Сведения о средстве измерений: 33598-06 Меры ширины и периода специальные

Номер по Госреестру СИ: 33598-06
33598-06 Меры ширины и периода специальные
(МШПС-2.0К)

Назначение средства измерений:
Меры ширины и периода специальные МШПС-2.0К (далее - меры) предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне от 10-9 до 10-4 м и применяются при поверке (калибровке) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Внешний вид. Меры ширины и периода специальные, http://oei-analitika.ru рисунок № 1

Внешний вид.
Меры ширины и периода специальные
Рисунок № 1

Внешний вид. Меры ширины и периода специальные, http://oei-analitika.ru рисунок № 2

Внешний вид.
Меры ширины и периода специальные
Рисунок № 2

Внешний вид. Меры ширины и периода специальные, http://oei-analitika.ru рисунок № 3

Внешний вид.
Меры ширины и периода специальные
Рисунок № 3

Общие сведения

Дата публикации - 08.05.2018
Срок свидетельства - 24.01.2017
Номер записи - 119861
ID в реестре СИ - 342261
Тип производства - серийное
Описание типа

Поверка

Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да

Модификации СИ

нет данных , МШПС-2.0К, Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К, мера МШПС-2.0К,

Производитель

Изготовитель - ОАО "НИЦПВ"
Страна - РОССИЯ
Населенный пункт - г.Москва
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да

ET_4 Государственные первичные эталоны РФ

Отчет "Государственные первичные эталоны" построен по данным Реестра "ГОСУДАРСТВЕННЫЕ ПЕРВИЧНЫЕ ЭТАЛОНЫ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ" ФГИС АРШИН. Отчет содержит 4 интерактивных графика и таблицу. Графики имею возможность масштабирования и экспорта данных.

Первый график визуализирует информацию о количестве ГПЭ и их разделении на первичные и специальные первичные эталоны.

График "У какого института сколько первичных эталонов" имеет 2 уровня вложенности и демонстрирует распределение эталонов по государственным метрологическим институтам и видам измерений.

"Использование ГПЭ институтов в качестве средства поверки" дает количественную оценку частоты использования эталонов метрологических институтов в качестве средств поверки.

График "Востребованность ГПЭ в разрезе видов измерений" демонстрирует востребованность ГПЭ по видам измерений. График имеет 2 уровня вложенности. На первом уровне приведена частота использования ГПЭ по видам измерений, а на втором - доля эталонов каждого из метрологических институтов по этому виду измерений.

В конце отчета приводится сводная таблица с данными для возможности самостоятельной обработки информации. В таблице имеются следующие поля:

Наименование организации-держателя эталона
Количество эталонов
Количество видов измерений
Количество ГПЭ
Кол-во ГПСЭ
Востребованность первичных эталонов организации-держателя эталона выраженная в штуках, процентах (по сравнению с другими метрологическими институтами) и средняя востребованность одного эталона организации
Перечень видов измерений эталонов, принадлежащих метрологическому институту

Стоимость 200 руб. или по подписке

Статистика

Кол-во поверок - 72
Выдано извещений - 1
Кол-во периодических поверок - 36
Кол-во средств измерений - 22
Кол-во владельцев - 14
Усредненный год выпуска СИ - 2012
МПИ по поверкам - 364 дн.

Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ

№46 от 2012.01.23 О продлении срока действия свидетельств об утверждении типа средств измерений (Регистрационный номер в Гос реестре СИ 33598-06,15016-06,15200-06,29086-05)

№678 от 2023.03.29 О закреплении документов национальной системы стандартизации за техническим комитетом по стандартизации "Композиты, конструкции и изделия из них" (ТК 497)

Наличие аналогов СИ: Меры ширины и периода специальные (МШПС-2.0К)

ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель	ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель

Все средства измерений ОАО "НИЦПВ"

№ в реестре cрок св-ва	Наименование СИ, обозначение, изголовитель	ОТ, МП	МПИ
33598-06 24.01.2017	Меры ширины и периода специальные, МШПС-2.0К ОАО "НИЦПВ" (РОССИЯ г.Москва)	ОТ	1 год
42622-09	Система лазерная измерительная, ЛИС-01М ОАО "НИЦПВ" (РОССИЯ г.Москва)	ОТ	3 года
43157-09	Измеритель перемещений лазерный, ЛИП-01М ОАО "НИЦПВ" (РОССИЯ г.Москва)	ОТ	3 года

SO_6 Поверки с применением ГСО по типам и годам

Стоимость 200 руб. или по подписке

Кто поверяет Меры ширины и периода специальные (МШПС-2.0К)

Наименование организации	Cтатус	Поверенные модификации	Кол-во поверок	Поверок в 2024 году	Первичных поверок	Периодических поверок	Извещений	Для юриков	Для юриков первичные	Для юриков периодические
ФГУП "ВНИИМС" (01.00225-2011)	РСТ	МШПС-2.0К	3		0	3	0	1	0	1
ФГУП "ВНИИМС" (RA.RU.311493)	РСТ		1		0	0	0	0	0	0
АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409)		Мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К	45	2	2	30	1	27	2	25
ФГУП «СНИИМ» (73)	РСТ	нет данных МШПС-2.0К	6		0	0	0	0	0	0
АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409)		мера МШПС-2.0К	1		0	0	0	0	0	0
ФГУП «ВНИИМС» (RA.RU.311493)	РСТ	МШПС-2.0К	1		0	0	0	0	0	0
ОАО "НИЦПВ". (01.00317-2011)		нет данных МШПС-2.0К	12		0	0	0	0	0	0
ФГБУ "ВНИИМС" (RA.RU.311493)	РСТ	МШПС-2.0К	3		0	3	0	3	0	3

Стоимость поверки Меры ширины и периода специальные (МШПС-2.0К)

Организация, регион	Стоимость, руб	Средняя стоимость

Знак утверждения типа

Знак утверждения типа наносится на титульный лист паспорта типографским способом.

Сведения о методиках измерений

Сведения о методиках (методах) измерений

Сведения отсутствуют.

Нормативные и технические документы

Нормативные документы, устанавливающие требования к мерам ширины и периода специальным МШПС-2.0К

ГОСТ Р 8.592-2009 ГСИ. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления.

МИ 2060-90 Государственная система обеспечения единства измерений. Государственная поверочная схема для средств измерений длины в диапазоне 0,00001 - 50 м и длин волн в диапазоне 0,2 - 50 мкм.

Рекомендации по областям применения в сфере государственного регулирования обеспечения единства измерений

Применяются для передачи размера единицы длины при поверке оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины.

Поверка

Поверка осуществляется в соответствии с разделом 8 руководства по эксплуатации, утвержденным руководителем ГЦИ СИ ФГУ «Ростест-Москва» в августе 2006 г.

Средства поверки: микроскоп сканирующий зондовый атомно-силовой Solver Pro, система лазерная измерительная ЛИС-01М.

Изготовитель

Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума»
Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д.40, кор. 1.
Телефон/факс: (495) 935-97-77. Е-mail: fgupnicpv@mail.ru.

Испытательный центр

ГЦИ СИ ФГУ «Ростест-Москва», аттестат аккредитации № 30010-10.
Адрес: 117418 г. Москва, Нахимовский проспект, 31.
Тел.: (495) 544 00 00. Факс: (499) 124-99-96. E-mail: fgupnicpv@mail.ru

Меры представляют собой совокупность пяти групп рельефных шаговых структур на поверхности квадратной кремниевой монокристаллической пластины со стороной не более 10 мм, поверхность которой ориентирована параллельно кристаллографической плоскости (100). Мера состоит из пяти одинаковых групп шаговых структур по три структуры в каждой группе, имеет маркерные линии и цифры, позволяющие однозначно находить измеряемый элемент рельефа. Геометрическая форма элемента рельефа шаговой структуры - трапеция с заданным углом наклона боковых сторон относительно плоскости нижнего основания, равным 54,7°.

Схематические изображения мер представлены на рисунках 1-3.

Внешний вид. Меры ширины и периода специальные (МШПС-2.0К), http://oei-analitika.ru

Рис. 1. Схема расположения групп шаговых структур мер.

1 - группы шаговых структур, 2 - направляющие линии. Размеры указаны в микрометрах

Рис. 2. Группа шаговых структур мер и их обозначения. Размеры указаны в микрометрах.

Рис. 3. Сечение выступа шаговой структуры меры с обозначением параметров.

В комплект поставки входят: мера ширины и периода специальная МШПС-2.0К, футляр, паспорт.

меры приведены в Таблице. Таблица.

Наименование	Значение
Номинальное значение шага шаговой структуры, мкм	2,00
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, мкм, не более	± 0,05
Диапазон значений ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах (Ь_и), нм	10 - 500

Наименование	Значение
Диапазон значений высоты выступов в шаговых структурах (h), нм	100 - 1400
Диапазон значений проекции боковой стенки выступа шаговой структуры на плоскость нижнего основания выступов шаговой структуры (а), нм	75 - 980
Неравномерность ширины верхнего основания выступов в шаговых структурах (д) в пределах ширины линии ориентирования, нм, не более	5
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размеров b_u, h, д, нм	± 2
Пределы допускаемой абсолютной погрешности определения размера а, нм	± 1
Условия эксплуатации: а) при работе на воздухе - температура окружающего воздуха, °С	20 ± 3
- относительная влажность, %	65 ± 15
- атмосферное давление, Па	(100 ± 4>10³
б) при работе в вакуумных условиях - диапазон значений остаточного давления в камере образцов микроскопа, Па	140^-4 - 270
- температура держателя образца, ^оС	20 ± 3
Масса, кг, не более	0,009
Габаритные размеры (ширина х глубина х высота), мм, не более	10х10х0,5

Техническая поддержка