Номер по Госреестру СИ: 49423-12
49423-12 Тестер
(HP83000-F330t)
Назначение средства измерений:
Тестер HP83OOO-F33Ot (далее - тестер) предназначен для воспроизведения и измерения напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов при высокопроизводительном функциональном и параметрическом контроле интегральных микросхем (ИМС) и полупроводниковых кристаллов.

Внешний вид.
Тестер
Рисунок № 1

Внешний вид.
Тестер
Рисунок № 2

Внешний вид.
Тестер
Рисунок № 3
Программное обеспечение
Лист № 3 всего листов 6 Метрологически значимая часть программного обеспечения тестера представляет собой программный продукт в виде управляющей программы пользователя с набором микрокоманд «HPSmarTest».
Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
Наименование программного обеспечения |
Управляющая программа пользователя с набором микрокоманд «HPSmarTest» |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
HPSmarTest |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
5.4.5+5p |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
700225 |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора программного обеспечения |
CRC32 |
Программное обеспечение «HPSmarTest» предназначено только для работы с тестером и не может быть использовано отдельно от измерительно-вычислительной платформы данного тестера.
Влияние метрологически значимой части программного обеспечения на метрологические характеристики тестера не выходит за пределы согласованного допуска.
Метрологически значимая часть программного обеспечения тестера и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно МИ 3286-2010: А.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типаЗнак утверждения типа наносится на лицевую панель тестера в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений«Тестер HP83000-F330t. Руководство по эксплуатации. ГАВЛ.441148.001 РЭ».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к тестеру HP83O00-F330t-
- «Тестер HP83000-F330L Руководство по эксплуатации. ГАВЛ.441148.001 РЭ»;
-
- «Тестер HP83000-F330t. Паспорт. ГАВЛ.441148.001 ПС».
Поверка
ПоверкаОсуществляется по документу «Инструкция. Тестер НР83000-F330t. Методика поверки. ГАВЛ.441148.001 МП», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» 15.06.2011 г.
Основные средства поверки:
-
- вольтметр универсальный В7-46 (регистрационный номер 11204-88), диапазон измерений напряжения постоянного тока от 100 нВ до 1000 В с пределами допускаемой погрешности измерений ± (0,01- 0,03) %, диапазон измерений силы постоянного тока от 100 нА до 10 А с пределами допускаемой погрешности измерений ± (0,1 - 0,15) %;
-
- частотомер электронно-счетный ЧЗ-63 (регистрационный номер 9084-90), диапазон измеряемых частот импульсных сигналов от 1 Гц до 200 МГц с пределами допускаемой погрешности измерений частоты ± 540-7 ± 1 ед.сч.;
-
- осциллограф цифровой TDS-2014B (регистрационный номер 24018-06), диапазон измерений (0 - 100) МГц с пределами допускаемой относительной погрешности измерений 1 %.
Заявитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Научно-производственный комплекс «Технологический центр «МИЭТ» (НПК «Технологический центр»).Адрес: 124498, г. Москва (г. Зеленоград), проезд 4806, д. 5, к.7237
Тел:/факс: +7(499) 734-45-21/ + 7 (495) 913-2192 E-mail: tc@tcen.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ»).Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1,
Тел. (495) 935-97-77, 935-97-66, Тел./Факс: 935-96-90, E-mail: nicpv@mail.ru
Принцип действия тестера основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля (ФК), формируемую тестером.
Тестер обеспечивает формирование входных воздействий на выводы ИМС (ЭСЛ и КМОП микросхем) и полупроводниковые кристаллы по 192 каналам (с возможностью расширения до 512) с рабочей частотой последовательности ФК до 120 МГц (с возможностью увеличения до 330 МГц) в режимах:
-
- импульсном с возвратом к нулю или единице с поканально-независимым заданием момента начала и окончания импульса;
-
- потенциальном с поканально-независимым заданием момента переключения уровней и состояния.
Тестер обеспечивает контроль ожидаемого состояния на выводах ИМС и полупроводниковых кристаллов на каждом канале с поканально-независимым заданием момента контроля. Переключение режима может производиться в каждом такте контроля поканально-независимо.
Тестер представляет собой измерительно-вычислительный комплекс, в состав которого входят основная стойка (размещены каналы источников и измерителей электрических сигналов, источники питания постоянного тока (4 шт.)) с манипулятором и тестовой головой, рабочая станция (ПЭВМ), а также система охлаждения (рис. 1). Конструктивно основная стойка выполнена в виде шкафа с присоединенной тестовой головой (размещаются испытываемые ИМС), перемещаемой манипулятором и управляемой с помощью пульта. Подстыковочные разъемы расположены на панелях основной стойки и тестовой головы. Внешний вид тестера


Рисунок 2 - Общий вид тестера HP83000 F330t с местом для нанесения оттисков клейм или размещения наклеек

Рисунок 3 - Вид спереди с местами* пломбировки от несанкционированного доступа
Комплект поставки включает:
-
- Тестер HP83000 F330t в составе: основная стойка, рабочая станция (ПЭВМ), система охлаждения - 1 комплект;
-
- Комплект эксплуатационной документации («Тестер НР83000-F330t Паспорт.
ГАВЛ.441148.001 ПС»; «Тестер НР83000-F330t. Руководство по эксплуатации.
ГАВЛ.441148.001 РЭ») - 1 комплект;
-
- Методика поверки - 1 шт.
Основные метрологические и технические характеристики тестера приведены в таблицах 1 - 6.
Тестер обеспечивает задание и контроль на каждом выводе сигнала ФК с параметрами
в соответствии с таблицей 2. Таблица 2
Параметр |
Значение |
Диапазоны задаваемых напряжений, В: низкий уровень (V1L) высокий уровень (V1H) |
от минус 2,0 до 6,5 от минус 1,5 до 7,0 |
Дискретность установки напряжений, мВ |
10 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки напряжений, мВ:
|
± 20 ± 30 |
Максимальный выходной ток на один канал, мА |
35 |
Диапазон измеряемых напряжений, В |
от минус 2,0 до 7,0 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжений, мВ |
± 20 |
Частота следования импульсов, МГц |
от 1 до 120 (с возможностью увеличения до 330) |
Пределы допускаемой относительной погрешности установки частоты следования импульсов, % |
± 0,1 |
Длительность фронта импульса, нс, не более |
1,7 (по уровню 10 ... 90 %) |
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного
тока при параметрическом контроле в соответствии с таблицей 3. Таблица 3
Параметр |
Значение |
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока измерителем статических параметров, В |
± 10,0 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжений постоянного тока (UB) измерителем статических параметров, мВ: - в диапазоне ± 10 В |
± (0,005/Ub + 20) |
- в диапазоне ± 2 В |
± (0,005/Ub + 5) |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжений постоянного тока (ии) измерителем статических параметров, мВ: - в диапазоне ± 10 В |
± (0,003-U + 15) |
- в диапазоне ± 2 В |
± (0,003-U + 5) |
Диапазон воспроизведения (измерений) силы постоянного тока измерителем статических параметров, мА |
± 200 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения (измерений) силы постоянного тока (I) измерителем статических параметров, мА: - в диапазоне ± 200 мА |
± (0,005-1 + 1) |
- в диапазоне ± 20 мА |
± (0,005-1 + 0,1) |
- в диапазоне ± 2 мА |
± (0,005-1 + 0,01) |
- в диапазоне ± 0,2 мА |
± (0,005-1 + 0,002) |
- в диапазоне ± 0,02 мА |
± (0,005-1 + 0,0002) |
- в диапазоне ± 0,002 мА |
± (0,005-1 + 0,00003) |
Тестер обеспечивает воспроизведение и измерение напряжения и силы постоянного
тока источниками питания в соответствии с таблицей 4. Таблица 4
Параметр |
Значение |
Диапазон воспроизведения (измерений) напряжения постоянного тока источниками питания, В |
± 12 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения постоянного тока (Ub) источниками питания, мВ |
± (0,001^+5) |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений напряжения постоянного тока (Uu) источниками питания, мВ |
± (0,001 •ии+З) |
Диапазон воспроизведения силы постоянного тока источниками питания, мА |
от 20 до 8000 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока (IB) источниками питания, мА |
± (0,005 -Ib+10) |
Диапазон измерений силы постоянного тока источником питания, мА |
± 8000 |
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений силы постоянного тока (1и) источниками питания, мА:
|
± (0,0015-1и+10) ± (0,0015 -1и+2) ± (0,0015 -Ih+0,1) ± (0,005^+0,005) |
Таблица 5 - Габаритные размеры и масса составных частей тестера
Составные части |
Г абаритные размеры (длина х ширина х высота), мм |
Масса, кг |
Основная стойка |
1600x1000x800 |
570 |
Тестовая голова |
450x710x710 |
290 |
Манипулятор |
1600x420x800 |
510 |
Система охлаждения |
1140x650x1050 |
380 |
Рабочая станция (ПЭВМ) |
138x539x447 |
17,7 |
Таблица 6 - Характеристики напряжения питания тестера
Составные части |
Напряжение питания от сети переменного тока частотой (50 ± 1) Гц |
Потребляемая мощность, кВ •А, не более |
Основная стойка |
380 ± 20 В, 3 фазы + нейтраль + защитная земля |
27 |
Тестовая голова | ||
Манипулятор | ||
Система охлаждения |
380 ± 20 В, 3 фазы + защитная земля |
6 |
Рабочая станция (ПЭВМ) |
220± 10 В |
2 |
Таблица 7 - Условия эксплуатации тестера
Рабочий диапазон температур окружающей среды, °С |
от 15 до 30 |
Относительная влажность воздуха при температуре 30 °С, % |
от 50 до 80 |
Атмосферное давление, кПа |
от 97 до 105 |
Средний срок службы, лет |
10 |
Наработка на отказ, ч |
4000 |