Номер по Госреестру СИ: 47747-11
47747-11 Мера длины рельефная
(МДР-3 мкм)
Назначение средства измерений:
Мера длины рельефная МДР-3 мкм предназначена для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
![Внешний вид. Мера длины рельефная, http://oei-analitika.ru рисунок № 1](../kurilka/type_si_html/2011-47747-11_files/2011-47747-11-1.jpg)
Внешний вид.
Мера длины рельефная
Рисунок № 1
![Внешний вид. Мера длины рельефная, http://oei-analitika.ru рисунок № 2](../kurilka/type_si_html/2011-47747-11_files/2011-47747-11-2.jpg)
Внешний вид.
Мера длины рельефная
Рисунок № 2
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения отсутствуют
лист № 3 всего листов 3
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мере длины рельефной МДР-3 мкм
1. Мера длины рельефная МДР-3 мкм. Паспорт.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 47747-11 «Мера длины рельефная МДР-3мкм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Изготовитель
ФГУП «ВНИИМС», НИО 206 119361, Москва, ул. Озерная, 46.Мера представляет собой квадратную пластину, на рабочей поверхности которой сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях растрового электронного микроскопа. Микрорельеф является совокупностью одинаковых между собой шаговых структур с прямоугольной геометрической формой выступающих элементов. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.
![Внешний вид. Мера длины рельефная (МДР-3 мкм), http://oei-analitika.ru](../kurilka/type_si_html/2011-47747-11_files/2011-47747-11-1.jpg)
Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-3 мкм (показана стрелкой).
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомносилового сканирующего микроскопа.
![Внешний вид. Мера длины рельефная (МДР-3 мкм), http://oei-analitika.ru](../kurilka/type_si_html/2011-47747-11_files/2011-47747-11-2.jpg)
Рисунок 2 - Микрорельеф рабочей поверхности меры МДР-3 мкм при разных увеличениях растрового электронного микроскопа.
Наименование |
Значение |
Шаг периодической структуры (по двум координатным осям), мкм |
3,00 |
Пределы допускаемой погрешности шага периодической структуры, мкм |
± 0,02 |
Масса не более, г |
5,0 |
Г абаритные размеры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
Размеры рабочей области, мм |
3,0 х 3,0 |
Срок службы, лет |
5 |
Рабочие условия: температура меры при работе микроскопа 20±3 °С