Номер по Госреестру СИ: 48389-11
48389-11 Микроскоп оптический
(AxioImager m2M)
Назначение средства измерений:
Микроскоп оптический AxioImager m2M (далее - прибор) предназначен для измерений линейных размеров функциональных элементов нано- и микроэлектромеханических систем.
Внешний вид.
Микроскоп оптический
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Управление прибором осуществляют с помощью встроенного контроллера и внешней ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО).
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «С» по МИ 3286-2010.
Идентификационные данные программного обеспечения представлены в таблице 1.
Таблица 1.
Наименование ПО |
Идентификационное наименование ПО |
Номер версии ПО |
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
Программа управления процессом измерений и обработки результатов измерений |
Carl Zeiss AxioVision |
4.8.3 |
233D2490AD2CC70501 5D2D1B1D9DЕ5F9BD F89ABF2A7D439F7469 ll;.A63DFAFDCF |
ГОСТ Р 34.11-94 |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится в виде наклейки на основание прибора и титульный лист технической документации фирмы-изготовителя.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Техническое описание «Микроскоп оптический AxioImager m2M производства фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия», раздел 6.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопу оптическому AxioImager m2M
Техническое описание «Микроскоп оптический AxioImager m2M производства фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия».
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 48389-11 «Микроскоп оптический AxioImager m2M фирмы Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Германия. Методика поверки», утвержденному руководителем ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ» в сентябре 2011 г.
Средство поверки: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К.
Заявитель
Федеральное государственное унитарное предприятие «Центральное научноисследовательский институт химии и механики» (ФГУП «ЦНИИХМ»)Адрес: 115487, г. Москва, ул. Нагатинская, д. 16а.
Телефон (495) 611-51-29. Факс (499) 782-23-21. E-mail: mail@cniihm.ru
Испытательный центр
ГЦИ СИ ОАО «НИЦПВ», аттестат аккредитации № 30036-10.
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов 40, корп. 1.
Тел./факс (495) 935-97-77. E-mail: fgupnicpv@mail.ru
Принцип действия прибора основан на явлении преломления световых лучей системой оптических элементов и построения увеличенного изображения системой объектив-окуляр. Объект изучения помещается под объектив, где он освещается с помощью источника искусственного светового потока и системы зеркал (конденсора). Основным элементом оптического микроскопа в данном случае является оптическая система, нижней частью которой является объектив, оснащенный системой оптических линз. Различная кратность микроскопа достигается установкой объективов необходимого увеличения в рабочее положение с помощью, револьверного устройства, верхняя часть которого заканчивается специальной насадкой, позволяющей вести изучение объекта как при помощи глаза, так и с помощью цифровой камеры, подающей изображение на ПЭВМ.
Прибор состоит из основания с встроенными осветителями и кронштейном с предметным столиком, окуляров, револьверного устройства и набора объективов к нему, двух камер с ПЗС-матрицей (верхняя и боковая), источников питания током осветителей и рабочего стола с управляющим компьютером и функциональной клавиатурой.
Рисунок 1. Общий вид микроскопа оптического AxioImager m2M.
В комплект прибора входят: микроскоп оптический AxioImager m2M, комплект ЗИП, ПЭВМ, техническая документация фирмы-изготовителя.
приведены в Таблице 2. Таблица 2.
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон увеличений, крат |
от 50 до 1000 |
Максимальное разрешение, мкм |
0,3 |
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,1 до 200 |
Пределы допускаемой погрешности измерений линейных размеров, мкм: в диапазоне от 1 до 10 |
± 0,1 |
в диапазоне от 10 до 200 |
± 1 |
Размеры исследуемых объектов, мкм |
от 500 до 75000 |
Потребляемая мощность, Вт |
190 |
Условия эксплуатации: о - температура окружающей среды, С |
22 ± 3 |
- атмосферное давление, мм рт. ст. |
от 730 до 800 |
- относительная влажность воздуха, %, не более |
70 |
- напряжение сети питания, В |
220 ± 10 |
- частота сети питания, Гц |
50 ± 1 |