Номер по Госреестру СИ: 52161-12
52161-12 Датчики давления пьезорезистивные
(XT-190M)
Назначение средства измерений:
Датчики давления пьезорезистивные ХТ-190М (далее - датчики) предназначены для преобразования статического и быстроизменяющегося давления в газовых и жидких неагрессивных средах в электрический сигнал.
Внешний вид.
Датчики давления пьезорезистивные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Датчики давления пьезорезистивные
Рисунок № 2
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаНаносится на титульные листы руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Датчики давления пьезорезистивные ХТ-190М. Руководство по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к датчикам давления пьезорезистивные XT-190MТехническая документация фирмы Kulite Semiconductor Products, Inc., США
лист 3 всего листов 3
Поверка
Поверкаосуществляется по методике МП 52161-12 «Инструкция. Датчики давления пьезорезистивные ХТ-190М. Методика поверки», утвержденным руководителем ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИФТРИ».
Основные средства поверки:
- манометры и вакуумметры деформационные образцовые с условными шкалами МО ВО (Рег. № 43816-10, верхние пределы измерений 1,6 МПа; 6,0 МПа; кл.т 0,15);
- генераторы импульсного давления (Государственный первичный эталон единицы импульсного давления ГЭТ 131-81).
Изготовитель
Kulite Semiconductor Products, Inc., США Адрес: One Willow Tree Road, Leonia, NJ 07605, USA.Телефон +1 201-461-0900. E-mail: info-kulite@kulite.com .
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений Федерального государственного унитарного предприятия «Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений» (ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИФТРИ»)Юридический адрес: 141570, Московская обл., Солнечногорский р-н, городское поселение Менделеево, Главный лабораторный корпус
Почтовый адрес: 141570, Московская обл., Солнечногорский р-н, п/о Менделеево Телефон: (495) 744-81-12, факс: (495) 744-81-12
E-mail: office@,vniiftri.ru
Принцип действия датчиков основан на преобразовании деформации кремниевой мембраны, воспринимающей измеряемое давление, в изменение электрического сопротивления полупроводниковых тензорезисторов соединённых между собой по схеме полного моста. Конструкция датчика включает чувствительно преобразующий элемент, помещённый в корпусе на переходной колодке, которая герметично разделяет внутренний объём датчика на приёмную и внутреннюю полости. В качестве чувствительно-преобразующего элемента применен кремниевый пьезорезистивный модуль давления, изготовленный на базе интегральных микроэлектронных технологий. Для защиты мембраны модуля от воздействия твердых пылевых частиц на приёмном патрубке датчика установлен перфорированный экран. Электрическое подключение датчика к регистрирующей аппаратуре и источнику питания осуществляется с помощью четырехпроводного кабеля. Корпус датчика изготовлен из нержавеющей стали. На наружной поверхности приёмного патрубка нарезана резьба М5х0,8 и установлено резиновое уплотнительное кольцо.
Датчики на разные диапазоны давления отличаются габаритными размерами.
Внешний вид датчиков приведен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид датчиков
лист 2
всего листов 3
датчиков приведены в таблице 1. Таблица 1
Верхний предел измерений (ВПИ) давления, МПа |
1,7 и 3,5 |
Перегрузочное давление, % от ВПИ, не более |
200 |
Полная шкала, мВ |
100 |
Нелинейность функции преобразования, %, не более |
± 0,5 |
Время нарастания выходного сигнала, мкс, не более |
4 |
Время установления выходного сигнала, мкс, не более |
6 |
Дополнительная температурная погрешность, %/55 °С, не более |
± 1 |
Напряжение питания, В |
10...15 |
Амплитуда синусоидальной вибрации частотой до 2 Гц, м/с2 |
1000 |
Масса, кг, не более |
0,004 |
Габаритные размеры, не более: |
26,1 |
- длина, мм | |
- диаметр, мм |
21,5 |
Присоединительная резьба |
М5х0,8 |