Номер по Госреестру СИ: 41723-09
41723-09 Анализатор ионов фтора
(FBM-100)
Назначение средства измерений:
Анализатор ионов фтора FBM-100 (далее - прибор) предназначен для измерений массовой концентрации ионов фтора водных растворов.
Область применения: в технологической линии производства интегральных схем в электронной промышленности.

Внешний вид.
Анализатор ионов фтора
Рисунок № 1
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа средства измерений наносится на титульный лист руководства по эксплуатации FBM.100-001РЭ типографским способом и на переднюю панель измерительного преобразователя с помощью самоклеющейся плёнки.
Сведения о методиках измерений
Нормативные и технические документы

Внесен в Государственный реестр
средств измерений
Регистрационный №
Взамен №
Изготовлен по технической документации фирмы DKK-TOA Corporation, Япония. Заводской номер 575621.
НАЗНАЧЕНИЕ И ОБЛАСТЬ ПРИМЕНЕНИЯ
Анализатор ионов фтора FBM-100 (далее - прибор) предназначен для измерений массовой концентрации ионов фтора водных растворов.
Область применения: в технологической линии производства интегральных схем в электронной промышленности.
Принцип действия прибора основан на потенциометрическом методе измерений массовой концентрации ионов фтора.
Прибор состоит из измерительного преобразователя (ИП) и электрода ионоселективного комбинированного (электрод). На лицевой панели ИП размещены: жидкокристаллический (ЖК) графический дисплей, восемь кнопок для управления работой в соответствии с указаниями меню программы встроенного микропроцессорного устройства, два индикатора для фиксации нижней (LO) и верхней (HI) контрольной точки измерений. Измеренные значения концентрации ионов фтора (mg/1), электродный потенциал (mV), температура анализируемого раствора (°C) выводятся на трёхразрядный ЖК дисплей*. Элементы схемы блока смонтированы на съёмных печатных платах. Предохранитель цепи питания установлен внутри ИП.
Питание прибора осуществляется от сети переменного тока.
* Электродный потенциал и температура раствора — в режиме индикации.
Диапазоны измерений массовой концентрации ионов фтора |
от 0,2 до 20 мг/л от 0,5 до 50 мг/л от 1 до 100 мг/л от 3 до 300 мг/л от 5 до 500 мг/л от 10 до 1000 мг/л |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой концентрации ионов фтора |
± 10% |
Выходной сигнал постоянного тока Питание от сети переменного тока технологической линии |
от 4 до 20 мА |
|
(110 ±7,5) В от 50 до 60 Гц |
Габаритные размеры ИП (длинахширинахвысота), не более Масса ИП, не более |
(100x100x160) мм 1 кг |
Рабочие условия эксплуатации:
|
от 5 до 50 °C 95 % от 66 до 106,7 кПа |
Условия контролируемой среды:
|
от 0 до 40 °C от 4 до 9. |