Номер по Госреестру СИ: 44966-10
44966-10 Мера периода рельефная
(S106)
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульном листе руководства по эксплуатации методом печати.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы
Техническая документация фирмы-изготовителя «Agar Scientific, Ltd», Великобритания.
Поверка
Поверка меры проводится в соответствии с документом «Мера периода рельефная S106. Методика поверки», утвержденным ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМС» » августа 2010 года.
Основным средством поверки является:
-
- мера периода линейная TDG01 (ТУ 3932-010-40349675-2009, ГР 41676-09);
-
- микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой NTegra (ТУ 4254-001-586993872009, ГР 28664-10).
Межповерочный интервал -1 год.
Изготовитель
Фирма «Agar Scientific, Ltd», Великобритания, Unit 7, Ml 1 Business Link, Parsonage Lane, Stansted, Essex, CM24 8GF.
Мера представляет собой реплику трехмерной «шахматной» структуры, находящуюся на объектной сетке для просвечивающего электронного микроскопа (ПЭМ) диаметром 3 мм. Аттестуемым параметром структуры является ее период вдоль двух ортогональных направлений, выделенных вертикальным рельефом (углубления, присутствующие на реплике). Структура лежит в плоскости объектной сетки для ПЭМ.
В комплект поставки входит:
Мера SI06 |
1 шт. |
Специальный футляр |
1 шт. |
Руководство по эксплуатации |
1 экз. |
Наименование |
Значение |
Номинальное значение шага периодической структуры меры вдоль двух ортогональных направлений, мкм |
0,463 |
Предел допускаемой абсолютной погрешности шага периодической структуры, мкм |
± 0,020 |
Плотность периодической структуры меры, периодов/мм |
2160 |
Габаритный размер меры (диаметр х толщина), мм |
3x0.1 |
Размер рабочей области меры (диаметр), мм |
2,0 |