Сведения о средстве измерений: 47747-11 Мера длины рельефная

Номер по Госреестру СИ: 47747-11
47747-11 Мера длины рельефная
(МДР-3 мкм)

Назначение средства измерений:
Мера длины рельефная МДР-3 мкм предназначена для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.

сертификация программного обеспечения
Внешний вид. Мера длины рельефная, http://oei-analitika.ru рисунок № 1
Внешний вид.
Мера длины рельефная
Рисунок № 1
Внешний вид. Мера длины рельефная, http://oei-analitika.ru рисунок № 2
Внешний вид.
Мера длины рельефная
Рисунок № 2

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 136679
ID в реестре СИ - 359079
Тип производства - единичное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да

Модификации СИ

Производитель

Изготовитель - ФГУП "ВНИИМС"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

Серия графиков, показывающих обобщенную статистику частоты применения эталонов по видам измерений.
Под эталонами понимаются: государственные первичные эталоны; СИ в качестве эталонов и аттестованные эталоны единиц величин.
Всего отчет содержит 8 столбчатых диаграмм.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.

Наличие аналогов СИ: Мера длины рельефная (МДР-3 мкм)

ИМПОРТНОЕ СИ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ
№ в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений ФГУП "ВНИИМС"

№ в реестре
cрок св-ва
Наименование СИ, обозначение, изголовитель ОТ, МП МПИ
34825-07
25.04.2022
Меры толщины покрытий, МП на МО, МП на НТО, НТП на МО, НТП на НТО, ИТП
ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
МП
1 год
44934-10
01.08.2015
Наборы мер толщины стального проката, МТСП-01, МТСП-02, МТСП-03, МТСП-04, МТСП-05, МТСП-06, МТСП-07, МТСП-08, МТСП-09, МТСП-10, МТСП-11, МТСП-12, МТСП-13, МТСП-14, МТСП-15, МТСП-16
ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
47524-11

Меры длины рельефные, МПУ278нм
ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
47747-11

Мера длины рельефная, МДР-3 мкм
ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
47748-11

Мера длины рельефная, МДР-278 нм
ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
1 год
61189-15

Установка эталонная, ВЭТ 175-1
ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва)
ОТ
МП
2 года

Справочник является модернизированной копией реестра "Утверждённые типы средств измерений" (https://fgis.gost.ru/fundmetrology/registry/4) и содержит сведения о типах СИ, применяемых в сфере обеспечения единства измерений.

В отличии от официального Реестра справочник имеет систему предварительных фильтров:
- по типу производства (серийное или единичное);
- по группам стран (отечественные, импортные или все типы СИ);
- по наличию поверок в ФГИС АРШИН;
- по областям измерений.

Данные выводятся одной таблицей без необходимости "проваливаться" в каждую из записей для уточнения сведений. При наличии ОТ и МП приводится ссылка на ФГИС АРШИН. В таблице реализована система поиска и сортировки по любому из полей.

Справочник содержит более 100 тыс. записей и актуализируется не реже 1 раза в месяц.

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Мера длины рельефная (МДР-3 мкм)

Наименование организации Cтатус Поверенные модификации Кол-во поверок Поверок в 2024 году Первичных поверок Периодических поверок Извещений Для юриков Для юриков первичные Для юриков периодические

Стоимость поверки Мера длины рельефная (МДР-3 мкм)

Организация, регион Стоимость, руб Средняя стоимость

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.


Сведения о методиках измерений

Сведения о методиках (методах) измерений

Сведения отсутствуют

лист № 3 всего листов 3 

Нормативные и технические документы

Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мере длины рельефной МДР-3 мкм

1. Мера длины рельефная МДР-3 мкм. Паспорт.

Поверка

Поверка

осуществляется по документу МП 47747-11 «Мера длины рельефная МДР-3мкм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.

Основными средствами поверки являются:

мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения ±1 нм;

микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.


Изготовитель

ФГУП «ВНИИМС», НИО 206 119361, Москва, ул. Озерная, 46.

Мера представляет собой квадратную пластину, на рабочей поверхности которой сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях растрового электронного микроскопа. Микрорельеф является совокупностью одинаковых между собой шаговых структур с прямоугольной геометрической формой выступающих элементов. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.

Внешний вид. Мера длины рельефная (МДР-3 мкм), http://oei-analitika.ru

Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-3 мкм (показана стрелкой).

При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомносилового сканирующего микроскопа.

Внешний вид. Мера длины рельефная (МДР-3 мкм), http://oei-analitika.ru

Рисунок 2 - Микрорельеф рабочей поверхности меры МДР-3 мкм при разных увеличениях растрового электронного микроскопа.


Мера длины рельефная МДР-3 мкм

1 шт.

Футляр

1 шт.

Паспорт

1 экз.

Методика поверки

1 экз.


Наименование

Значение

Шаг периодической структуры (по двум координатным осям), мкм

3,00

Пределы допускаемой погрешности шага периодической структуры, мкм

± 0,02

Масса не более, г

5,0

Г абаритные размеры, мм

5,0х5,0х0,5

Размеры рабочей области, мм

3,0 х 3,0

Срок службы, лет

5

Рабочие условия: температура меры при работе микроскопа 20±3 °С


Настройки внешнего вида
Цветовая схема

Ширина

Левая панель