СОГЛАСОВАНО Руководитель ГЦИ СИ, Заместитель директора ФГУП «ВНИИОФИ» Н. П. Муравская

•«* аиЧ

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 выпускается по технической документации фирмы “Leica Microsystems Wetzlar GmbH”, Германия (зав. № 05-0405-003).

НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 предназначен для автоматизированного контроля толщин технологических слоев в процессе производства, а также оптических параметров слоев, зависящих от толщины, таких, как коэффициенты отражения, поглощения, преломления.

Мощные возможности обработки и вычисления измеренных данных позволяют использовать эллипсометр спектральный модели APECS 3000 как в производстве на межоперационном контроле, так и для научно-исследовательских работ.

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 может применяться в полупроводниковом производстве, производстве головок магнитных дисков, интегральной оптики для проведения измерений параметров тонких пленок.

Эллипсометр спектральный модели APECS 3000 состоит из двух основных блоков: измерительного блока и транспортной системы. Измерительный блок включает в себя все оптические компоненты, такие как спектральный эллипсометр, систему автофокуса, систему видеофокуса и выравнивающую систему. Также он включает в себя рабочий столик, систему предварительной центровки пластин, пульт управления питанием, пульт управления оператора и шасси для всей электроники. Транспортная система состоит из двух лифтов для пластин и фильтр блока вентиляторов. В этой части эллипсометра спектрального модели APECS 3000 находятся места подключения к инженерным средам (питание, сжатый воздух, вакуум) и блок основного выключателя.

Оптическая система эллипсометра спектрального модели APECS 3000 состоит из двух основных частей: блока поляризатора (передающее устройство) и блока анализатора (принимающее устройство).

Блок поляризатора состоит из автоматизированного блока ламп, желтого светофильтра со шторкой, нейтрального светофильтра, диафрагмы, детектора интенсивности, поляризатора, фокусирующей оптики. Основная функция блока поляризатора состоит в генерации светового пучка с длиной волны в диапазоне от 320 нм до 800 нм с определенной поляризацией и интенсивностью. Пучок направлен на образец и сфокусирован в области 50 х 50 мкм. Источник света выполнен в виде автоматизированного блока смены ламп, содержащего 6 ксеноновых ламп с суммарным временем жизни около одного года. Новые лампы автоматически юстируются для правильной фокусировки. Перегоревшие лампы могут быть удалены в любое удобное время.

Блок анализатора предназначен для приема отраженного излучения и обработки его эллипсометрических характеристик. Блок анализатора включает оптические компоненты, фазовую пластинку, вращающийся анализатор, спектрометр, приемник излучения.

Эллипсометр спектрометрический модели APECS 3000         1 шт.