Номер по Госреестру СИ: 48284-11
48284-11 Микроскоп сканирующий зондовый
(НаноСкан-3Di)
Назначение средства измерений:
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-SDi предназначен для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением. Результаты измерений могут быть использованы для определения геометрических параметров в нанометровом диапазоне.
Микроскоп сканирующий зондовый НаноСкан-SDi применяется при проведении фундаментальных и прикладных научных исследований, а также для технологического контроля.
Внешний вид.
Микроскоп сканирующий зондовый
Рисунок № 1
Программное обеспечение
ПО предназначено для обработки данных о перемещениях пьезостолика, полученных с емкостного и интерференционного датчиков и последующего восстановления профилей исследуемых поверхностей. ПО запускается на ПЭВМ. Оно состоит из управляющей программы NSDevCtrl.exe, служебных файлов NSMover.dll, NSDevComm.dll, Motor_vc.dll, index.ini, DeviceSetup.ini, MoverSetup.ini, Signals.ini, Variables.ini и ViewerSetup.ini обеспечивающих управление прибором, хранение настроек и обработку результатов. ПО работает под управлением операционной системы Windows ХР.
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование Программного обеспечения |
Номер версии (идентификационный номер) программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления идентификатор программного обеспечения |
NanoScan Device |
NSDevCtrl.exe |
1.0 |
CC88E236 |
CRC32 |
Идентификация ПО: осуществляется проверкой соответствия серийных номеров аппаратной части программного обеспечения и программного обеспечения, установленного на персональный компьютер, при включении прибора.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений согласно МИ 3286-2010: С.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится и на раму прибора методом наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Методики измерений изложены в документе «Микроскоп сканирующий зондовый На-ноСкан-3Di. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к микроскопамГОСТ 8.296-78. ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz и Ra в диапазоне 0,025.. .3000 мкм
Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измеренийВне сферы государственного регулирования
Поверка
Поверка осуществляется в соответствии с документом МП 48284-11 «Микроскоп сканирующий зондовый HaHoCkaH-3Di. Методика поверки», утвержденной ВНИИМС в сентябре 2011 года и входящей в комплект документации к прибору.Основные средства поверки: рельефные меры TGZ01, (высота ступеньки 18,4 ± 1,0 нм, период 3000,07±0,18 нм), TGZ02 (высота ступеньки 101,1 ± 1,6 нм период 3000,07±0,18 нм).
Изготовитель
ФГУ «Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов», Адрес: 142190 Московская область, город Троицк, улица Центральная, дом 7а, телефон: 8(499)2722314, эл. почта: nano scan@newmail. ruИспытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений (ГЦИ СИ) ФГУП «ВНИИМС», г.МоскваДействие сканирующего зондового микроскопа НаноСкан-SDi основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондом, регистрации параметров взаимодействия зонда с поверхностью и восстановлении по результатам регистрации геометрии поверхности образца и карты распределения физико-механических и электрических свойств, создании микрорельефа на поверхности исследуемого материала.
Сканирующий зондовый микроскоп НаноСкан-SDi представляет собой стационарную автоматизированную измерительную систему и состоит из рамы, измерительной головки, управляющей электроники, набора датчиков-кантилеверов, гетеродинного интерферометра и персонального компьютера. В сканирующем зондовом микроскопе НаноСкан-SDi реализован следующий режим сканирующей зондовой микроскопии: полуконтактная АСМ.
Для защиты от несанкционированного доступа к элементам микроскопа, блок управления и обработки информации пломбируются защитной голограммой и защитной этикеткой соответственно.
Рисунок 1 - Общий вид Микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-SDi
№ п/п |
Наименование комплектующей части поставки |
Количество |
1 |
Микроскоп сканирующий зондовый «НаноСкан-3Di» |
1 |
2 |
Г етеродинный интерферометр |
1 |
3 |
Плата управляющей электроники |
1 |
4 |
Соединительные кабели |
1 |
5 |
Сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами |
2 |
6 |
Программное обеспечение для управления прибором и обработки данных |
1 |
7 |
Руководство по эксплуатации |
1 |
8 |
Набор рельефных мер типа TGZ (01,02) |
1 |
Лист № 3 всего листов 3
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон сканирования |
500х500х50 мкм |
Разрешение при сканировании в плоскости XY |
3 нм |
Разрешение при сканировании по оси Z |
0,2 нм |
Погрешность измерения линейных размеров в плоскости XY (не хуже) |
± 0,1% |
Погрешность измерения линейных размеров по оси Z (не хуже): |
± 0,1% |