Номер по Госреестру СИ: 53466-13
53466-13 Стенд измерительный для СБИС
(Agilent 93000 С200e)
Назначение средства измерений:
Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200е предназначен для контроля и измерения параметров сверхбольших интегральных схем (СБИС) на пластине и в корпусе при разработке, испытаниях, производстве, и эксплуатации изделий электронной техники в ЗАО «ПКК Миландр», г. Москва, Зеленоград.
Внешний вид.
Стенд измерительный для СБИС
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 143394
ID в реестре СИ - 365794
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
AGILENT 93000 C200e,
Производитель
Изготовитель - Фирма "Agilent Technologies Deutschland GmbH SOC Order FulFillment"
Страна - ГЕРМАНИЯ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Справочник содержит информацию об организациях, аккредитованных на работу в области обеспечения единства измерений. За основу справочника взят реестр аккредитованных лиц (https://pub.fsa.gov.ru/ral) Федеральной службы по аккредитации. Частота обновления справочника не реже одного раза в квартал.
Справочник реализован в виде единой таблицы, имеется возможность поиска и сортировки по любому из полей. В таблице представлена следующая информация: Номер аттестата аккредитации, ИНН; Наименование организации; Наименование аккредитованного лица; Статус организации в реестре аккредитованных лиц ФСА; Комментарий; Адреса осуществления деятельности.
Статистика
Кол-во поверок - 9
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 3
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 2
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№220 от 2023.01.31 О закреплении документов национальной системы стандартизации за техническим комитетом по стандартизации "Оптика и фотоника" (ТК 296)
Наличие аналогов СИ: Стенд измерительный для СБИС (Agilent 93000 С200e)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Фирма "Agilent Technologies Deutschland GmbH SOC Order FulFillment"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
53466-13 |
Стенд измерительный для СБИС, Agilent 93000 С200e Фирма "Agilent Technologies Deutschland GmbH SOC Order FulFillment" (ГЕРМАНИЯ ) |
ОТ |
1 год |
Отчет предназначен для отслеживания динамики наполнения ФГИС АРШИН данными о поверках. Отчет состоит из 3 графиков и одной сводной таблицы. Все графики являются интерактивными, имеют функции экспорта и масштабирования. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок.
Графики представляют собой столбчатые диаграммы распределения поверок, загружаемых в ФГИС аршин по месяцам. По оси абсцисс «Ox» - дата, по оси ординат «Oy» - количество поверок в штуках. Возможно отслеживание трех типов "поверок": первичные поверки, периодические поверки или извещения о непригодности.
При построении отчета есть возможность предварительно сконфигурировать параметры его отображения путем установки фильтров по поверкам, периодическим поверкам или извещениям о непригодности.
В заголовке отчета приводятся усредненные данные по загруженным в АРШИН поверкам:
- максимальное количество поверок за месяц
- среднее количество поверок в месяц и в год
- период наполнения базы в месяцах и годах
В завершении отчета приведена сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации. В таблице представлены следующие поля
- дата
- общее количество поверок
- кол-во периодических поверок
- кол-во извещений о непригодности
Кто поверяет Стенд измерительный для СБИС (Agilent 93000 С200e)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "АКТИ-МАСТЕР" (RA.RU.311666) | 4 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | |||
| АО "АКТИ-МАСТЕР" (RA.RU.311666) | 5 | 0 | 3 | 0 | 3 | 0 | 3 |
Стоимость поверки Стенд измерительный для СБИС (Agilent 93000 С200e)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение выполняет функции создания, редактирования параметров функционального контроля, задания параметров параметрических измерений, источников питания, универсальных каналов и других устройств системы, а также обработку и документирование измерительной информации.
Общие сведения о программном обеспечении приведены в таблице ниже.
|
класс риска |
А ио WELMEC 7.2 для категории U |
|
идентификационное наименование |
Smartest |
|
идентификационный номер версии |
4.3.13 и выше |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на панель корпуса измерительного головного блока в виде наклейки, и на титульный лист руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Методы измерений изложены в разделе 3 руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к стенду измерительному для СБИС Agilent 93000 С200еГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
ГОСТ 8.027-2001. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений постоянного электрического напряжения и электродвижущей силы.
ГОСТ 8.022-91. Государственная система обеспечения единства измерений. Государственный эталон и государственная поверочная схема для средств измерений силы постоянного электрического тока в диапазоне V10-16 30 А.
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измеренийВыполнение работ по оценке соответствия промышленной продукции установленным законодательством Российской Федерации обязательным требованиям.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 010/551-2013 «Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 C200e DE39700195», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ФБУ «Ростест-Москва» 09.04.2013 г.
Средства поверки
|
средство поверки и требования к его метрологическим характеристикам |
рекомендуемое средство поверки и его метрологические характеристики |
|
осциллограф цифровой абсолютная погрешность измерения периода и временных интервалов Т не более ± (50 пс + 3,540-4-Т) |
осциллограф цифровой Tektronix DPO7254 абсолютная погрешность измерения периода и временных интервалов Т при частоте дискретизации 10 ГГц не более ± (6 пс + 3,540-б-Т) |
измеритель постоянного напряжения абсолютная погрешность измерения напряжения на пределах
100 мВ не более ± (1 • 10-4^U + 20 мкВ)
1 В не более ± (r10-4^U + 100 мкВ)
10 В не более ± (l-lO^-U + 500 мкВ) калибратор-измеритель постоянного напряжения и силы постоянного тока абсолютная погрешность установки напряжения от 0 до 8 В не более ± (1,6А0-3 •U + 3 мВ) абсолютная погрешность измерения напряжения от 0 до 8 В не более ± (1,6А0-3 •U + 6 мВ) абсолютная погрешность установки силы тока на пределах:
10 мкА не более ± (1,6-10-3 •I + 33 нА),
100 мкА не более ± (1,640-3 •I + 40 нА), 1 мА не более ± (1,640-3 •I + 0,4 мкА), 40 мА не более ± (1,6А0-3 •I + 16 мкА); абсолютная погрешность измерения силы тока на пределах:
10 мкА не более ± (1,640-3 •I + 33 нА),
100 мкА не более ± (1,640-3 •I + 160 нА), 1 мА не более ± (1,640-3 •I + 1,6 мкА), 40 мА не более ± (1,6А0-3 •I + 60 мкА) абсолютная погрешность измерения напряжения от 0 до 8 В при установке силы тока от 0 до 7 А не более ± (3,3A0-4^U + 1,6 мВ) измеритель силы постоянного тока абсолютная погрешность измерения силы постоянного тока на пределе 200 мА не более ± (3,3-10’4-I + 66 мкА)
калибратор постоянного тока абсолютная погрешность установки силы тока:
80 мкА не более ± 0,06 мкА,
8 мА не более ± 6 мкА,
300 мА не более ± 0,2 мА,
4 А не более ± 8 мА,
7 А не более ± 9 мА мультиметр цифровой Keithley 2000 абсолютная погрешность измерения напряжения на пределах
100 мВ не более ± (6,5-10’5-U + 3,5 мкВ)
1 В не более ± (3,2A0-5^U + 7 мкВ)
10 В не более ± (3A0-5^U + 50 мкВ) калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 абсолютная погрешность установки напряжения на пределе 20 В не более ± (2A04U + 2,4 мВ);
абсолютная погрешность измерения напряжения на пределе 20 В не более ± (1,5-10’4-U + 1 мВ)
абсолютная погрешность установки силы тока на пределах
10 мкА не более ± (3,3^10-4^ I + 2 нА),
100 мкА не более ± (3,V10-4^I + 20 нА),
1 мА не более ± (3,34-10’4-I + 0,2 мкА),
100 мА не более ± (6,6-10’4-I + 20 мкА); абсолютная погрешность измерения силы тока на пределах
10 мкА не более ± (2,7-10’4-I + 0,7 нА),
100 мкА не более ± (2,5-10’4-I + 6 нА),
1 мА не более ± (2,5-10’4-I + 60 нА),
100 мА не более ± (5,5-10~4-I + 6 мкА) калибратор-измеритель напряжения и силы тока Keithley 2651А пределы воспроизведения силы тока 5, 10 А; абсолютная погрешность измерения напряжения на пределах:
1 В не более ± (1,5A04U + 0,3 мВ),
10 В не более ± (1,540AU + 3 мВ) мультиметр Agilent 3458А абсолютная погрешность измерения силы тока на пределе 1 А не более ± (V10-4a + 10 мкА) калибратор-мультиметр цифровой Keithley 2420 абсолютная погрешность установки силы тока:
80 мкА не более ± 0,045 мкА
8 мА не более ± 5,6 мкА__________________
калибратор универсальный Fluke 9100 абсолютная погрешность установки силы тока:
300 мА не более ± 0,06 мА,
4 А не более ± 3,1 мА,
7 А не более ± 4,8 мА
Изготовитель
Фирма «Agilent Technologies Deutschland GmbH SOC Order FulFillment», Германия.Herrenberger Strasse 130 D-71034 Boeblingen
Заявитель
ЗАО «АКТИ-Мастер»; 125438, г. Москва, 4-й Лихачевский пер., 15, стр. 3;
тел./факс (499)154-74-86
Принцип работы стенда измерительного для СБИС Agilent 93000 С200е основан на методах функционального и параметрического контроля.
Для проведения функционального контроля на измеряемую микросхему подается входной набор сигналов, при этом выходной набор сигналов от объекта контроля сравнивается с ожидаемым набором сигналов. Формирование входного набора сигналов производится генератором тестовой последовательности, или алгоритмическим генератором тестов и драйверами каналов в соответствии с заранее определенной программой контроля. Выходной набор сигналов от объекта контроля преобразуется компараторами в цифровой код, и производится его сравнение с ожидаемыми данными, с отображением результатов контроля.
Для проведения параметрического контроля используются источники-измерители и измерительные источники питания, при этом на объект подается заданное значение напряжения (силы тока), и измеряется соответствующее значение силы тока (напряжения).
Методы параметрического и функционального контроля реализуются с помощью программы, создаваемой пользователем для каждого тестируемого объекта. Создание и вызов программы контроля производятся средствами специализированного пакета программного обеспечения, входящего в комплект поставки.
В режиме функционального контроля каждый из измерительных каналов выполняет измерения параметров СБИС в определенной тестовой последовательности. Стандартная частота смены векторов тестовой последовательности 50 МГц может быть повышена в мультиплицированном режиме до 200 МГц путем задания на каждый такт вектора тестовой последовательности до 8 временных меток, формирующих до 4 выходных импульсов драйвера канала, и до 4 временных меток, формирующих 4 стробирующих импульсов компараторов канала. Максимальная длина тестовой последовательности составляет 56 Мбайт векторов в линейном режиме. Во всём диапазоне частот каждый канал может быть сконфигурирован в режимы: формирование тестовой последовательности, контроль ожидаемых состояний, двунаправленный режим. В двунаправленном режиме любой канал может переключаться из режима формирования воздействий в режим контроля, и обратно в любых векторах тестовой последовательности. Для формирования тестовой последовательности в виде импульсов с регулируемыми параметрами на входе объекта контроля предназначен драйвер канала. Параметры тестовой последовательности по амплитуде, положению фронтов и спадов выходных импульсов на оси времени внутри вектора тестовой последовательности задаются независимо по каждому каналу. Амплитуда импульса определяется значениями напряжения двух уровней драйвера: верхним уровнем и нижним уровнем. Положения фронтов и спадов импульса определяется временными метками, общим количеством до 8. Для контроля ожидаемых состояний в виде последовательности импульсов с выхода объекта используются компараторы. Параметры компараторов (верхний и нижний уровни напряжения, время контроля) задаются независимо по каждому каналу.
Временные интервалы контроля уровней напряжения определяются метками, (общим количеством до 4), формирующими стробирующие импульсы компаратора. Для формирования токов положительной и отрицательной полярности на выходах объекта контроля используется активная нагрузка канала. Параметры активной нагрузки по амплитуде силы тока, уровням напряжения переключения полярности тока, и режимы работы задаются независимо по каждому каналу. При работе в динамическом режиме активная нагрузка автоматически отключается при переходе канала в режим формирования тестовой последовательности, и включается в режиме контроля. В статическом режиме активная нагрузка включена постоянно. Динамический режим применяется для каналов, сконфигурированных в двунаправленный режим. Статический режим применяется только для каналов, сконфигурированных в режим контроля.
В режиме параметрических измерений используется источник-измеритель PMU или прецизионный источник-измеритель HPPMU в режиме воспроизведения напряжения и измерения силы тока, или в режиме воспроизведения силы тока и измерения напряжения. Параметры источника-измерителя задаются независимо по каждому каналу.
Для формирования требуемых параметров питания объектов предназначен измерительный источник питания GPDPS (E7002AA).
Стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200е выполнен в виде измерительного головного блока, манипулятора, вспомогательной стойки, установки водяного охлаждения, и управляющей ПЭВМ. На верхнюю панель измерительного блока устанавливается измерительная оснастка с объектом контроля, или переходное устройство сопряжения с зондовой установкой. В конструкции измерительного головного блока отсутствуют элементы подстройки и регулировки на панелях блока. Внешний вид стенда измерительного для СБИС Agilent 93000 С200е представлен на рисунке ниже.
Стойка вспомогательная Манипулятор
Установка водяного охлаждения
Измерительный головной блок
Внешний вид стенда измерительного для СБИС Agilent 93000 С200е
В состав измерительного головного блока входят следующие основные части:
- универсальные 16-ти канальные измерительные платы, общее количество до 12 шт., всего до 192 универсальных измерительных каналов (каждый канал включает: драйвер, два компаратора, активную нагрузку, память векторов, средства управления тестовой последовательностью, источник-измеритель PMU);
- источники питания GPDPS (E7002AA) до 12 шт.
По условиям эксплуатации стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200е соответствует группе 2 ГОСТ 22261-94 с рабочим диапазоном температур от 20 до 30 оС.
|
наименование и обозначение |
кол-во |
|
измерительный головной блок Е6978С зав. № DE397 00195 |
1 шт. |
|
манипулятор E6979A зав. № 913 03 0166 |
1 шт. |
|
установка водяного охлаждения E2760DA зав. № DE40A 15086 |
1 шт. |
|
стойка вспомогательная |
1 шт. |
|
программа управляющая SmarTest |
1 шт. |
|
компьютер HP xw4100 |
1 шт. |
|
стенд измерительный для СБИС Agilent 93000 С200e. руководство по эксплуатации |
1 шт. |
|
методика поверки МП 010/551-2013 |
1 шт. |
|
программа для поверки PR POV 195 |
1 шт. |
|
комплект оснастки для поверки в составе: | |
|
устройство согласования ТСКЯ.418133.209 |
1 шт. |
|
плата коммутационная E7010E |
1 шт. |
|
устройство согласования ТСКЯ.418133096-01 |
1 шт. |
|
диапазон установки длительности векторов (периода) тестовой последовательности (ТП) | |
|
в стандартном режиме в мультиплицированном режиме |
от 20 до 163840 нс от 5 до 40960 нс |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности Т векторов (периода) ТП |
± 140-3rt |
|
максимальная длительность фронта (спада) выходных импульсов | |
|
при амплитуде 1 В |
1,3 нс |
|
при амплитуде 3 В |
1,7 нс |
|
минимальная длительность выходных импульсов | |
|
при амплитуде 1 В |
2,0 нс |
|
при амплитуде 3 В |
2,4 нс |
|
диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов Е1 - Е8, стробирующих импульсов Е9 - Е14 |
от - 4rt до + 12rt |
|
крайние значения временных меток |
- 4 мкс; + 140 мкс |
|
разрешение временных меток |
10 пс |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток Е1 - Е8 |
± 175 пс |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток Е9 - Е14 |
± 350 пс |
|
диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера |
от - 1 до + 6 В |
|
разрешение уровней напряжения драйвера |
2,5 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения уровней напряжения драйвера |
± 15 мВ |
|
выходное сопротивление драйвера |
от 45 до 55 Ом |
|
диапазон установки уровней напряжения компаратора |
от - 1 до + 6 В |
|
разрешение уровней напряжения компаратора |
2,5 мВ |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения уровней напряжения компаратором |
± 15 мВ |
|
диапазон воспроизведения силы тока активной нагрузки |
от - 35 до + 35 мА |
|
разрешение силы тока активной нагрузки |
12,5 мкА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I активной нагрузки |
± (V10-2 •I + 75 мкА) |
|
пределы воспроизведения и измерения напряжения источником-измерителем PMU |
от - 2 до + 7 В |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U PMU |
± (5-10’3-U + 20 мВ + I-R) 1 |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения U PMU |
± (5-10’3-U + 10 мВ + I-R) 1 |
|
пределы воспроизведения и измерения силы тока PMU |
10; 100 мкА; 1; 40 мА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы тока I PMU | |
|
на пределе 10 мкА |
± (5-10-1 + 100 нА) |
|
на пределе 100 мкА |
± (5-10’’-1 + 500 нА) |
|
на пределе 1 мА |
±(510”1 + 5 мкА) |
|
на пределе 40 мА |
: (5-1()”1 • 200 мкА) |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I PMU | |
|
на пределе 10 мкА |
± (5-10-1 +100 нА) |
|
на пределе 100 мкА |
± (5-10” I + 125 нА) |
|
на пределе 1 мА |
± (5-10” I + 1.25 мкА) |
|
на пределе 40 мА |
± (5-10’3-1 + 50 мкА) |
|
пределы воспроизведения и измерения напряжения прецизионным источником-измерителем HPPMU |
от - 5 до + 8 В |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения напряжения U HPPMU |
± (I-R + 2 мВ) 1 |
|
пределы воспроизведения и измерения силы тока I HPPMU |
5; 200 мкА; 5; 200 мА |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения силы тока I | |
|
HPPMU | |
|
на пределе 5 мкА |
± (5-10” I + 10 нА) |
|
на пределе 200 мкА |
±(510”1 + 200 нА) |
|
на пределе 5 мА |
±(5-io’3-i + i6MKA) |
|
на пределе 200 мА |
: (5-1()”1 • 200 мкА) |
|
пределы воспроизведения напряжения измерительным |
от - 7 до + 7 В; |
|
источником питания GPDPS |
от - 8 до + 8 В |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения U GPDPS |
± (r10’3^U + 5 мВ) |
|
максимальная сила тока в нагрузке измерительного источника GPDPS | |
|
при воспроизведении напряжения + 7 В |
+ 7 А |
|
при воспроизведении напряжения + 8 В |
+ 4 А |
|
при воспроизведении напряжения - 7 В |
-4 А |
|
при воспроизведении напряжения - 8 В |
-4 А |
|
пределы измерения силы тока GPDPS |
100 мкА; 10 мА; 0,3; 8 А |
|
пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы тока I GPDPS | |
|
на пределе 100 мкА |
± (1-10’3-I + 100 нА) |
|
на пределе 10 мА |
± (I - Ю”1 + 10 мкА) |
|
на пределе 0,3 А |
± (I-Ю”1 + 300 мкА) |
|
на пределе 8 А |
1 (1 103 I 1 20 мА) |
|
ОБЩИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ | |
|
габаритные размеры (высота х ширина х глубина), мм | |
|
головной блок с манипулятором и вспомогательной стойкой |
1650 х 1530 х 2510 |
|
установка водяного охлаждения |
1150 х 650 х Ю50 |
|
примечание 1: R = 0,5 Ом | |
|
масса, не более | |
|
головной блок с манипулятором и вспомогательной стойкой установка водяного охлаждения |
1430 кг 280 кг |
|
напряжение питания от сети трехфазного переменного тока частотой (50 ± 1) Гц |
от 342 до 418 В |
|
потребляемая мощность от сети 380 В; 50 Гц, не более |
25 кВ^А |
|
температура окружающей среды |
от 20 до 30 °С |
|
относительная влажность при температуре 30 °С, не более |
80 % |
|
электромагнитная совместимость |
по ГОСТ Р 51522-99 |
|
безопасность |
по ГОСТ Р 52319-2005 |