Номер по Госреестру СИ: 41675-09
41675-09 Микроскопы сканирующие зондовые
(НаноСкан-3Д)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3 Д (далее - микроскопы) предназначены для измерений геометрических параметров топографии поверхности с нанометровым пространственным разрешением, измерений силы воздействия зонда на поверхность исследуемого образца в отдельных точках, а также для измерений геометрических характеристик отпечатков в заданных точках поверхности после индентирования с измеренной силой.
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие зондовые
Рисунок № 1
Общие сведения
Дата публикации -
Срок свидетельства - 01.11.2024
Номер записи -
ID в реестре СИ - 352044
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 2 года
Наличие периодической поверки - Да
Модификации СИ
Сканирующий зондовый микроскоп НаноСкан-3Д, НаноСкан-3Д, -,
Производитель
Изготовитель - ФГБНУ "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов" (ТИСНУМ)
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва, г.Троицк
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Каталог СИ, используемый в сервисе ОЕИ-Аналитика имеет трехуровневую структуру вида: области измерений (более 20), разделы областей измерений (более 250) и группы СИ (более 10 тыс.). При разработке каталога были использованы как существующие кодификаторы: МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022, так и собственные наработки. Перед применением каталог был адаптирован и обогащен данными из реального реестра, утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН.
Стоит отметить, что отнесение того или иного типа СИ к разделу области измерений осуществляется не вручную, а с использованием специального программного алгоритма по ключевым словосочетаниям. При таком подходе качество распределения СИ и покрытие реестра типов СИ АРШИНА зависит от качества, предложенных словосочетаний, а оно в случае использования МИ 2803-2014, МИ 2314-2006, МИ 2314-2022 плохое. Практика показала, что существующие наименования типов СИ, представленные в ФГИС АРШИН не придерживаются рекомендаций МИ и хорошая сходимость наблюдается исключительно при ручном формировании массива словосочетаний (например раздел СЧЕТЧИКИ ВОДЫ ТУРБИННЫЕ и электросчетчики).
Отчет "Каталог типов СИ ФГИС АРШИН по разделам областей измерений" сортирует типы СИ в зависимости от выбранного раздела области измерений и представляет их списком в виде удобной для дальнейшей работы таблицы. Таблица обладает функциями поиска и сортировки по любой из колонок.
Таблица содержит минимум 8 колонок:
По каждому типу СИ приведены: номер в гос. реестре с ссылкой, наименование типа СИ, наименование фирмы-производителя, ссылка на описание типа и методику поверки (если они имеются), величина интервала между поверками, а также, количество поверок по годам (начиная с 2020).
Статистика
Кол-во поверок - 10
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 2
Кол-во средств измерений - 0
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 730 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1927 от 2014.12.04 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений (ГР 41675-09 - 18649-09)
№2620 от 2019.11.01 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений
№1343 от 2014.09.14 О переоформлении свидетельства об утверждении типа средств измерений № 36630 «Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д»
№5 от 2024.01.10 ПРИКАЗ_О внесении изменений в сведения об утвержденных типах средств измерений в части продления срока действия СИ (15)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие зондовые (НаноСкан-3Д)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений ФГБНУ "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов" (ТИСНУМ)
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
41675-09 01.11.2024 |
Микроскопы сканирующие зондовые, НаноСкан-3Д ФГБНУ "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов" (ТИСНУМ) (РОССИЯ г.Москва, г.Троицк) |
ОТ |
2 года |
|
65496-16 27.10.2021 |
Нанотвердомеры, НаноСкан-4D ФГБНУ "Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов" (ТИСНУМ) (РОССИЯ г.Москва, г.Троицк) |
ОТ МП |
1 год |
Кто поверяет Микроскопы сканирующие зондовые (НаноСкан-3Д)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГУП "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | 0 | 1 | |||
| ФГУП «ВНИИМС» (RA.RU.311493) | РСТ | 1 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | ||
| ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493) | РСТ | 6 | 1 | 5 | 1 | 0 | 5 | 4 | 1 |
Стоимость поверки Микроскопы сканирующие зондовые (НаноСкан-3Д)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Программное обеспечение микроскопов встроено в защищённую от записи память микроконтроллера, что исключает возможность его несанкционированных настройки и вмешательства, приводящего к искажению результатов измерений. Идентификационные данные программного обеспечения микроскопов представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения микроскопов
сканирующих зондовых НаноСкан-3Д
|
Наименование программного обеспечения |
Идентификацио нное наименование программного обеспечения |
№ верс ии ПО |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма) |
Алгоритм вычисления идентификатор а ПО |
|
ПО для СЗМ «НаноСкан-3D» |
NanoScan Device Control NanoScan Viewer |
v.35 v.18 |
A811250792ACD83A10C C288D9029D89F 436FE6C2384EB79C1038 557AD4402A69 |
MD5 |
Защита программного обеспечения от непреднамеренных и преднамеренных изменений по МИ 3286-2010 соответствует уровню «С».
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится в виде наклейки на лицевую панель в соответствии с рисунком 1, а также типографским методом на титульный лист Руководства по эксплуатации.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийМикроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д. Руководство пользователя.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к микроскопам сканирующим зондовым НаноСкан-3Д
Технические условия ТУ 1706-015-48786949-08.
Поверка
Поверкапроводится в соответствии с документом МП 41675-09 «Микроскопы сканирующие зондовые НаноСкан-3Д. Методика поверки», утвержденным ФГУП «ВНИИМС» в июне 2009 г.
Основные средства поверки:
-
- мера периода линейная TDG01, воспроизводит длину (278 ± 1) нм;
-
- мера периода и высоты линейная TGZ1, воспроизводит длину (3 ± 0,01) мкм и высоту (20 ± 2) нм;
-
- мера периода и высоты линейная TGZ2, воспроизводит длину (3 ± 0,01) мкм и высоту (110 ± 10) нм.
Изготовитель
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов» (ФГБНУ ТИСНУМ).Адрес: 142190, г. Москва, г. Троицк, ул. Центральная, д. 7а.
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологической службы» (ФГУП «ВНИИМС») Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д.46
Тел./факс: (495)437-55-77 / 437-56-66;
E-mail: office@vniims.ru, www.vniims.ru
Действие сканирующих зондовых микроскопов НаноСкан-3Д основано на принципе сканирования исследуемой поверхности зондом. При этом осуществляется регистрация параметров взаимодействия зонда с поверхностью. Это позволяет получить математическое описание геометрии поверхности образца и карты распределения физико-механических и электрических свойств. Микроскоп может работать в режиме нанотвердомера, создавая искусственный микрорельеф на поверхности исследуемого материала путем воздействия алмазного индентора на поверхность, а также динамического (высокочастотного) воздействия зонда на поверхность. Особенности искусственного микрорельефа, возникающего под действием нормированных сил, позволяют определить ряд механических свойств образца, включая микротвердость.
Сканирующие зондовые микроскопы НаноСкан-3Д представляют собой стационарную автоматизированную измерительную систему и состоят из рамы, измерительной головки, управляющей электроники, набора датчиков-кантилеверов, персонального компьютера. Внешний вид микроскопа представлен на рисунке 1.
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопа сканирующего зондового НаноСкан-3Д. Стрелкой показано место нанесения знака утверждения типа.
В сканирующих зондовых микроскопах НаноСкан-3Д реализованы следующие режимы сканирующей зондовой микроскопии и измерений механических свойств материалов:
- полуконтактная АСМ;
- метод силовой спектроскопии;
- метод инструментального наноиндентирования.;
- индентирование /склерометрия (измерения механических свойств путем анализа топографии остаточных отпечатков и царапин).
В комплект поставки входят: микроскоп плата управляющей электроники соединительный кабель сменные пьезокерамические зонды с алмазными иглами программное обеспечение на CD диске набор рельефных мер типа TDG01, TGZ1, TGZ2 руководство по эксплуатации методика поверки
|
- 1 |
шт.; |
|
- 1 |
шт.; |
|
- 1 |
шт.; |
|
- 2 |
шт.; |
|
- 1 |
шт.; |
|
- 1 |
компл |
|
- 1 |
шт.; |
|
- 1 |
экз. |
Основные метрологические и технические характеристики микроскопов приведены в таблицах 2 - 3.
|
Таблица 6 - Измерение элект |
рического сопротивления | |
|
Измеряемый параметр |
Диапазон измерений, не менее |
Пределы основной допускаемой погрешности измерений |
|
Измерения геометрической длины по осям X и Y |
От 0,02 до 90 мкм |
± (0,01 L + 5 нм) |
|
Измерения геометрической длины по оси Z |
От 0,004 до 9 мкм |
± (0,01 L + 4 нм) |
|
Воспроизведение силы прикладываемой нагрузки |
От 0 до 150 мН |
± (0,01 F + 30 мкН) |
|
L - измеряемое значение длины, F - воспроизводимое значение силы | ||
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Размеры образца, мм |
100х100; h=80 |
|
Максимальная масса образца, кг |
2 |
|
Масса основного блока, кг (не более) |
60 |
|
Напряжение питания, В |
От 180 до 240 |