Номер по Госреестру СИ: 48115-11
48115-11 Комплекты мер высоты
(СТЕПП-ИФП-1)
Назначение средства измерений:
Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1 (далее - Комплекты) относятся к классу мер нанометрового диапазона и предназначены для хранения и передачи единицы длины в диапазоне измерений (0,31 - 31) нм и поверки (калибровки) атомно-силовых и цифровых интерференционных микроскопов и других средств измерений малой длины.
Внешний вид.
Комплекты мер высоты
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 31.10.2016
Номер записи - 137137
ID в реестре СИ - 359537
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
ТП-9201, СТЕПП-ИФП-1, нет данных,
Производитель
Изготовитель - Учреждение РАН Институт физики полупроводников им.А.В.Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН)
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Новосибирск
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
После предварительного распознавания графических файлов с описаниями типов СО появилась возможность осуществлять полноценный поиск по их содержимому.
Для осуществления поиска необходимо ввести искомое слово или словосочетание (от 5 символов) и нажать кнопку "Поиск в БД".
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 1
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 365 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1450 от 2017.07.04 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений
Наличие аналогов СИ: Комплекты мер высоты (СТЕПП-ИФП-1)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Учреждение РАН Институт физики полупроводников им.А.В.Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН)
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
48115-11 31.10.2016 |
Комплекты мер высоты, СТЕПП-ИФП-1 Учреждение РАН Институт физики полупроводников им.А.В.Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН) (РОССИЯ г.Новосибирск) |
ОТ |
1 год |
Кто поверяет Комплекты мер высоты (СТЕПП-ИФП-1)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП «СНИИМ» (73) | РСТ | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ООО "КРЕЙТ" (РОСС RU.0001.310226) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 |
Стоимость поверки Комплекты мер высоты (СТЕПП-ИФП-1)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на этикетку на футляре, на титульный лист паспорта и руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
ИФП3120РЭ Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Руководство по эксплуатации
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к Комплектам мер высоты СТЕПП-ИФП-1
ИФП СО РАН.01.011ТУ «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Технические условия»; «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Методика поверки».
Поверка
Поверкаосуществляется по документу ИФП3293МП «Комплекты мер высоты СТЕПП-ИФП-1. Методика поверки», утвержденному ФГУП «СНИИМ» в сентябре 2011 г.
Лист № 3 всего листов 3 Эталоны, применяемые при поверке: мера периода и высоты линейная TGZ1 (ГОСРЕЕСТР СИ 41678-09), погрешность измерений ± 0,0005 мкм при доверительной вероятности 0,95; Микроскоп сканирующий зондовый Ntegra Vita (ГОСРЕЕСТР СИ 28664-10).
Изготовитель
Учреждение Российской академии наук Институт физики полупроводников им.А.В.Ржанова Сибирского отделения РАН (ИФП СО РАН)пр. Академика Лаврентьева, д.13, г. Новосибирск, 630090, тел./факс (383) 333-39-50/ 333-27-71, E-mail: IFP@isp.nsc.ru, http://www.isp.nsc.ru
Испытательный центр
Государственный центр испытаний средств измерений СНИИМ (ГЦИ СИ СНИИМ), юридический адрес: 630004, г. Новосибирск, пр. Димитрова, 4;тел.(383) 210-08-14, факс (383) 210-13-60; электронная почта: director@sniim.nsk.ru
Комплект представляет собой пластину кремния с шестью разными по высоте в диапазоне (0,31 - 31) нм выделенными участками (далее - мерами). Меры состоят из определенного числа ориентированных в направлении кристаллографической плоскости (111) моноатомных ступеней кремния одинаковой высоты. Единица длины, воспроизводимая мерой, измеряется между поверхностями свободными от моноатомных ступеней размерами не менее 1x5 мкм2. В зависимости от особенностей микроскопов Комплект может применяться либо наклеенным на стеклянный пьедестал, либо без него.
есто нанесения Знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид комплектов мер высоты СТЕПП-ИФП-1
Таблица 1
|
Количество мер в Комплекте, шт |
6 |
|
Номинальные значения высот мер Комплекта в интервале, нм |
0,31 ± 0,1 1 ± 0,31 3 ± 0,7 5 ± 1 20 ± 1 30 ± 3 |
|
Абсолютная погрешность измерений высоты мер при доверительной вероятности 0,95 , нм, не более, в диапазоне: от 0,31 до 20 нм свыше 20 до 31 нм |
±(0,02+29L), где L в мкм ±0,6 |
|
Параллельность свободных от моноатомных ступеней поверхностей размерами не менее 1x5 мкм2, ограничивающих меру, нм/мкм, не более |
0,02 |
|
Габаритные размеры, мм, не более: | |
|
- Комплекта без пьедестала |
2x10x0,4 |
|
- пьедестала |
10x10x1,5 |
|
- футляра |
75х60х12 |
|
Масса Комплекта без пьедестала, кг, не более |
0,00001 |
|
Масса Комплекта с пьедесталом, кг, не более |
0,001 |
|
Комплекты эксплуатируются в следующих климатических условиях по гр. Д3 ГОСТ Р 52931 со следующими уточнениями: | |
|
- температура окружающего воздуха, °С |
(20 -3) |
|
- верхний предел относительной влажности при 20 °С без образования конденсата, % |
80 |
|
- атмосферное давление, кПа |
(100 £) |
|
- класс чистоты по ГОСТ ИСО 14644-1, не более |
3 ИСО |
|
При эксплуатации Комплектов в вакууме: | |
|
- температура держателя образца, °С |
20 +3 |
|
- значение давления остаточных газов в камере микроскопа, Па |
От 1-10 -8 до 270 |
|
Средний срок службы, лет, не менее |
7 |
|
Средняя наработка на отказ, ч, не менее |
4000 |