Номер по Госреестру СИ: 65060-16
65060-16 Профилометры оптические
(ContourGT-K)
Назначение средства измерений:
Профилометры оптические ContourGT-K (далее по тексту - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров и проведения бесконтактного неразрушающего анализа рельефа поверхностей объектов.
Внешний вид.
Профилометры оптические
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 09.09.2021
Номер записи - 156396
ID в реестре СИ - 378796
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Нет Модификации, ContourGT-K, -,
Производитель
Изготовитель - Компания "Bruker Nano Inc."
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Отчет "Государственные первичные эталоны" построен по данным Реестра "ГОСУДАРСТВЕННЫЕ ПЕРВИЧНЫЕ ЭТАЛОНЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ" ФГИС АРШИН. Отчет содержит 4 интерактивных графика и таблицу. Графики имею возможность масштабирования и экспорта данных.
Первый график визуализирует информацию о количестве ГПЭ и их разделении на первичные и специальные первичные эталоны.
График "У какого института сколько первичных эталонов" имеет 2 уровня вложенности и демонстрирует распределение эталонов по государственным метрологическим институтам и видам измерений.
"Использование ГПЭ институтов в качестве средства поверки" дает количественную оценку частоты использования эталонов метрологических институтов в качестве средств поверки.
График "Востребованность ГПЭ в разрезе видов измерений" демонстрирует востребованность ГПЭ по видам измерений. График имеет 2 уровня вложенности. На первом уровне приведена частота использования ГПЭ по видам измерений, а на втором - доля эталонов каждого из метрологических институтов по этому виду измерений.
В конце отчета приводится сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации. В таблице имеются следующие поля:
- Наименование организации-держателя эталона
- Количество эталонов
- Количество видов измерений
- Количество ГПЭ
- Кол-во ГПСЭ
- Востребованность первичных эталонов организации-держателя эталона выраженная в штуках, процентах (по сравнению с другими метрологическими институтами) и средняя востребованность одного эталона организации
- Перечень видов измерений эталонов, принадлежащих метрологическому институту
Бесплатный
Статистика
Кол-во поверок - 4
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1285 от 2016.09.09 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Профилометры оптические (ContourGT-K)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|---|
|
65060-16 Профилометры оптические (ContourGT-K) Компания "Bruker Nano Inc." (СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ ) |
87394-22 Микроскопы интерференционные ("НаноСкан-01") Общество с ограниченной ответственностью "Электростекло" (ООО "Электростекло") (РОССИЯ г. Москва) |
Для построения отчета необходимо в выпадающем списке выбрать интересующего производителя, а также тип СИ (селектор позволяет выбирать из списка несколько записей) и нажать кнопку [Далее].
В процессе построения отчета будет сформирована таблица, содержащая следующие колонки: Владелец, Производитель, Тип СИ и наименование, Кол-во поверок, Кол-во СИ. Последняя колонка является кликабельной и служит для отображения списка средств измерений.
Кто поверяет Микроскопы интерференционные ("НаноСкан-01")
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ООО "ТЕСТИНТЕХ" (RA.RU.312099) | 3 | 0 | 3 | 0 | 3 | 0 | 3 | |||
| ООО "ТЕСТИНТЕХ" (RA.RU.312099) | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы интерференционные ("НаноСкан-01")
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Профилометры функционируют под управлением специального программного обеспечения (ПО) Vision64, установленного на внешний компьютер. ПО управляет настройками оборудования, анализирует данные и обеспечивает графическое представление результатов. Оно предоставляет возможности полной настройки представления данных и позволяет сохранять результаты анализа в базу данных. Настройки измерений и анализа сохраняются в конфигурационных файлах для дальнейшего использования.
Лист № 3 Всего листов 7 Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
компьютера. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия - изготовителя.
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» согласно Р 50.2.077-2014.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
Vision64 |
|
Номер версии (идентификационный номер )ПО |
5.41 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Программное обеспечение записано в энергонезависимой памяти персонального
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом и на нижнюю панель профилометров методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
«Профилометры оптические ContourGT-K. Руководство по эксплуатации», раздел 3
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометрам оптическим ContourGT-KТехническая документация компании «Bruker AXS SAS/Bruker Nano Surfaces Division», США
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 043.М1-15 «ГСИ. Профилометры оптические ContourGT-K. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИОФИ» 01.08.2015 г.
Основные средства поверки:
-
1 Объект-микрометр ОМО/ОМП
Метрологические характеристики:
Расстояние между соседними штрихами (0,01±0,002) мкм
Длина всей шкалы (1±0,003) мкм
-
2 Мера периода линейная TGZ3 из состава государственного вторичного эталона единицы шероховатости Rmax, Rz в диапазоне значений от 0,001 до 400 мкм, единицы шероховатости Ra в диапазоне значений от 0,001 до 100 мкм по ГОСТ 8.296-2015 (Регистрационный номер в реестре Федерального информационного фонда 2.1.ZZA.0070.2015 от 16.07.2015)
Метрологические характеристики:
Номинальное значение периода структуры меры 3,0 мкм
Допускаемое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры не более ± 0,01 мкм
-
3 Набор мер из состава государственного вторичного эталона единицы длины в области измерения параметров шероховатости Rmax в диапазоне от 0.02 до 1.8 мкм и Ra номинального значения 0,0015 мкм по ГОСТ 8.296-2015 (Регистрационный номер в реестре Федерального информационного фонда 2.1.ZZA.0034.2015)
Метрологические характеристики:
SHS - 180 QC
Номинальное значение периода структуры меры 19,9 нм
Доверительные границы результата измерений ±0,8 нм
SHS -1800 QC
Номинальное значение периода структуры меры 179,4 нм
Доверительные границы результата измерений ±2,0 нм
SHS 1,8 QC
Номинальное значение периода структуры меры 1781 нм
Доверительные границы результата измерений ±11 нм
-
4 Мера профильная ПРО-10
Основные метрологические характеристики:
Номинальные значения параметра шероховатости Ra от 0,005 до 100 мкм
Пределы допускаемого среднеквадратического отклонения параметра Ra, ± 3%
Знак поверки наносится на заднюю панель корпуса профилометров (место нанесения указано на рисунке 2)
Заявитель
ООО «ОПТЭК»
Адрес: 105005, Россия, г. Москва, Денисовский пер., д. 26.
Тел.: +7(495) 933-51-51
Факс: +7(495) 933-51-55
ИНН: 770101001
E-mail: offi ce@optec group. com
Web: http://www.optecgroup. com/
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт оптико-физических измерений» (ФГУП «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, Москва, ул. Озерная, 46.
Телефон: (495) 437-56-33; факс: (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Принцип действия профилометров основан на интерференции световых пучков лазерного излучения, отраженного от опорного зеркала и поверхности измеряемого изделия. Интерференционные картины при различных положениях пьезозеркала регистрируются с помощью встроенной цифровой ПЗС-камеры, оцифровываются и поступают в персональный компьютер (ПЭВМ), где производится их автоматическая обработка. В результате обработки восстанавливается оптическая разность хода, соответствующая измеряемому профилю поверхности.
Результаты измерений в виде двумерных профилей исследуемых объектов (графиков сечений), псевдоцветовых карт и текстовой информации отображаются на экране компьютера.
В профилометрах реализовано два метода исследования: интерферометрия фазового контраста и вертикальная сканирующая интерферометрия.
В методе вертикальной сканирующей интерферометрии используется источник оптического излучения с широким спектром (белый светодиод). В основе метода лежит вертикальное перемещение объектива встроенным приводом с одновременной регистрацией изображения камерой. Каждая точка поверхности оказывается в фокусе, модуляция интерферирующих сигналов достигает максимума, после чего спадает по мере выхода объектива из зоны фокуса. Высота каждой точки поверхности определяется системой по положению объектива в области максимальной модуляции.
В методе интерферометрии фазового контраста используется источник оптического излучения с узким спектром (зеленый светодиод). В этом методе во время цикла измерения система прецизионного позиционирования объектива изменяет оптическую длину пути луча. Каждое такое изменение приводит к сдвигу интерференционных полос. Данные сдвиги регистрируются камерой в виде серии интерферограмм, которые с помощью программной обработки преобразуются в топографию поверхности.
В составе профилометра находится три вида тубусных линз (1.0X, 0.55X, 2.0X) и три интерферометрических объектива (5x, 20x, 50x). Используя различные комбинации объективов и тубусных линз, можно получить объективы с различными увеличениями. В основе измерений при использовании объективов с увеличением 2,75x крат, 5x крат, 10x крат лежит оптическая схема интерферометра Майкельсона, при использовании объективов с увеличениями 11x крат, 20x крат, 27,5x крат, 40x крат, 50x крат, 100x крат - интерферометра Миро.
Место нанесения маркировки
Рисунок 1 - Общий вид профилометров оптических ContourGT-K с указанием
Рисунок 2 - Профилометр оптический ContourGT-K (вид сзади) с указанием мест нанесения маркировки и знака поверки
Пломбирование профилометров не предусмотрено.
Таблица 3
|
Наименование и обозначение |
Количество, шт. |
|
Профилометр оптический ContourGT-K |
1 |
|
Слайдер для тубусных линз* |
1 |
|
Тубусная линза 1.0X* |
1 |
|
Тубусная линза 0.55X* |
1 |
|
Тубусная линза 2.0X * |
1 |
|
Объектив интерферометрический 5x* |
1 |
|
Объектив интерферометрический 20x* |
1 |
|
Объектив интерферометрический 50x* |
1 |
|
Турель на 5 объективов* |
1 |
|
Калибровочный стандарт высоты ступенек (8 мкм) * |
1 |
|
Ультра гладкое зеркало* |
1 |
|
Виброизоляционный стол размером 30x30 дюймов* |
1 |
|
Основание для образцов |
1 |
|
Компрессор* |
1 |
|
Компьютер* |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
1 |
|
Методика поверки МП 043.М1-15 |
1 |
|
* определяется опционально по согласованию с заказчиком | |
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
|
Поле зрения объектива по осям X/Y, мкм 2,75 x |
2409/2048 |
|
5 x |
1220/1060 |
|
10 x |
613/425 |
|
11 x |
316/242 |
|
20 x |
228/173 |
|
27,5 x |
154/118 |
|
40 x |
126/95 |
|
50 x |
126/95 |
|
100 x |
53/45 |
|
Предел среднего квадратического отклонения измерений поля зрения для всех объективов по осям X/Y, % |
5 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по вертикали для всех объективов(ось Z), нм |
от 0,1 до 95300000 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по вертикали для всех объективов(ось Z), нм |
от 19,9 до 1800 |
|
Пределы допускаемой относительно погрешности измерений линейных размеров по вертикали (ось Z), % 2,75 x |
±15 |
|
5 x |
±17 |
|
10 x |
±16 |
|
11 x |
±15 |
|
20 x |
±9 |
|
27,5 x |
±14 |
|
40 x |
±11 |
|
50 x |
±12 |
|
100 x |
±9 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x |
от 1 до 2048 |
|
5 x |
от 1 до 1060 |
|
10 x |
от 1 до 500 |
|
11 x |
от 1 до 400 |
|
20 x |
от 0,5 до 300 |
|
27,5 x |
от 0,5 до 240 |
|
40 x |
от 0,4 до 150 |
|
50 x |
от 0,3 до 120 |
|
100 x |
от 0,2 до 50 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x |
от 100 до 1000 |
|
5 x |
от 100 до 1000 |
|
10 x |
от 100 до 600 |
|
11 x |
от 100 до 600 |
|
20 x |
от 100 до 300 |
|
27,5 x |
от 3 до 240 |
|
40 x |
от 3 до 150 |
|
50 x |
от 3 до 120 |
|
100 x |
от 3 до 40 |
|
Диапазон показаний линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x |
от 1 до 2048 |
|
5 x |
от 1 до 1060 |
|
10 x |
от 1 до 425 |
|
11 x |
от 1 до 242 |
|
20 x |
от 0,5 до 173 |
|
27,5 x |
от 0,5 до 118 |
|
40 x |
от 0,4 до 95 |
|
50 x |
от 0,3 до 95 |
|
100 x |
от 0,2 до 45 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), мкм 2,75 x |
от 100 до 1000 |
|
5 x |
от 100 до 1000 |
|
10 x |
от 100 до 600 |
|
11 x |
от 100 до 600 |
|
20 x |
от 100 до 300 |
|
27,5 x |
от 3 до 240 |
|
40 x |
от 3 до 150 |
|
50 x |
от 3 до 120 |
|
100 x |
от 3 до 40 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров по горизонтали (оси X, Y), % 2,75 x-20 x |
±15 |
|
27,5 x |
±3 |
|
40 x |
±1 |
|
50 x |
±1 |
|
100 x |
±1 |
|
Диапазон показаний шероховатости (высотных параметров Ra, Rz), мкм |
от 0,025 до 953 |
|
Диапазон измерений шероховатости (высотных параметров Ra, Rz), для всех объективов, мкм |
от 0,014 до 0,18 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения шероховатости (высотных параметров Ra, Rz), мкм 2,75 x 5 x
20 x 27,5 x 40 x 50 x 100 x |
±(0,004 - 0,0011) |
|
Вертикальная скорость сканирования, мкм/с, не более |
47 |
|
Габаритные размеры (ШхВхД), мм, не более |
492x754x534 |
|
Масса, кг, не более |
60 |
|
Электропитание осуществляется от сети переменного тока с напряжением, В |
220 |
|
частотой, Гц |
60 |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °C |
20±3 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |
|
-атмосферное давление, кПа |
100±4 |