Профилометр оптический «WYKO NT 1100» относится к классу бесконтактных оптических приборов, принцип действия которых основан на интерференции света.

Оптический профилометр состоит из блока осветителя, смонтированного внутри корпуса прибора, набора различных диафрагм и фильтров, делителя светового пучка, линзы поля зрения (являются сменными), турели с закрепленными на ней интерференционными объективами (различных типов), цифровой камеры, автоматического предметного столика с механической регулировкой угла наклона и дисплея.

Измерения осуществляются по двум различным методикам: фазосдвигающей интерферометрии (Phase-Shifting Interferometry, PSI) и вертикальной сканирующей интерферометрии (Vertical Scanning Interferometry, VSI).

Для проведения измерений методом фазосдвигающей интерферометрии (PSI) используется монохроматический свет. В каждой точке матрицы вычисляется разность фаз между лучами. Для этого разность хода специально меняют малыми шагами по 1/4 длины волны используемого света (1/4). Ограничения этого метода заключаются в том, что перепад высот между соседними точками на поверхности не должен превышать 1/4. Для красного света (1=630 нм) высота ступенек не должна превышать 160 нм.

Метод вертикальной сканирующей интерферометрии (VSI) основан на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении образца по вертикали. Метод позволяет измерять поверхности с большими значениями параметров шероховатости, а также различные дефекты глубиной до двух миллиметров. Положение реперного зеркала в объективах подобрано таким образом, чтобы оптическая разность хода была равна нулю. При этом условии в интерференционной картине возникают максимумы для всех длин волн, и наблюдается абсолютный максимум интенсивности, регистрируемый видеокамерой. Таким образом, если в некоторой точке образца наблюдается абсолютный максимум, она находится в фокусе. При вертикальном сканировании все точки поверхности поочередно проходят через фокус. По последовательности полученных интерференционных картин видеокамера определяет изменения интенсивности света в каждой точке в зависимости от расстояния. Программа вычисляет положение максимума интенсивности для каждой точки матрицы, после чего восстанавливается форма поверхности, основанная на регистрации интерференционных картин в белом свете при перемещении образца по вертикали.

Прибор снабжен двумя типами интерференционных объективов: объективами Михельсона с увеличением х2,5, х5, хЮ и зеркальными объективами с увеличением х20, х50. Линзы поля зрения (линзы FOV) имеют увеличения кратные х0,5, х0,75, xl, х1,5 и х2. Требуемое увеличение достигается использованием различных комбинаций объектив - линза FOV.

Прибор снабжен цифровой ПЗС-камерой и предметным столиком с программируемым перемещением в горизонтальной плоскости и изменяемым углом наклона.

Управление цифровой камерой и предметным столиком осуществляется с помощью программного обеспечения фирмы Veeco «Wyko Vision 32». Имеющееся программное обеспечение («Wyko Vision 32») позволяет использовать обе методики при одном измерении, строить трехмерные изображения рельефа поверхности, линейные профили поверхности в заданном направлении и гистограммы распределения пиков по высоте, а также позволяет рассчитывать параметры шероховатости различных материалов.

В комплект поставки входит:

• 1. Профилометр «WYKO NT1100»;

• 2. Настроечные меры (зеркало из карбида кремния (SiC) и калибровочный ступенчатый образец);

• 3. Запасные части и принадлежности;

• 4. Руководство по эксплуатации;

• 5. Методика поверки.

Таблица 1

Рабочие условия применения:

-температура окружающей среды, °C

• - изменение температуры окружающей среды в процессе работы не более, °C

• - относительная влажность, не более, %

• - частота возмущающих вибраций не более 10 Гц при амплитуде колебаний не более 1 мкм

Метрологические характеристики прибора

Таблица 2