Номер по Госреестру СИ: 61075-15
61075-15 Стенд измерительный для СБИС
(Verigy V93000 Pin Scale 1600)
Назначение средства измерений:
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 (далее по тексту - стенд) предназначен для контроля и измерения вольт-амперных параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Внешний вид.
Стенд измерительный для СБИС
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 152032
ID в реестре СИ - 374432
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
V93000 Pin Scale 1600,
Производитель
Изготовитель - Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№817 от 2015.07.14 Об утверждении типов средств измерений
Наличие аналогов СИ: Стенд измерительный для СБИС (Verigy V93000 Pin Scale 1600)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
61075-15 |
Стенд измерительный для СБИС, Verigy V93000 Pin Scale 1600 Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
73625-18 |
Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем, V93000 Pin Scale 1600/CTH Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
|
73624-18 |
Стенды измерительные для больших и сверхбольших интегральных схем, V93000 Pin Scale 1600/ATH Компания "Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ МП |
1 год |
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Отчет «Каталог типов СИ АРШИН по группам СИ» сортирует типы СИ в зависимости от выбранной группы СИ (можно выбрать нескольких групп СИ одновременно) и представляет их списком в виде удобной для дальнейшей работы таблицы. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок. К группам СИ отнесены устойчивые словосочетания наименований типов СИ, состоящие максимум из 3 слов.
Таблица содержит минимум 8 колонок:
По каждому типу СИ приведены: номер в гос. реестре с ссылкой, наименование типа СИ, наименование фирмы-производителя, ссылка на описание типа и методику поверки (если они имеются), величина интервала между поверками, а также, количество поверок по годам (начиная с 2020).
Кто поверяет Стенд измерительный для СБИС (Verigy V93000 Pin Scale 1600)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "АКТИ-МАСТЕР" (RA.RU.311666) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Стенд измерительный для СБИС (Verigy V93000 Pin Scale 1600)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств стенда, а также обработку и документирование измерительной информации.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «низкий» по Р50.2.077-2014, класс риска “A” по WELMEC 7.2, Issue 5.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
идентификационное наименование |
SmarTest |
|
идентификационный номер версии |
7.1.4.12 и выше |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к стенду измерительному для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне 1 •IO-16 30 А.
ГОСТ 8.129-2013. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений времени и частоты.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу «ГСИ. МП РТ 090/551-2015. Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600», утвержденному руководителем ФБУ «Ростест-Москва» 27.04.2015 г.
Средства поверки указаны в таблице 4.
Таблица 4
|
Наименование |
Метрологические характеристики |
|
частотомер электронносчетный Agilent 53132A с опциями 012 и 030 |
абсолютная погрешность измерения периода Т в диапазоне от 0,33 нс до 10 с не более ± 4- 10"9-Т |
|
осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 с пробником Р6158А |
абсолютная погрешность измерения временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (3,5А0’6-Т + 6 пс) |
|
мультиметр цифровой Keithley 2000 |
абсолютная погрешность измерения напряжения U на пределах 10 В не более ± (3-10’5-U + 50 мкВ) 100 В не более ± (4,5-10’5-U + 0,6 мВ) |
|
калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 |
абсолютная погрешность воспроизведения напряжения U на пределе 20 В не более ± (2 - 10’4 U + 2,4 мВ) |
|
абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,340’44 + 0,7 нА) 100 мкА не более ± (3,140’44 + 6 нА) 1 мА не более ± (3,4^ 10’44 + 60 нА) 100 мА не более ± (6,6-10'41 + 6 мкА) | |
|
абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (3,3А0’44 + 2 нА) 100 мкА не более ± (3,140’44 + 20 нА) 1 мА не более ± (3,4А0’44 + 200 нА) 100 мА не более ± (6,6А0’44 + 20 мкА) | |
|
мультиметр Agilent 3458А |
абсолютная погрешность измерения силы тока I на пределах 10 мкА не более ± (1040’64 + 7 пА) 100 мкА не более ± (10^ 10’64 + 0,6 нА) 1 мА не более ± (1040’64 + 4 нА) 10 мА не более ± (1040’64 + 40 нА) 1 А не более ± (10-10’5-I + 10 мкА) |
|
калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А |
абсолютная погрешность воспроизведения силы тока I в режиме электронной нагрузки при напряжении до 20 В на пределах 5 А не более ± (840’44 + 3,5 мА) 10 А не более ± (1,5-10’3-I + 6 мА) |
|
калибратор универсальный Fluke 9100 |
абсолютная погрешность установки силы тока I на пределах 320 мА не более ± (1,6-10’44 + 9,6 мкА) 3,2 А не более ± (6^ 10’44 + 118 мкА) 10,5 А не более ± (5,5-10’4-I + 0,94 мА) |
Изготовитель
Компания “Advantest Europe GmbH, Branch Boeblingen”, Германия; Адрес: Herrenberger Strasse 130, 71034, Boeblingen, Germany тел. +49-7031-4357-000, факс +49-7031-4357-497
Заявитель
Закрытое акционерное общество «АКТИ-Мастер» (ЗАО «АКТИ-Мастер») Адрес: 127254, Москва, Огородный проезд, д. 5, стр. 5 тел./факс (495)926-71-85; e-mail: post@actimaster.ru
Испытательный центр
Федеральное бюджетное учреждение «Государственный региональный центр стандартизации, метрологии и испытаний в Москве» (ФБУ «Ростест-Москва») Адрес: 117418 Москва, Нахимовский пр., 31; тел. (499)129-19-11, факс (499)129-99-96.
Принцип работы стенда основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности или алгоритмическим генератором тестов и драйверами универсальных измерительных каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами универсальных измерительных каналов в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение постоянного напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы постоянного тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Максимальная частота смены векторов тестовой последовательности (ТП) 533 Мбит/с может быть повышена до 1600 Мбит/с путем задания на минимальную длительность вектора 2,5 нс до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 8 временных меток, формирующих 8 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 112 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всем диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме каждый канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля используется драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками (общим количеством до 8), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по силе тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначены измерительные источники питания MS DPS (E9711A/B) и DCS DPS32 (E8013CS).
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600 выполнен в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стенда представлен на рисунке 1.
место пломбирования (защитная краска под винт)
место размещения знака утверждения типа и знака поверки Рисунок 1 - Внешний вид стенда измерительного для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
-
- универсальные 128-ми канальные измерительные платы PS1600, максимальное количество 16 шт., всего до 2048 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU; на каналах 1, 17, 33, 49, 65, 81, 97 и 113 имеются широкодиапазонный драйвер и два широкодиапазонных компаратора; также для каждых 16 каналов имеется общий аналого-цифровой преобразователь BADC с большим входным сопротивлением, предназначенный для точного измерения напряжения);
-
- одноканальные платы прецизионных источников-измерителей напряжения и силы тока HPPMU, максимальное количество 2 шт.;
-
- 8-ми канальные платы источников питания MS DPS (E9711A/B), максимальное количество 2 шт.;
-
- 32-х канальные платы измерительных источников питания DCS DPS32 (E8013CS), максимальное количество 16 шт.
Комплектность стенда представлена в таблице 3.
Таблица 3
|
Наименование |
Обозначение |
Кол-во |
|
Измерительный головной блок |
Е8014Азав. №MY04601811 |
1 шт. |
|
Манипулятор |
E6979LC зав. №2301.384219 |
1 шт. |
|
У становка водяного охлаждения |
E2760FAL3aB. № 147296 |
1 шт. |
|
Программа управляющая |
SmarTest |
1 шт. |
|
Компьютер |
HP Z620 |
1 шт. |
|
Стенд измерительный для СБИС Verigy V93000 Pin Scale 1600. Руководство по эксплуатации |
1 шт. | |
|
Методика поверки |
МП РТ 090/551-2015 |
1 шт. |
|
Программа для поверки |
PR POV 777 |
1 шт. |
|
Комплект оснастки для поверки в составе устройство согласования устройство согласования |
ТСКЯ.418133.251 (Вер.2) тск>| 418133 253...................................................................... |
1 шт. 1 шт. |
|
устройство согласования |
ТСКЯ.418133.254 (Вер.1) |
1 шт. |
|
устройство согласования |
ТСКЯ.418133.256 (Вер.1) |
1 шт. |
|
плата коммутационная |
Е7010Е |
1 шт. |
|
шлюз LAN/GPIB |
Agilent Е5810В |
1 шт. |
стенда представлены в таблице 2.
Таблица 2
|
Наименование характеристики |
Значение х-ки |
|
1 |
2 |
|
диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс |
от 2,5 до 31250 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс |
± 1540’^Т |
|
диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс |
от минус 4-Т до + 12^Т |
|
крайние значения временных меток, мкс |
минус 6,3; + 19 |
|
разрешение временных меток, пс |
1 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8, пс |
± 150 |
|
максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов д |
эайвера, нс |
|
при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,6 |
|
при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,7 |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %) |
0,8 |
|
1 |
2 |
|
минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс | |
|
при амплитуде 1,0 В |
0,7 |
|
при амплитуде 1,8 В |
0,8 |
|
при амплитуде 3,0 В |
0,9 |
|
максимальная длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс | |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
9 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
250 |
|
максимальная длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс | |
|
при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
10,5 |
|
при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %) |
30 |
|
диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В |
от минус 1,5 до + 6,5 |
|
разрешение уровней напряжения драйвера, мВ |
1 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера, мВ |
± 5 |
|
выходное сопротивление драйвера, Ом |
от 47,5 до 52,5 |
|
диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В | |
|
диапазон VIL/VIH |
от 0,0 до + 6,5 |
|
диапазон VHH |
от + 6,0 до + 13,4 |
|
разрешение уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ |
1 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ |
± 15 |
|
выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом | |
|
при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В |
от 45 до 55 |
|
при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В, не более |
10 |
|
диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В |
от минус 1,5 до + 6,5 |
|
разрешение по напряжению компаратора, мВ |
1 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором, мВ |
± 15 |
|
диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В |
от минус 3,0 до + 13,4 |
|
разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ |
1 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ | |
|
при уровнях напряжения от 0 до 8 В |
±20 |
|
при уровнях напряжения от минус 3,0 до 13,4 В |
± 50 |
|
диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В |
от минус 1,5 до + 6,5 |
|
диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В |
от минус 1,0 до + 1,0 |
|
разрешение уровней напряжения дифференциального компаратора, мВ |
1 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором, мВ |
± 15 |
|
1 |
2 |
|
диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мА (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
от минус 25 до + 25 |
|
разрешение силы тока активной нагрузки, мкА |
12,5 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки, мкА |
± (1^10-2 •I + 75 мкА) |
|
диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тока в нагрузке, В | |
|
при силе тока в пределах ± 1 мА |
от минус 1,5 до + 6,5 |
|
при силе тока в пределах ± 25 мА |
от минус 1,0 до + 5,5 |
|
пределы воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В | |
|
при силе тока в пределах ± 1 мА |
от минус 2,0 до + 6,5 |
|
при силе тока в пределах ± 40 мА |
от минус 2,0 до + 5,75 |
|
разрешение воспроизведения напряжения PMU, мкВ |
200 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения источником-измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА |
± (3 мВ + I'R), R = 1 Ом |
|
разрешение измерения напряжения PMU, мкВ |
75 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U источником- | |
|
измерителем PMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | |
|
в диапазоне от минус 2,0 до + 6,5 В |
± (4 мВ + I'R), R — 1 Ом |
|
в диапазоне от 0,0 до + 3,3 В |
± (2 мВ + I'R), R = 1 Ом |
|
пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А) |
2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА |
|
разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем PMU | |
|
на пределе 2 мкА |
1 нА |
|
на пределе 10 мкА |
5 нА |
|
на пределе 100 мкА |
50 нА |
|
на пределе 1 мА |
0,5 мкА |
|
на пределе 40 мА |
20 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I | |
|
источником-измерителем PMU, нА (мкА) | |
|
на пределе 2 мкА |
1 (5 10’3 1 1 40 нА) |
|
на пределе 10 мкА |
: (510’'1 • 100 нА) |
|
на пределе 100 мкА |
1 (5 Ю’3 1 1 500 нА) |
|
на пределе 1 мА |
1 (5 10’3 I 1 5 мкА) |
|
на пределе 40 мА |
1 (5 Ю’3 I 1 50 мкА) |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I | |
|
источником-измерителем PMU, нА (мкА) | |
|
на пределе 2 мкА |
1 (5 10’3 I 1 10 нА) |
|
на пределе 10 мкА |
: (510’31 • 50 нА) |
|
на пределе 100 мкА |
± (5 10’3 I + 200 нА) |
|
на пределе 1 мА |
: (510’31 • 1.25 мкА) |
|
на пределе 40 мА |
1 (5 10’3 I 1 50 мкА) |
|
пределы измерения напряжения АЦП BADC, В | |
|
в стандартном режиме |
от минус 3,0 до + 8,0 |
|
в широкодиапазонном режиме |
от минус 6,0 до + 13,4 |
|
1 |
2 |
|
разрешение измерения напряжения АЦП BADC, мкВ | |
|
в стандартном режиме |
75 |
|
в широкодиапазонном режиме |
150 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения АЦП BADC, мВ | |
|
в стандартном режиме |
± 1 |
|
в широкодиапазонном режиме |
± 10 |
|
входное сопротивление АЦП BADC, МОм |
более 100 |
|
пределы воспроизведения и измерения напряжения U прецизионным источником-измерителем | |
|
HPPMU, В | |
|
подключение через плату PS1600 |
от минус 1,5 до + 6 |
|
подключение через разъем UTILITY pogo block |
от минус 5 до + 8 |
|
разрешение воспроизведения и измерения напряжения HPPMU, мкВ |
250 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем HPPMU, мВ, при силе тока нагрузки I, мА | |
|
подключение через плату PS1600 |
± (2 мВ + I-R), R = 1 Ом |
|
подключение через разъем UTILITY pogo block |
± 2 мВ |
|
пределы воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU |
5; 200 мкА; 5; 200 мА |
|
разрешение воспроизведения и измерения силы тока I источником-измерителем HPPMU | |
|
на пределе 5 мкА |
250 пА |
|
на пределе 200 мкА |
6 нА |
|
на пределе 5 мА |
250 нА |
|
на пределе 200 мА |
6 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I | |
|
источником-измерителем HPPMU, нА (мкА) | |
|
на пределе 5 мкА, подключение через плату PS1600 |
1 (1 10’3 1 1 50 нА) |
|
на пределе 5 мкА, подкл. через разъем UTILITY pogo block |
1 (1 10’3 1 1 10 нА) |
|
на пределе 200 мкА |
1 (1 10’3 1 I 200 нА) |
|
на пределе 5 мА |
± (1 10'3 1 + 10 мкА) |
|
на пределе 200 мА |
1 (1 Ю’3 1 1 200 мкА) |
|
пределы воспроизведения напряжения U измерительным источником питания MS DPS, В |
от минус 8 до + 8 |
|
разрешение воспроизведения напряжения MS DPS, мкВ |
300 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U, мВ, измерительным источником питания MS DPS при силе тока нагрузки I, А | |
|
в 4-х канальном режиме, сопротивление нагрузки R = 4 мОм |
± (1-10’3-U + 4 мВ + UR) |
|
в 8-ми канальном режиме, сопротивление нагрузки R = 4 мОм |
: . 2 мВ . | R) |
|
максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 4-х канальном режиме, А | |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В |
от минус 1,5 до + 8,0 |
|
при воспроизведении напряжения от + 7 до + 8 В |
от минус 1,5 до + 4,0 |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В |
от минус 4,0 до + 1,5 |
|
максимальная сила тока в нагрузке MS DPS в 8-и канальном режиме, А | |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до + 7 В |
от минус 1,5 до + 4,0 |
|
при воспроизведении напряжения от +7 до + 8 В |
от минус 1,5 до + 2,0 |
|
при воспроизведении напряжения от 0 до минус 8 В |
от минус 2,0 до + 1,5 |
|
1 |
2 |
|
пределы измерения силы тока I измерительным источником питания MS DPS | |
|
в 4-х канальном режиме |
100 мкА; 1; 10 мА; 0,3; 8 А |
|
в 8-ми канальном режиме |
0,01; 0,1; 1; 10 мА; 0,3; 4 А |
|
разрешение измерения силы тока MS DPS в 4-х канальном режиме | |
|
на пределе 100 мкА |
5 нА |
|
на пределе 1 мА |
50 нА |
|
на пределе 10 мА |
500 нА |
|
на пределе 0,3 А |
15 мкА |
|
на пределе 8 А |
150 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным | |
|
источником питания MS DPS в 4-х канальном режиме, нА (мкА) | |
|
на пределе 100 мкА |
1 (1 1()’3 1 1 100 нА) |
|
на пределе 1 мА |
± (1 I0’3 1 + 1 мкА) |
|
на пределе 10 мА |
1 (1 10’3 1 1 10 мкА) |
|
на пределе 0,3 А |
; (110’31 • 300 мкЛ) |
|
на пределе 8 А |
; (110’31 • 20 мА) |
|
разрешение измерения силы тока MS DPS в 8-ми канальном режиме | |
|
на пределе 10 мкА |
500 пА |
|
на пределе 100 мкА |
5 нА |
|
на пределе 1 мА |
50 нА |
|
на пределе 10 мА |
500 нА |
|
на пределе 0,3 А |
15 мкА |
|
на пределе 4 А |
150 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным | |
|
источником питания MS DPS в 8-ми канальном режиме, нА (мкА) | |
|
на пределе 10 мкА |
1 (1 10’3 1 1 10 нА) |
|
на пределе 100 мкА |
: (| |()-31 • ЮО нА) |
|
на пределе 1 мА |
: (| |()-31 • I мкА) |
|
на пределе 10 мА |
± (110'31 + 10 мкА) |
|
на пределе 0,3 А |
± (1 I0’3 1 + 300 мкА) |
|
на пределе 4 А |
1 (1 10’3 1 1 10 мА) |
|
пределы воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32, В |
от 0 до + 7 |
|
разрешение воспроизведения напряжения DCS DPS32, мкВ |
200 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения измерительным источником питания DCS DPS32, мВ |
± 3 |
|
максимальная сила тока в нагрузке DCS DPS32, А | |
|
при воспроизведении напряжения до + 3,0 В |
от минус 1,5 до + 1,5 |
|
при воспроизведении напряжения до + 3,6 В |
от минус 1,2 до + 1,2 |
|
при воспроизведении напряжения до + 7,0 В |
от минус 0,5 до + 0,5 |
|
пределы измерения силы тока DCS DPS32 |
100 мкА; 2; 50 мА; 1,5 А |
|
разрешение измерения силы тока DCS DPS32 | |
|
на пределе 100 мкА |
5 нА |
|
на пределе 2 мА |
100 нА |
|
на пределе 50 мА |
2,5 мкА |
|
на пределе 1,5 А |
100 мкА |
|
1 |
2 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I измерительным источником питания DCS DPS32, нА (мкА) | |
|
на пределе 100 мкА |
±(110 -1+ 100 нА) |
|
на пределе 2 мА |
± (1 • 10'31 + 2 мкА) |
|
на пределе 50 мА |
± (1 • 10'31 + 50 мкА) |
|
на пределе 1,5 А |
: (| |()-31 • 1.59 мА) |
|
ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
|
габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм | |
|
головной блок с манипулятором |
1880 х 1290 х 2270 |
|
установка водяного охлаждения |
950 х 520 х 870 |
|
масса головного блока с манипулятором, кг, не более |
1118 |
|
масса установки водяного охлаждения, кг, не более |
185 |
|
напряжение питания (сеть трехфазного тока частотой 50 Гц), В |
от 360 до 440 |
|
потребляемая мощность, кВ^А |
15 |
|
температура окружающей среды, °С |
от 20 до 30 |
|
относительная влажность при температуре 30 °С, не более |
70 % |