Номер по Госреестру СИ: 47747-11
47747-11 Мера длины рельефная
(МДР-3 мкм)
Назначение средства измерений:
Мера длины рельефная МДР-3 мкм предназначена для хранения единицы длины для ее передачи микроскопам электронным растровым и другим средствам измерений малой длины, применяемым в сфере нанотехнологий.
Внешний вид.
Мера длины рельефная
Рисунок № 1
Внешний вид.
Мера длины рельефная
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства -
Номер записи - 136679
ID в реестре СИ - 359079
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Производитель
Изготовитель - ФГУП "ВНИИМС"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок -
Выдано извещений -
Кол-во периодических поверок -
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Мера длины рельефная (МДР-3 мкм)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ФГУП "ВНИИМС"
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
34825-07 25.04.2022 |
Меры толщины покрытий, МП на МО, МП на НТО, НТП на МО, НТП на НТО, ИТП ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
1 год |
|
44934-10 01.08.2015 |
Наборы мер толщины стального проката, МТСП-01, МТСП-02, МТСП-03, МТСП-04, МТСП-05, МТСП-06, МТСП-07, МТСП-08, МТСП-09, МТСП-10, МТСП-11, МТСП-12, МТСП-13, МТСП-14, МТСП-15, МТСП-16 ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
47524-11 |
Меры длины рельефные, МПУ278нм ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
47747-11 |
Мера длины рельефная, МДР-3 мкм ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
47748-11 |
Мера длины рельефная, МДР-278 нм ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ |
1 год |
|
61189-15 |
Установка эталонная, ВЭТ 175-1 ФГУП "ВНИИМС" (РОССИЯ г.Москва) |
ОТ МП |
2 года |
Кто поверяет Мера длины рельефная (МДР-3 мкм)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|
Стоимость поверки Мера длины рельефная (МДР-3 мкм)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе паспорта методом печати.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Сведения отсутствуют
лист № 3 всего листов 3
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к мере длины рельефной МДР-3 мкм
1. Мера длины рельефная МДР-3 мкм. Паспорт.
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 47747-11 «Мера длины рельефная МДР-3мкм. Методика поверки», утвержденному ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» в 2011 году.
Основными средствами поверки являются:
мера периода линейная TDG01 (ГР 41676-09) с пределами допускаемого отклонения шага структуры от номинального значения ±1 нм;
микроскоп сканирующий зондовый NTegra PRIMA (ГР 28664-10) с пределом допускаемой абсолютной погрешности сличения геометрических размеров (при номинальных размерах более 10 нм) ±(1+0,001L) нм.
Изготовитель
ФГУП «ВНИИМС», НИО 206 119361, Москва, ул. Озерная, 46.Мера представляет собой квадратную пластину, на рабочей поверхности которой сформирован специфический микрорельеф. Общий вид меры показан на рисунке 1. На рисунке 2 характер микрорельефа на ее рабочей поверхности показан при разных увеличениях растрового электронного микроскопа. Микрорельеф является совокупностью одинаковых между собой шаговых структур с прямоугольной геометрической формой выступающих элементов. На рабочую поверхность меры осуществлено вакуумное напыление золота, что создает поверхностную электропроводность и позволяет использовать меру в качестве полностью готового препарата для растрового электронного микроскопа.
Рисунок 1 - Общий вид меры МДР-3 мкм (показана стрелкой).
При поверке (калибровке) средств измерений с использованием данной меры получают изображение поверхности меры с помощью калибруемого средства измерений. Затем на полученном изображении в поверяемом (калибруемом) средстве измерений величинам шага и высоты выступов придается значение, приведенное в паспорте на использованную меру. Показанные на рисунке 2 результаты измерения шага периодической структуры микрорельефа с помощью растрового электронного микроскопа соответствуют применению меры для калибровки или поверки микроскопов этого типа; собственные метрологические характеристики меры установлены в результате прямых измерений с помощью атомносилового сканирующего микроскопа.
Рисунок 2 - Микрорельеф рабочей поверхности меры МДР-3 мкм при разных увеличениях растрового электронного микроскопа.
|
Наименование |
Значение |
|
Шаг периодической структуры (по двум координатным осям), мкм |
3,00 |
|
Пределы допускаемой погрешности шага периодической структуры, мкм |
± 0,02 |
|
Масса не более, г |
5,0 |
|
Г абаритные размеры, мм |
5,0х5,0х0,5 |
|
Размеры рабочей области, мм |
3,0 х 3,0 |
|
Срок службы, лет |
5 |
Рабочие условия: температура меры при работе микроскопа 20±3 °С