Газоанализаторы THERMOX модели CG1000 (далее - газоанализаторы) представляют собой переносные одноканальные автоматические измерительные приборы непрерывного действия.

Газоанализаторы выпускаются в двух исполнениях: CG1000 (базовое) и CG1000-RTP (для применения в процессах Rapid Thermal Processing (RTP) в производстве полупроводниковых чипов и микросхем). Газоанализатор исполнения CG1000-RTP имеет встроенную систему пробоот-бора, разработанную с учетом требований процессов RTP.

В основу принципа действия газоанализаторов положен электрохимический метод с использованием циркониевого чувствительного элемента.

Газоанализатор имеет в своем составе микропроцессор, который управляет всеми режимами работы и преобразует выходной сигнал чувствительного элемента в показания в единицах измерений.

Результаты измерений, а также сообщения о параметрах функционирования внутренних блоков газоанализатора (расход анализируемой газовой смеси, температура в измерительной ячейке, ЭДС термопары или напряжение на чувствительном элементе), о наличии неисправностей и о срабатывании пороговых устройств отображаются на многофункциональном жидкокристаллическом дисплее.

На лицевой панели расположена клавиатура для управления работой прибора.

Способ отбора пробы - принудительный, с помощью встроенного побудителя расхода (поставляется по дополнительному заказу), с помощью внешнего побудителя расхода или за счет избыточного давления в точке отбора пробы. Электронный первичный преобразователь расхода позволяет контролировать расход анализируемой смеси.

Газоанализатор имеет цифровой канал передачи данных RS-485 и два унифицированных токовых выхода, предназначенных для дистанционной передачи информации о результатах объемной доли кислорода в анализируемой смеси, температуре в измерительной ячейке, ЭДС термопары или напряжения на чувствительном элементе (по выбору потребителя).

Газоанализатор обеспечивает выдачу выходного унифицированного аналогового сигнала (020) мА или (4-20) мА.

Газоанализатор имеет две цепи сигнализации, каждая из которых может быть запрограммирована на срабатывание при достижении порогового значения содержания кислорода или расхода анализируемой смеси.

Газоанализатор выполнен в общепромышленном исполнении и предназначен для эксплуатации в невзрывоопасных зонах помещений и наружных установок в защитном шкафу.

По защищенности от проникновения внешних твердых предметов и воды газоанализаторы соответствуют степени защиты по ГОСТ 14254-96 не ниже IP30.

Внешний вид газоанализаторов приведен на рисунках 1 и 2.

Рисунок 1 - Газоанализатор THERMOX модели CG1000 (базовое исполнение)

Рисунок 2 - Г азоанализатор THERMOX модели CG1000-RTP

Лист № 3 Всего листов 6 

Комплект поставки газоанализатора приведен в таблице 3.

Таблица 3

1) Диапазоны показаний и измерений объемной доли кислорода и пределы допускаемой основной погрешности газоанализатора приведены в таблице 2.

Таблица 2

2) Пределы допускаемой вариации выходного сигнала газоанализатора,

в долях от пределов допускаемой основной погрешности                                  0,5

3) Номинальное время установления показаний Т0,9ном (при расходе анализируемой газовой смеси 150 см³/мин), с                                             15

4) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализатора от изменения температуры окружающей среды на каждые 10 ^oC в диапазоне рабочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой основной погрешности                                                                 0,2

• 5) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализатора от изменения атмосферного давления на каждые 3,3 кПа в диапазоне рабочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой основной

погрешности

• 6) Предел времени работы газоанализатора без корректировки показа

ний, суток, не более:

- в диапазоне измерений объемной доли кислорода от 0 до 50 млн ^-1

- в диапазонах измерений объемной доли кислорода

св. 50 до 5000 млн^-1, св. 0,5 до 2,5 % и св. 2,5 до 100 %

• 7) Время прогрева, не более, мин

• 8) Габаритные размеры, не более, мм:

высота

ширина

длина

• 9) Масса, не более, кг

• 10) Напряжение питания переменного тока частотой 50 Гц или 60 Гц, В             220_-⁺ ₃²₃²

• 11) Потребляемая мощность, не более, ВА:

без встроенного насоса

с встроенным насосом

• 12) Срок службы газоанализатора, не менее, лет

Условия эксплуатации

0

- диапазон температуры окружающей среды, С: CG1000 без встроенного насоса CG1000 с встроенным насосом CG1000-RTP

- диапазон атмосферного давления, кПа

- относительная влажность окружающего воздуха при 35 ^оС , %, не более

- температура анализируемой газовой смеси, не более, ⁰С

- диапазон объемного расхода анализируемой газовой смеси, см³/мин^-1

- диапазон избыточного давления анализируемой газовой смеси, кПа: CG1000 без встроенного насоса CG1000 с встроенным насосом

CG1000-RTP

- объемная доля неизмеряемых компонентов, не более , %: диоксид углерода (СО 2) пары воды ( Н2 О )