Номер по Госреестру СИ: 60980-15
60980-15 Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
(МС-4)
Назначение средства измерений:
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые МС-4 (далее по тексту -
течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности.
Внешний вид.
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение, разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий
Программное обеспечение течеискателя - «Течеискатель МС-4», служит для управления работой вакуумной системы и масс-спектрометрического анализатора течеискателя.
ПО выполняет следующие функции:
-
• управление работой вакуумной системой течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов);
-
• управление работой масс-спектрометрического анализатора (определение чувствительности, настройка на пик гелия);
-
• прием, обработка и отображение измерительной информации от масс-спектрометрического анализатора;
-
• формирование выходных сигналов;
-
• автоматическая диагностика состояний течеискателя.
Идентификационные данные встроенного программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные встроенного программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
Г елиевый течеискатель МС-4 |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже V 3.4.15 |
Цифровой идентификатор ПО* |
- |
Другие идентификационные данные (если имеются) |
- |
Уровень защиты ПО вакуумметров от преднамеренных или непреднамеренных изменений: средний в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Влияние встроенного ПО вакуумметров учтено при нормировании метрологических характеристик.
Знак утверждения типа наносится типографским способом на титульный лист руководств по эксплуатации и методом наклейки или иным методом на лицевую панель корпуса течеискателей. Сведения о методе измерений приведены в документе СКСП.171011.011-01 РЭ «Течеискатель масс-спектрометрический гелиевый МС-4. Руководство по эксплуатации». 1 ГОСТ 28517-90 «Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод течеискания. Общие требования» 2 ГОСТ Р 53177-2008 «Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности» 3 Технические условия ТУ 4215-008-61085855-13 осуществляется по МП 231-0030-2015 «Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые МС-4. Методика поверки», утвержденной ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 12.03.2015 г. Основным средством поверки является государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме ГВЭТ 49-2-2006, диапазон измерений от 10-12 до 1 Па^м3/с, СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Па^м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10-9 до 1 Па^м3/с не более 0,015. Течеискатель представляет собой высокочувствительный магнитный масс-спектрометр, настроенный на регистрацию потока пробного газа (гелия). Натекание (утечка) определяется потоком гелия, проникающего в испытуемый объём при вакуумных испытаниях, или вытекающего из испытуемого объёма при избыточном давлении в нём. Конструктивно течеискатель представляет собой автономный модуль в металлическом корпусе, который может быть установлен на транспортную тележку. В корпусе находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа; вакуумная система в сборе, блок управления, высоковакуумный насос, терморезистивные измерители вакуума и гелиевая течь Гелит 1, предназначенная для настройки анализатора и контроля потоков, регистрируемых течеискателем. Форвакуумный насос (ФВН) может быть встроен в корпус течеискателя, либо установлен на нижней полке транспортной тележки. Значение измеряемого потока отображается на ЖК индикаторе контрольной панели течеискателя Вакуумная система течеискателя соединяется с испытуемым объектом. Молекулы пробного газа, проникающие через места нарушения герметичности объекта, попадают в масс-спектрометрический анализатор и, далее, в камеру ионизации ионного источника. Ионы гелия ускоряются, фокусируются в скрещенных электрическом и магнитном полях и, после разделения, попадают на коллектор (мишень). При этом образуется ионный ток, пропорциональный количеству попадающего в течеискатель гелия, который является критерием степени негерметичности испытуемого объекта. Ионный ток поступает на электрометрический усилитель, далее преобразуется встроенным микроконтроллером и передается на блок управления течеискателя. Значение измеряемого потока отображается на ЖК индикаторе течеискателя. В течеискателе предусмотрены режимы измерений по входу: «прямоток» и «противоток», переключения между которыми осуществляется как в ручном, так и в автоматическом режиме. Также в течеискателе реализован режим поиска течей способом щупа и имеется режим байпасной откачки, предназначенный для применения течеискателя в качестве вакуумного поста. Течеискатель может применяться для обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости или заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий. Внешний вид течеискателя приведен на рисунке 1. Рисунок 1 - Внешний вид течеискателя Течеискатель МС-4 1 шт. Комплект запчастей и принадлежностей 1 компл. Руководство по эксплуатации СКСП.171011.011-01 РЭ 1 экз. Формуляр СКСП. 26.00.00-03ФО 1 экз. Методика поверки МП 231-0030-2015 1 экз. Техническое описание турбомолекулярного насоса 1 экз. Техническое описание форвакуумного насоса 1 экз. Паспорт меры потока (течи гелиевой) Гелит 1 ТДМКО.339.022 ПС 1 экз. Диапазон показаний по входу течеискателя, Па-м3/с Диапазон измерений по входу течеискателя, Па-м3/с Диапазон показаний при работе способом щупа, Па-м3/с Пределы допускаемой относительной погрешности измерений по входу течеискателя, % от измеряемой величины |
от 540"13 до 140"3 от 7^10-11 до 1Ч0"4 от 140’9 до 1 ± (0,50 + Qнпи/Qизм)•100 |
гДе Qmil - нижний преДел измерений (0,нпи=7-10'п Па-м3/с), Qt^ - значение измеренного потока, Пам3/с
Время установления выходного сигнала, мин, не более Скорость форвакуумной откачки, м3/ч, не менее Питание от сети переменного тока: |
5 15 |
Потребляемая мощность, В^А, не более |
220±22 50 800 |
Габаритные размеры, (длинахширинахвысота), мм, не более -с ФВН, установленным в корпусе течеискателя - с ФВН, установленным на транспортной тележке
505х400х401
545х645х1100
85
60000
10
от 10 до 35 от 84 до 106,7 до 80
Масса (с транспортной тележкой и ФВН), кг, не более Средняя наработка до метрологического отказа, ч
Средний срок службы, лет
Условия эксплуатации:
Диапазон рабочих температур окружающего воздуха, °С Атмосферное давление, кПа
Относительная влажность воздуха, %