118SW-2000, №1108-21ECS |
29.40 |
274.96 |
Расширенная неопределенность измерений угла Пси - 0,05 градус.
Расширенная неопределенность измерений угла Дельта - 0,08 градус.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде наклейки или оттиска поверительного клейма.
Изготовитель
«Scientific Computing International», США
Адрес: 6355 Corte Del Abeto, Suite C-105, Carlsbad, CA 92011 USA
Тел: (760) 634-3822
Факс: (760) 634-3826
E-mail: info@sci-soft.com
Заявитель
ЗАО «СКАН»
ИНН 7729431400
119330, г. Москва, ул. Дружбы 10Б
Тел: (495) 739-50-05
Факс: (495) 234-00-36
E-mail : office@scanru.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: (495) 437-56-33, факс: 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия эллипсометра основан на комбинировании двух методов исследования тонких пленок - спектральной эллипсометрии с вращающимся компенсатором и многоракурсной поляризационной рефлектометрии. Оба метода рефлектометрия и эллипсометрия основаны на регистрации изменений параметров света, прошедшего или отраженного от исследуемого объекта. В методе рефлектометрии регистрируются изменения интенсивности отраженного света, а в методе эллипсометрии - изменения поляризационных параметров света, которые называются эллипсометрическими углами Пси и Дельта.
В эллипсометре сбор данных проводится по трем измерительным каналам: -рефлектометрия (спектрофотометрия) при нормальном падении света на объект; -рефлектометрия поляризованного света при отражении под углом 70 градусов; -спектральная эллипсометрия под углом 70 градусов.
В состав средства измерений входят спектральный эллипсометр, источник света Hamamatsu L10290 с размером пятна от 25 до 300 мкм (при нормальном падении) и 2 мм (при падении под углом 70°), приборный столик с тефлоновым покрытием, цифровая камера CCD STC-620CC, роботизированная система загрузки пластин Brooks с автофокусировкой, 6 встроенных калибровочных эллипсометрических пластин (сер.№ 1 - 6), фильтровентиляционный модуль типа HEPA, 8'' SMIF порт, ПК с многоядерным процессором и операционной системой Windows 7 ™.
Общий вид автоматизированного аппаратного оборудования эллипсометра представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Общий вид автоматизированного аппаратного оборудования эллипсометра FILMTEK 2000 PAR-SE: 1 - Рефлектометр PAR нормального освещения объекта, 2 - плечо освещения объекта под углом 70°, 3 - плечо регистрации излучения, отраженного от объекта под углом 70 °, 4 - видеокамера с регулировкой увеличения для наблюдения области измерения объекта
Схема пломбировки от несанкционированного доступа, маркировка и обозначение места нанесения знака поверки представлены на рисунке 2.
(BiT-
Рисунок 2 - Внешний вид оборудования эллипсометра FILMTEK 2000 PAR-SE: 1 - место нанесения знака поверки, 2 - маркировка, 3 - пломбировка от несанкционированного доступа
Таблица 3
|
Наименование |
Количество, шт |
|
Эллипсометр FilmTek 2000 Par-SE зав. N 140917 в составе: -Спектральный эллипсометр (RCE) (70°, 380 нм-900 нм) -Источник света Hamamatsu L10290 -Приборный столик с тефлоновым покрытием -Цифровая камера CCD STC-620CC -Роботизированная система загрузки пластин Brooks -Фильтро-вентиляционный модуль (ФВМ) типа HEPA -8'' SMIF порт |
1 |
|
Встраиваемые калибровочные эллипсометрические пластины:
|
6 |
|
Персональный компьютер |
1 |
|
Методика поверки |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Метрологические характеристики | |
|
Диапазон измерения величины эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта |
от 0 до 90 от 0 до 360 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения величин эллипсометрических углов, градус: -Пси -Дельта |
±0,2 ±0,3 |
|
Технические характеристики | |
|
Спектральный диапазон показаний, нм |
от 200 до 1700 |
|
Диапазон показаний толщин, мкм |
от 0,0001 до 150 |
|
Габаритные размеры, мм, не более |
1651x1397x1854 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В частотой, Гц |
От 210 до 230 50/60 |
|
Потребляемая мощность, кВт, не более |
2,2 |
|
Условия эксплуатации: Температура окружающей среды, °С Относительная влажность, не более % |
от +15 до +35 80 |