Номер по Госреестру СИ: 52222-12
52222-12 Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем
(ЕТ-868О)
Назначение средства измерений:
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680» (далее - комплекс) предназначен для воспроизведения и измерений напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов и применяется для высокопроизводительного функционального и параметрического контроля микросхем с числом выводов до 512 с рабочей частотой воспроизводимых сигналов функционального контроля до 100 МГц.
Внешний вид.
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем
Рисунок № 1
Внешний вид.
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем
Рисунок № 2
Внешний вид.
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем
Рисунок № 3
Внешний вид.
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем
Рисунок № 4
Внешний вид.
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем
Рисунок № 5
Внешний вид.
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем
Рисунок № 6
Внешний вид.
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем
Рисунок № 7
Внешний вид.
Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем
Рисунок № 8
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «Symphony» является специализированным ПО управления комплексом цифровых интегральных микросхем «ET-868»
ПО «Symphony» предназначено для управления комплексом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений, проводимых комплексом. ПО «Sym-phony» не может быть использовано отдельно от этого комплекса.
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатора ПО |
ПО управления комплексом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений |
«Symphony» |
8.50 |
0CBA37892B30AFD 1FD2894077E07796D 15229587BFE5D1A5 329504F484C08E1E |
ГОСТ Р34.11-94 |
Метрологически значимая часть ПО комплекса и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 32862010.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на лицевую панель тестера ЕТС 868 в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом .
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийКомплекс параметров цифровых интегральных микросхем «ET-868». Руководство по эксплуатации. ТИВН 442241.003 РЭ.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к комплексу параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-868О»ГОСТ 22261-94. Средства измерений электрических и магнитных величин. Общие технические условия.
Комплекс параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680». Руководство по эксплуатации. ТИВН 442241.003 РЭ.
Лист № 11 всего листов 11
Поверка
Поверкаосуществляется по документу «Инструкция. Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680». Методика поверки. ТИВН 442241.003 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИФТРИ».
Основные средства поверки:
-
- частотомер универсальные Ч3-86 (регистрационный номер 27901-11) (диапазон измеряемых частот 0,1 Гц - 100 МГц (канал А и В); (0,1 - 1,0) ГГц (канал С); (1,0 - 18,0) ГГц (канал D); уровень входного сигнала: канал А, В: (0,03 - 7) В, канал С: (0,03 - 0,5) В, канал D: (0,02 - 5) мВт);
-
- цифровой мультиметр 34401А (регистрационный номер 16500-97) (диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В с пределами допускаемой погрешности измерений ± 0,008 %, диапазон измерений силы постоянного тока от 10 нА до 3А с пределами допускаемой погрешности измерений ± 0,12 %);
-
- калибратор-вольтметр универсальный В1-28 (регистрационный номер 10759-86) (диапазон воспроизведения/измерений силы постоянного тока от 0,1 нА до 2 А, пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения силы постоянного тока ± (0,002 -0,053) %, пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы постоянного тока ± (0,0015 - 0,06) %, диапазон воспроизведения напряжения постоянного тока от 0,1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока ± (0,003 - 0,0043) %, диапазон измерений напряжения постоянного тока от 1 мкВ до 1000 В, пределы допускаемой относительной погрешности измерений напряжения постоянного тока ± (0,003 - 0,005) %);
-
- осциллограф цифровой 54642А (регистрационный номер 25619-03) (полоса пропускания от 0 до 500 МГц, развертка по напряжению от 2 мВ/дел до 5 В/дел., 2-х канальный);
-
- генератор сигналов низкочастотный Г3-110 (регистрационный номер 5460-76), диапазон частот 0,01 Гц до 2 МГц, дискретность установки частоты 0,01 Гц, пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты ± 0,0003 %;
-
- генератор сигналов высокочастотный Г4-176 (регистрационный номер 11207-88), диапазон частот от 0,Г10"3 до 1,02 ГГц, пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты ± 1,5М0-3 %;
-
- генератор сигналов произвольной формы 33250A (регистрационный номер 26209-08), предел воспроизведения частоты 80 МГц;
-
- магазин сопротивлений Р4043 (регистрационный номер 3722-73), класс точности 0,1, максимальное значение рабочего напряжения 3000 В, номинальные значения электрического сопротивления от 10 до 1000 МОм.
Изготовитель
Общество с ограниченной ответственностью «ДМТ Трейдинг» (ООО «ДМТ Трейдинг»)
Адрес: 220020, Республика Беларусь, г. Минск, пр. Победителей, д. 89/2, пом. 1, ком. 01. Тел:/факс: 8-10-375-17-209-63-44
E-mail: nnt@dmt-trade.com
Заявитель
Закрытое акционерное общество «ДМТ Электроникс» (ЗАО «ДМТ Электроникс») Адрес: 124460, г. Зеленоград (Москва), пр-т Панфиловский, д.10, комн. 527/1 Тел/факс: (495)228-68-62E-mail: info@dmt-electronics.com
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений Федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт физикотехнических и радиотехнических измерений» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИФТРИ»).Принцип действия комплекса основан на формировании сигналов с логическими уровнями ТТЛ, ЭСЛ и КМОП, устанавливаемых пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ и анализа сигналов, прошедших через испытываемые интегральные микросхемы (ИМС) или устройства, с последующей обработкой сигнала.
Режимы работы комплекса устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Конструктивно комплекс представляет собой набор отдельных приборов. Все приборы комплекса объединены с помощью интерфейса в единый измерительный комплекс под управлением ПЭВМ.
Комплекс объединяет в своем составе:
-
- каналы воспроизведения постоянного тока/напряжения №1 - № 4 (система формирования сигналов с логическими уровнями ТТЛ, ЭСЛ и КМОП) (тестер ЕТС 868, размещенный на технологической тележке);
-
- канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 (калибратор -мультиметр цифровой 2410, регистрационный номер 25789-08);
-
- канал измерений напряжения / силы постоянного / переменного тока и электрического сопротивления и частоты № 1 (мультиметр 34401А, регистрационный номер 16500-97);
-
- каналы аналогового и цифрового анализа входного сигнала № 2 - №19 (2 аналоговых и 16 цифровых каналов) (осциллограф цифровой MSO3052A, регистрационный номер 4169209).
Органы управления и подстыковочные разъемы расположены на передних и задних панелях элементов комплекса соответственно.
Внешний вид составных частей комплекса, места нанесения знака утверждения типа и мест пломбировки от несанкционированного доступа приведены на рисунках 1 - 8.
место для размещения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид передвижной тележки с оборудованием тестера ЕТС 868
места пломбировки от несанкционированного доступа
Рисунок 2 - Вид сзади передвижной стойки с оборудованием тестера ЕТС 868
Рисунок 3 - Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5. Вид спереди
Рисунок 4 - Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5. Вид сзади
Рисунок 5 - Канал измерений №1. Вид спереди
места пломбировки от несанкционированного доступа
Рисунок 6 - Канал измерений №1. Вид сзади
Рисунок 7 - Каналы измерений №2 - №19. Вид спереди
места пломбировки от несанк-циониро-ванного доступа
Рисунок 8 - Каналы измерений №2 - №19. Вид сзади
Комплект поставки включает:
-
- комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ЕТ-8680»
- 1 шт.;
-
- «Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ET-868О». Формуляр» ТИВН 442241.003 ФО - 1 шт.;
-
- «Комплекс измерительный параметров цифровых интегральных микросхем «ET-868О. Руководство по эксплуатации» ТИВН 442241.003 РЭ - 1 шт.;
- одиночный комплект ЗИП ;
-
- методика поверки - 1 шт.
Основные метрологические и технические характеристики комплекса приведены в таблицах 2 - 6.
Комплекс обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала функционального контроля с параметрами в соответствии с таблицей 2.
Таблица 2
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Диапазоны напряжений, В: в диапазоне частот от 1 МГц до 50 МГц низкий уровень (V1L) высокий уровень (V1H) в диапазоне частот от 50 МГц до 100 МГц низкий уровень (V1L) высокий уровень (Vih) |
от минус 2 до 6 от (V1L + 0,1) до 6,5 от 0 до 3 от (Vil + 0,1) до 3,3 |
Дискретность установки напряжений, мВ |
5 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжений (U), мВ: в диапазоне частот от 1 МГц до 50 МГц в диапазоне частот от 50 МГц до 100 МГц |
± (0,01-U + 10) ± (0,05-U + 10) |
Диапазон входных напряжений, В |
от минус 2,0 до 6,5 |
Дискретность установки входных напряжений, мВ |
5 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжений (U), мВ |
± (0,01-U + 10) |
Частота следования импульсов, МГц (с объединением двух каналов) |
от 1 до 100 (до 200) |
Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты, % |
± 0,1 |
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Скорость нарастания фронта импульса, В/нс, не менее: | |
в диапазоне частот от 1 МГц до 50 МГц |
1,45 |
в диапазоне частот от 50 МГц до 100 МГц |
1,40 |
Комплекс обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 3.
Таблица 3
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока измерителем статических параметров, В |
± 8 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжений постоянного тока измерителем статических параметров, мВ: при ограничении тока до 2 мА |
± 15,0 |
при ограничении тока от 2 мА до 20 мА |
± 60,0 |
при ограничении тока от 20 мА до 50 мА |
± 150,0 |
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока измерителем статических параметров, мА |
± 50 |
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока измерителем статических параметров, % |
± 1 |
Комплекс обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения №1, №2, №3, № 4 в соответствии с таблицей 4.
Таблица 4
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, В |
от 0,01 до 6 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, мВ |
± (0,01-U+15) |
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, мА |
от 10 до 2000 |
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 1, % |
± 5 |
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3, В |
± 16 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3, мВ |
± (0,01-U+15) |
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3), мА |
от 10 до 1000 |
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналами воспроизведения постоянного тока/напряжения № 2, № 3, % |
± 10 |
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 4, В |
от 0,01 до 3,7 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 4, мВ |
± (0,01-И+15) |
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения № 4, А |
от 0,1 до 3 |
Пределы допускаемой относительной погрешности воспроизведения (измерения) силы постоянного тока каналом воспроизведения постоянного тока/напряжения №4, % |
± 10 |
Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 (калибратор-мультиметр цифровой 2410) | |
Диапазон воспроизводимого/измеряемого напряжения постоянного тока, В |
от 0,001 до 1000 |
Пределы допускаемой погрешности воспроизведения/измерений напряжения постоянного тока: на пределах 200 мВ, 2 В на пределе 20 В на пределе 200, 1000 В |
± (2Л0ЛИо + 0,6 мВ) ± (2Л0ЛИо + 2,4 мВ) ± (2Л0ЛИо + 24 мВ), где Ио - значение воспроиз-водимого/измеряемого напряжения постоянного тока, В |
Диапазон воспроизводимой/измеряемой силы постоянного тока |
от 1 мкА до 1 А |
Пределы допускаемой погрешности воспроизведения/измерений силы постоянного тока: на пределах 10 мкА, 100 мкА, 1 мА, 10 мА на пределе 100 мА на пределе 1 А |
± (1,2- 10-3-1о + 1 мкА) ± 1,5-10’3-1о ± 3,6- 10-Чо, где 1о - значение воспроизводимой/ измеряемой силы постоянного тока, А |
Комплекс обеспечивает измерение и анализ характеристик сигналов, прошедших через испытываемую ИМС с параметрами в соответствии с таблицей 5.
Таблица 5
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Канал измерений №1 (мультиметр 34401A) | |
Диапазон измерений напряжения постоянного тока |
от 1 мВ до 1000 В |
Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного тока: |
± (5Л0ЛИи + 4 мкВ), где Ии - значение измеряемого напряжения постоянного тока, В |
Диапазон измерений напряжения переменного тока (среднеквадратического значения) |
от 1 мВ до 750 В |
Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения переменного тока: в диапазоне частот от 3 Гц до 10 Гц в диапазоне частот от более 10 Гц до 20 кГц в диапазоне частот от более 20 кГц до 100 кГц |
± (0,001- Ии + 50,0 мкВ) ± (0,0006^ Ии + 50,0 мкВ) ± (0,004^ Ии + 50,0 мкВ) |
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
в диапазоне частот от более 100 кГц до 300 кГц |
± (0,012- Uu + 100,0 мкВ), где Uu - значение измеряемого напряжения переменного тока, В |
Диапазон измерений силы постоянного тока |
от 1 мкА до 3 А |
Пределы допускаемой погрешности измерений силы постоянного тока: в диапазоне до 100 мкА; в диапазоне от 101 мкА до 100 мА; в диапазоне от 100,1 мА до 1 А; в диапазоне от 1,001 А до 3 А |
± 5,0х10-3х1и, ± 1,0х10-3х1и, ± 2,0х10-3х1и, ± 5,0х10-3х1и, где 1и - значение измеряемой силы постоянного тока, А |
Диапазон измерений силы переменного тока (среднеквадратического значения) |
от 100 мкА до 3 А |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений силы переменного тока: в диапазоне частот от 10 Гц до 5 кГц; в диапазоне частот более 5 кГц до 10 кГц |
± (0,001 1и + 50,0 мкА) ± (0,002^ 1и + 100,0 мкА), где 1и - значение измеряемой силы переменного тока, А |
Диапазон измерений электрического сопротивления |
от 100 мОм до 100 МОм |
Пределы допускаемой погрешности измерений электрического сопротивления: в диапазоне до 100,0 Ом; в диапазоне от 100,1 Ом до 1,0 кОм; в диапазоне от 1,001 кОм до 10,0 кОм; в диапазоне от 10,001 кОм до 100,0 кОм; в диапазоне от 100,001 кОм до 1,0 МОм; в диапазоне от 1,001 МОм до 10,0 МОм; в диапазоне от 10,001 МОм до 100 МОм |
± 15 мОм ± 110 мОм ± 1,10 Ом ± 11,0 Ом ± 130 Ом ± 4 кОм ± 800 кОм |
Диапазон измерений частоты |
от 3 Гц до 300 кГц |
Пределы допускаемой погрешности измерений частоты |
±(0,05 Гц + 2- 10-3/F), где F - измеряемое значение частоты, Гц |
Каналы измерений №2 - №3 (осциллограф цифровой MSO3052A) | |
Диапазон измерений частоты |
от 0,1 Гц до 500 МГц |
Пределы допускаемой погрешности измерений частоты |
±(0,1 Гц + 1-10"3-F), где F - измеряемое значение частоты, Г ц |
Диапазон измерений напряжения постоянно-го/переменного тока: при входном сопротивлении 50 Ом при входном сопротивлении 1 МОм при входном сопротивлении 1 МОм с делителем 10:1 |
от 10 мВ до 30 В ср. кв. от 10 мВ до 30 В ср. кв. от 10 мВ до 300 В ср.кв. |
Пределы допускаемой погрешности измерений напряжения постоянного/переменного тока |
± (5,0х10-3хии), где Uu - значение измеряемого напряжения постоянного/переменного тока, В |
Каналы анализа логических уровней №4 - №19 (осциллограф цифровой MSO3052A) | |
Диапазон установки порогового напряжения, В |
± 8 |
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Пределы допускаемой погрешности установки порогового напряжения в диапазоне, мВ: от минус 8 В до минус 2 В |
± 400 |
от более минус 2 В до 2 В |
± 200 |
от более 2 В до 8 В |
± 400 |
Канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 | |
(калибратор-мультиметр цифровой 2410) | |
Диапазон измерений электрического сопротивления |
от 100,0 мОм до 200 МОм |
Пределы допускаемой погрешности измерений электрического сопротивления: на пределе 20 Ом |
± 23,0 мОм |
на пределе 200 Ом |
± 170,0 мОм |
на пределе 2 кОм |
± 1,70 Ом |
на пределе 20 кОм |
± 15,0 Ом |
на пределе 200 кОм |
± 170,0 Ом |
на пределе 2 МОм |
± 2,50 кОм |
на пределе 20 МОм |
± 23,0 кОм |
на пределе 200 МОм |
± 670,0 кОм |
Таблица 6 - Габаритные размеры, масса и эксплуатационные характеристики комплекса
Наименование характеристики |
Значение характеристики |
Габаритные размеры (длина х ширина х высота), мм оборудование, располагаемое на технологической тележке |
700х700х1000 |
отдельно стоящее дополнительное оборудование: - канал воспроизведения/измерений постоянного тока/напряжения №5 |
370х220х90 |
- канал измерений №1 |
374х255х104 |
- каналы измерений №2 - №19 |
142х381х205 |
Масса комплекса, кг |
85 |
Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С |
от 5 до 35 |
Относительная влажность воздуха при температуре 20 °С, % |
до 80 |
Атмосферное давление, кПа |
от 97 до 105 |
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц, В |
220 ± 22 |
Потребляемая мощность, В •А, не более |
4400 |
Средний срок службы, лет |
5 |
Наработка на отказ, ч |
4000 |