Номер по Госреестру СИ: 65127-16
65127-16 Интерферометры
(OptoTL-250)
Назначение средства измерений:
Интерферометры OptoTL-250 (далее - интерферометры) предназначены для измерений отклонений от плоскостности оптических поверхностей.

Внешний вид.
Интерферометры
Рисунок № 1

Внешний вид.
Интерферометры
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Интерферометры оснащены программным обеспечением (ПО) FastInterf версии v.1.43.0 Вычислительные алгоритмы FastInterf расположены в заранее скомпилированных бинарных файлах и не могут быть модифицированы, они блокируют редактирование для пользователей и не позволяют удалять, создавать новые элементы или редактировать отчеты.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО интерферометров
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
FastInterf |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
v.1.43.0 и выше |
Цифровой идентификатор ПО |
72ADBB724304AE87D |
27574DBBE1E1805 |
ПО является неизменным. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Главной защитой ПО является наличие USB-ключа, что позволяет предотвратить неавторизованное использование ПО.
Защита ПО интерферометров соответствует уровню «высокий» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом, а так же методом наклейки на торец корпуса интерферометра.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
Поверка
Поверкаосуществляется в соответствии с документом МП 65127-16 «Интерферометры OptoTL-250. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в апреле 2016 г.
Основное средство поверки: меры отклонений от плоскостности, рег. № 48279-11.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Закрытое Акционерное общество «Опто-Технологическая Лаборатория» (ЗАО «Опто-Технологическая Лаборатория»)
ИНН 7804158463
Адрес: 194044, г.Санкт-Петербург, ул. Менделеевская, 9
Тел./факс: +7 (812) 347-76-90, +7 (812) 347-76-90
Адрес электронной почты: sales@optotl.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС»)
Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Тел./факс: +7 (495) 437-55-77, +7 (495) 437-56-66
Адрес электронной почты: office@vniims.ru
Адрес в Интернет: www.vniims.ru
Интерферометры построены по вертикальной схеме двухлучевого интерферометра Физо. В качестве источника света в них используется гелий-неоновый лазер с длиной волны 633 нм. Оптический расширитель преобразует лазерное излучение в параллельный пучок диаметром 250 мм. После расширителя установлена насадка с плоской клиновидной пластиной, последняя поверхность которой является эталонной плоскостью.
Контролируемую деталь устанавливают на юстировочный столик, при этом контролируемая поверхность относительно эталонной устанавливаются таким образом, чтобы обеспечивался автоколлимационный ход лучей в интерферометре.
Пучок лазерного излучения с помощью контролируемой пластины пространственно разделяется на два когерентных пучка, которые интерферируют между собой. Первый пучок образуется после отражения от эталонной поверхности, второй - после прохождения через контролируемую пластину.
В результате интерференции в плоскости приемника создается интерференционная картина в виде полос.
Контроль формы поверхностей основан на анализе интерференционной картины, Анализ интерференционных картин осуществляется методом Фурье преобразования с помощью специального программного обеспечения с последующим определением параметров формы контролируемой поверхности.
Опломбирование корпуса интерферометра от несанкционированного доступа не
предусмотрено

Рисунок 1 - Внешний вид интерферометров

Лист № 2 Всего листов 3
Таблица 2 - интерферометров
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений отклонений от плоскостности, мкм |
от 0,08 до 1,26 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений отклонений от плоскостности, мкм - на диаметре до 120 мм включ. |
±0,06 |
- на диаметре св. 120 до 250 мм |
±0,08 |
Диапазон измеряемых диаметров, мм |
от 25 до 250 |
Класс лазера по ГОСТ 31581-2012 |
3А |
Длина волны лазера, нм, не более |
633 |
Мощность, мВт, не более |
4 |
Допустимое значение частоты возмущающих гармонических вибраций, Гц, не более |
30 |
Параметры электропитания Напряжение переменного тока, В |
от 200 до 240 |
Частота, Гц |
от 49 до 51 |
Масса, кг, не более |
200 |
Габаритные размеры, мм, не более - длина |
790 |
- ширина |
590 |
- высота |
1020 |
Условия эксплуатации - температура окружающей среды, °С |
от +20 до +24 |
- относительная влажность, % |
от 50 до 80 |