Номер по Госреестру СИ: 63642-16
63642-16 Вакуумметры инверсно-магнетронные
(MPG400)
Назначение средства измерений:
Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400 предназначены для измерения абсолютного давления.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульном листе руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийМетодика измерений приведена в руководстве по эксплуатации на вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к вакуумметрам инверсно-магнетронным MPG400
1 Техническая документация фирмы INFICON, Лихтенштейн.
2 ГОСТ 8.107-81 «ГСИ. Государственный специальный эталон и государственная общесоюзная поверочная схема для средств измерений абсолютного давления в диапазоне 140-8 + 1403 Па;
Поверка
Поверкаосуществляется по документу РТ-МП-2954-443-2016 «ГСИ. Вакуумметры инверсномагнетронные MPG400. Методика поверки», утвержденному ФБУ «Ростест-Москва» 25.01.2016 г.
При первичной поверке знак поверки наносится в виде оттиска поверительного клейма, а при периодической поверке знак поверки наносится на свидетельство о поверке в виде оттиска поверительного клейма и голографической наклейки.
Перечень эталонов, применяемых при поверке:
- вакуумметр ионизационный образцовый 2- го разряда ВИО-1 с диапазоном измерений от 7-10-9 до 1-10’1 Па, с допускаемой относительной погрешностью ±10 % в диапазоне от 1 • 10-7 до 1-10’1 Па и ± 30 % в диапазоне от 740-9 до 1,1 • 10-7Па (Госреестр № 9862-85);
-
- установка вакуумметрическая эталон-5ная 2-го 3разряда ВАТТ УВЭ-3 c диапазоном измерения абсолютного давления от 1^10-5 до 1-103 Па, с допускаемой относительной погрешностью ± 10 % в диапазоне от Г10-2 до Г103 Па и ± 15 % в диапазоне от Г10-5 до 1 • 10-2 Па (Госреестр № 53639-13);
-
- калибратор-контроллер давления PPC4 c диапазоном измерения абсолютного давления до 110 кПа, с допускаемой относительной погрешностью ± 0,01 % (Госреестр № 27758-08);
- мультиметр цифровой 34401А с диапазоном измерения напряжения постоянного тока до 10 В, с относительной погрешностью ± [0,0035 % от измеряемой величины + 0,0005 % от верхнего предела измерений] (Госреестр № 54848-13);
- источник питания постоянного тока Б5-93, с наибольшим значением напряжения 50 В и с пределами допускаемой погрешности по выходному напряжению: ± (0,001U+0,3) В, в диапазоне до 30 В и ± (0,001U+0,5) В, в диапазоне свыше 30 В (Госреестр № 51394-12).
Изготовитель
Фирма INFICON, Лихтенштейн
LI-9496 Balzers, Liechtenstein
Tel: +423 388 3111 Fax: +423 388 3700
www.inficon.com reachus@inficon.com
Заявитель
ООО «Вейтус»
Юридический адрес: 11512, г. Москва, ул. Хавская, д.11, к. 312
Тел./Факс: +7 (495) 954-94-96
Испытательный центр
Федеральное бюджетное учреждение «Государственный региональный центр стандартизации, метрологии и испытаний в г. Москве» (ФБУ «Ростест-Москва»)
Адрес: 117418, г. Москва, Нахимовский проспект, д. 31
Тел: (495) 544-00-00
Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400 выполнены в виде единого корпуса, в котором расположены два датчика: инверсно-магнетронный и Пирани. Датчик инверсномагнетронный представляет собой разрядную трубку, внутри которой параллельно друг другу расположены катодная пластина на заземлённом потенциале и анод с высоким положительным зарядом. С внешней стороны на разрядной трубке расположены два постоянных магнита и металлических хомут. Датчик Пирани состоит из корпуса, в котором находится нить накаливания, по которой пропускается постоянный ток. Нить накаливания приварена к центру нагревательного элемента, обеспечивает прямое измерение температуры. Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400 имеют аналоговый выходной сигнал, который может быть использован для удаленного отображения и контроля вакуумных систем.
Принцип действия вакуумметров инверсно-магнетронных MPG400 основан на использовании принципа холодной эмиссии и на зависимости теплопроводности разряженного газа от давления.
Таблица 1
Наименование характеристики |
Вакуумметры инверсно-магнетронные MPG400 | ||
Зав. № 4352 |
Зав. № 4355 |
Зав. № 4418 | |
Диапазон измерений, гПа (мбар) |
от 540"9 до 1403 | ||
Выходной аналоговый сигнал, В |
от 1,82 до 8,6 | ||
Тип выходного аналогового сигнала |
логарифмический | ||
Пределы допускаемой относительной | |||
погрешности, %: |
± 30 | ||
Напряжение питания, В |
от 15 до 30 | ||
Потребляемая мощность, Вт, не более |
2 | ||
Габаритные размеры, мм, не более |
0 63,5 х 110 | ||
Масса, кг, не более |
0,7 | ||
Диапазон рабочих температур, °С |
от плюс 5 до плюс 55 | ||
Относительная влажность, % |
не более 80 | ||
Степень защиты |
IP 40 |
Рисунок 1 - Вакуумметр инверсно-магнетронный MPG400