Номер по Госреестру СИ: 21778-08
21778-08 Газоанализаторы
(THERMOX мод. CG1000)
Назначение средства измерений:
Газоанализаторы THERMOX модели CG1000 предназначены для непрерывного измерения объемной доли кислорода в анализируемой газовой смеси.

Внешний вид.
Газоанализаторы
Рисунок № 1

Внешний вид.
Газоанализаторы
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Газоанализаторы имеют встроенное программное обеспечение, разработанное изготовителем специально для решения задач измерения объемной доли кислорода.
Встроенное программное обеспечение обеспечивает следующие основные функции:
- обработку и передачу измерительной информации от первичного измерительного преоб -разователя (электрохимического сенсора);
- отображение результатов измерений на дисплее ( при наличии );
- формирование выходного аналогового сигнала ;
- формирование релейного выходного сигнала (в зависимости от модели);
- самодиагностику аппаратной части газоанализатора ;
- настройку нулевых показаний и чувствительности .
ПО газоанализатора реализует следующие расчетные алгоритмы:
-
1) вычисление значений объемной доли кислорода по данным от первичного измерительного преобразователя;
-
2) вычисление значений выходного аналогового сигнала (в зависимости от модели);
-
3) формирование релейного выходного сигнала (в зависимости от модели);
-
4) непрерывную самодиагностику аппаратной части газоанализатора.
Встроенное программное обеспечение газоанализаторов идентифицируется путем отображения номера версии на дисплее при включении электрического питания.
Идентификационные данные программного обеспечения приведены в таблице 1. Таблица 1
Наименование программного обеспечения |
Идентификационное наименование программного обеспечения |
Номер версии программного обеспечения |
Цифровой идентификатор программного обеспечения (контрольная сумма исполняемого кода) |
Алгоритм вычисления программного обеспечения |
CG1000.bin |
Thermox CG1000 |
V2.13 |
E69B88589B3BE86753 2B65C9B3E452FF |
MD5 |
Примечание - номер версии ПО должен быть не ниже указанной в таблице. З ной суммы, указанное в таблице, относится только к файлу ПО соответствующ |
начение контроль-ей версии. |
Влияние встроенного программного обеспечения учтено при нормировании метрологических характеристик газоанализаторов.
Газоанализаторы имеют защиту встроенного программного обеспечения от преднамеренных или непреднамеренных изменений. Уровень защиты соответствует уровню "А" по МИ 3286-2010
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист руководства по эксплуатации и на газоанализатор в виде голографической наклейки.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийМетодика измерений приведена в документе «Газоанализаторы THERMOX модели CG1000. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к газоанализаторам THERMOX модели CG1000
-
1 ГОСТ 13320-81 Газоанализаторы промышленные автоматические. Общие технические условия.
-
2 ГОСТ 12.1.005-88 ССБТ. Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны.
-
3 ГОСТ 8.578-2008 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений содержания компонентов в газовых средах.
-
4 Техническая документация фирмы «AMETEK Process Instruments», США.
Лист № 6 Всего листов 6
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП-242-0633-2008 "Газоанализаторы THERMOX модели CG1000. Методика поверки", разработанному и утвержденному ГЦИ СИ ФГУП "ВНИИМ им. Д.И. Менделеева" "14" января 2008 г., с изменением № 1 от 16.07.2013 г.
Основные средства поверки:
-
- стандартные образцы состава газовые смеси кислород - азот (ГСО 5845-91, 9121-2008, 9122-2008, 3713-87, 3715-87, 3716-87, 3721-87, 3722-87, 3732-87) в баллонах под давлением, выпускаемые по ТУ 6-16-2956-92;
-
- генератор кислорода ГК-500 по ИБЯЛ.418319.033 ТУ, диапазон воспроизводимых значе
ний объемной доли кислорода от 0,1 до 500 млн-1, пределы допускаемой относительной погрешности (10 2) %.
Изготовитель
Фирма «AMETEK Process & Analytical Instruments Division», Адрес: USA, 150 Freeport Road, Pittsburgh, PA 15238.Испытательный центр
ГЦИ СИ ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»,Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., 19, тел.: (812) 251-76-01,
факс: (812) 713-01-14, e-mail: info@vniim.ru. http://www.vniim.ru,
Газоанализаторы THERMOX модели CG1000 (далее - газоанализаторы) представляют собой переносные одноканальные автоматические измерительные приборы непрерывного действия.
Газоанализаторы выпускаются в двух исполнениях: CG1000 (базовое) и CG1000-RTP (для применения в процессах Rapid Thermal Processing (RTP) в производстве полупроводниковых чипов и микросхем). Газоанализатор исполнения CG1000-RTP имеет встроенную систему пробоот-бора, разработанную с учетом требований процессов RTP.
В основу принципа действия газоанализаторов положен электрохимический метод с использованием циркониевого чувствительного элемента.
Газоанализатор имеет в своем составе микропроцессор, который управляет всеми режимами работы и преобразует выходной сигнал чувствительного элемента в показания в единицах измерений.
Результаты измерений, а также сообщения о параметрах функционирования внутренних блоков газоанализатора (расход анализируемой газовой смеси, температура в измерительной ячейке, ЭДС термопары или напряжение на чувствительном элементе), о наличии неисправностей и о срабатывании пороговых устройств отображаются на многофункциональном жидкокристаллическом дисплее.
На лицевой панели расположена клавиатура для управления работой прибора.
Способ отбора пробы - принудительный, с помощью встроенного побудителя расхода (поставляется по дополнительному заказу), с помощью внешнего побудителя расхода или за счет избыточного давления в точке отбора пробы. Электронный первичный преобразователь расхода позволяет контролировать расход анализируемой смеси.
Газоанализатор имеет цифровой канал передачи данных RS-485 и два унифицированных токовых выхода, предназначенных для дистанционной передачи информации о результатах объемной доли кислорода в анализируемой смеси, температуре в измерительной ячейке, ЭДС термопары или напряжения на чувствительном элементе (по выбору потребителя).
Газоанализатор обеспечивает выдачу выходного унифицированного аналогового сигнала (020) мА или (4-20) мА.
Газоанализатор имеет две цепи сигнализации, каждая из которых может быть запрограммирована на срабатывание при достижении порогового значения содержания кислорода или расхода анализируемой смеси.
Газоанализатор выполнен в общепромышленном исполнении и предназначен для эксплуатации в невзрывоопасных зонах помещений и наружных установок в защитном шкафу.
По защищенности от проникновения внешних твердых предметов и воды газоанализаторы соответствуют степени защиты по ГОСТ 14254-96 не ниже IP30.
Внешний вид газоанализаторов приведен на рисунках 1 и 2.

Рисунок 1 - Газоанализатор THERMOX модели CG1000 (базовое исполнение)

Рисунок 2 - Г азоанализатор THERMOX модели CG1000-RTP
Лист № 3 Всего листов 6
Комплект поставки газоанализатора приведен в таблице 3.
Таблица 3
Обозначение |
Наименование |
Количество |
CG1000 или CG1000-RTP |
Газоанализатор THERMOX модели CG1000 |
1 шт. |
Комплект запасных частей |
1 компл. | |
Шнур питания |
1 шт. | |
Руководство по эксплуатации |
1 экз. | |
МП-242-0633-2008 |
Методика поверки |
1 экз |
P/N 72611KE |
Кювета (кислородная ячейка) |
по заказу |
P/N72691SE |
Термопара |
-/- |
P/N70083SE |
Нагреватель |
-/- |
P/N72821SE |
Насос |
-/- |
P/N 72765SE |
Трансформатор |
-/- |
P/N 80464SE |
Объединительная плата |
-/- |
P/N 90219VE / 90253VE |
Дисплей/клавиатура |
-/- |
1) Диапазоны показаний и измерений объемной доли кислорода и пределы допускаемой основной погрешности газоанализатора приведены в таблице 2.
Таблица 2
Диапазон показаний объемной доли кислорода |
Диапазон измерений объемной доли кислорода |
Пределы допускаемой основной погрешности | |
приведенной,% |
относительной, % | ||
От 0 до 5000 млн-1 |
От 0 до 5 млн-1 |
± 10 |
- |
Св. 5 до 50 млн-1 |
± 10 |
- | |
Св. 50 до 5000 млн-1 |
- |
± 10 | |
Св. 0,5 до 100 % |
Св. 0,5 до 2,5 % |
±2 |
- |
Св. 2,5 до 100 % |
- |
±2 |
2) Пределы допускаемой вариации выходного сигнала газоанализатора,
в долях от пределов допускаемой основной погрешности 0,5
3) Номинальное время установления показаний Т0,9ном (при расходе анализируемой газовой смеси 150 см3/мин), с 15
4) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализатора от изменения температуры окружающей среды на каждые 10 oC в диапазоне рабочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой основной погрешности 0,2
-
5) Пределы допускаемой дополнительной погрешности газоанализатора от изменения атмосферного давления на каждые 3,3 кПа в диапазоне рабочих условий эксплуатации, в долях от пределов допускаемой основной
-
6) Предел времени работы газоанализатора без корректировки показа
ний, суток, не более:
- в диапазоне измерений объемной доли кислорода от 0 до 50 млн -1
- в диапазонах измерений объемной доли кислорода
св. 50 до 5000 млн-1, св. 0,5 до 2,5 % и св. 2,5 до 100 %
-
8) Габаритные размеры, не более, мм:
-
10) Напряжение питания переменного тока частотой 50 Гц или 60 Гц, В 220-+ 3232
-
11) Потребляемая мощность, не более, ВА:
Условия эксплуатации
0
- диапазон температуры окружающей среды, С: CG1000 без встроенного насоса CG1000 с встроенным насосом CG1000-RTP
от минус 18 до 50
от минус 20 до 40
от 5 до 40 от 84 до 106,7
80
70
от 50 до 200
от 3,8 до 138
от минус 2,5 до 138
от 80 до 108
15
20
- диапазон атмосферного давления, кПа
- относительная влажность окружающего воздуха при 35 оС , %, не более
- температура анализируемой газовой смеси, не более, 0С
- диапазон объемного расхода анализируемой газовой смеси, см3/мин-1
- диапазон избыточного давления анализируемой газовой смеси, кПа: CG1000 без встроенного насоса CG1000 с встроенным насосом
CG1000-RTP
- объемная доля неизмеряемых компонентов, не более , %: диоксид углерода (СО 2) пары воды ( Н2 О )