Номер по Госреестру СИ: 96530-25
96530-25 Профилометры сканирующие конфокальные
(СКОПА-200)
Назначение средства измерений:
Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200 (далее - профилометры) предназначены для измерений линейных размеров рельефа поверхности объектов вдоль осей X, Y и Z и трехмерной визуализации поверхности объектов.

Внешний вид.
Профилометры сканирующие конфокальные
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Управление профилометрами осуществляется с помощью специального программного обеспечения «Профилометр» (далее - ПО), установленного на персональный компьютер. ПО запускает процесс инициализации профилометра, управляет настройками профилометра, анализирует данные и обеспечивает графическое представление результатов измерений. Установка обновленных версий ПО допускается только представителями предприятия-изготовителя с помощью специального оборудования.
Метрологически значимая часть ПО не выделена, все ПО является метрологически значимым.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «низкий» согласно Р 50.2.077-2014.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения профилометров
|
Идентификационные данные |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
«Профилометр» |
|
Номер версии ПО, не ниже |
2.1 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на титульный лист Руководства по эксплуатации профилометров методом компьютерной графики и на заднюю панель профилометров методом наклеивания.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измеренийприведены в документе ЕМВР.401141.007.001РЭ «Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200. Руководство по эксплуатации», п. 2 «Использование по назначению».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийПриказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии № 2840 от 29.12.2018 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений длины в диапазоне от П10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм»
ЕМВР.401141.007.001ТУ Профилометры сканирующие конфокальные СКОПА-200. Технические условия
Правообладатель
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук
(ИАиЭ СО РАН)
Юридический адрес: 630090, Новосибирская обл., г. Новосибирск, пр-кт Академика Коптюга, д.1
ИНН 5408100032
Телефон: (383) 330-79-69, 339-93-58
Факс: (383) 330-88-78
E-mail: iae@iae.nsk.su, office@iae.nsk.su
Web-сайт: http://www.iae.nsk.su
Изготовитель
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук(ИАиЭ СО РАН)
Адрес: 630090, Новосибирская обл., г. Новосибирск, пр-кт Академика Коптюга, д.1
ИНН 5408100032
Тел.: (383) 330-79-69, 339-93-58
Факс: (383) 330-88-78
E-mail: iae@iae.nsk.su, office@iae.nsk.su
Web-сайт: http://www.iae.nsk.su
Испытательный центр
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»(ФГБУ «ВНИИОФИ»)
ИНН 9729338933
Адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озёрная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-56-33
Факс: +7 (495) 437-31-47
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Правообладатель
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук
(ИАиЭ СО РАН)
Юридический адрес: 630090, Новосибирская обл., г. Новосибирск, пр-кт Академика Коптюга, д.1
ИНН 5408100032
Телефон: (383) 330-79-69, 339-93-58
Факс: (383) 330-88-78
E-mail: iae@iae.nsk.su, office@iae.nsk.su
Web-сайт: http://www.iae.nsk.su
Профилометры относятся к классу бесконтактных оптических приборов, использующих конфокальные хроматические датчики расстояния.
Принцип действия конфокального хроматического датчика расстояния заключается в использовании специальной оптической фокусирующей системы, которая фокусирует излучение источника белого света в вертикальный световой отрезок, состоящий из непрерывной последовательности сфокусированных точек с различной длиной волны. Длина такого светового отрезка определяет диапазон измерения датчика вдоль оси Z. При отражении света от поверхности, находящейся в пределах указанного отрезка, отраженный свет имеет максимум интенсивности при некоторой длине волны, соответствующей положению данной поверхности относительно указанного светового отрезка. Раскладывая в спектр свет, отраженный от измеряемой поверхности, можно определить длину волны света, для которой интенсивность максимальна, и измерить расстояние до поверхности вдоль оси Z относительно положения фокусирующей системы прибора в плоскости XY.
Конструктивно профилометры представляют собой напольную автоматизированную измерительную систему, включающую основание с регулируемыми по высоте опорами, на котором через виброизолирующие подушки установлен оптико-механический модуль, состоящий из гранитной плиты, моторизованного предметного стола для перемещения образцов в плоскости XY и неподвижного портала, на котором жестко закреплен привод перемещения оптической головки профилометра по оси Z. Профилометр может поставляться с одним или двумя конфокальными хроматическими датчиками (С1 и С2).
Серийный номер, содержащий цифровое обозначение, наносится методом цифровой лазерной печати на шильдик, который наклеивается на корпус профилометров посредством самоклеящейся пленки. Пломбировка и нанесение знака поверки на профилометры не предусмотрены.
Общий вид, место нанесения серийного номера и знака утверждения типа профилометров представлены на рисунке 1.
Место нанесения серийного номера
Серийных Гл
Год проиэ&адства |
ЛАхЭ СО W.4 НоэссИЗ)
Г7 ПРОФИЛОМЕТР СКАНИРУЮЩИЙ
& КОНФОКАЛЬНЫЙ СКОПА-2СО
Место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Внешний вид, схема нанесения серийного номера и знака утверждения типа профилометра сканирующего конфокального СКОПА-200
Таблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество, шт./экз. |
|
Профилометр сканирующий конфокальный 1 |
СКОПА-200 |
1 |
|
Персональный компьютер с предустановленным программным обеспечением «Профилометр» |
ПО «Профилометр» |
1 |
|
Руководство по эксплуатации |
ЕМВР.401141.007.001РЭ |
1 |
|
Паспорт |
ЕМВР.401141.007.001ПС |
1 |
|
Примечание: 1 - Профилометр может комплектоваться одним или двумя конфокальными хроматическими датчиками, тип и количество датчиков определяется требованиями заказчика | ||
Таблица 2 - Метрологические характеристики профилометров
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров по осям X и Y, мм:
|
от 0,005 до 170,000 от 0,005 до 1,000 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по осям X и Y для профилометров с датчиками С1 и С2, мм |
±0,005 |
|
Диапазон измерений линейных размеров по оси Z, мкм:
|
от 1,0 до 1000,0 от 1,0 до 140,0 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров по оси Z для профилометров с датчиками С1 и С2, мкм |
±0,3 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики профилометров
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрического питания от сети переменного | |
|
тока: | |
|
- напряжение переменного тока, В |
220 ± 22 |
|
- частота переменного тока, Гц |
50 ± 1 |
|
Габаритные размеры, мм, не более | |
|
- длина |
760 |
|
- ширина |
660 |
|
- высота |
1400 |
|
Условия эксплуатации: | |
|
- температура окружающей среды, °С |
от +15 до +25 |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 |
|
- атмосферное давление, кПа |
от 96 до 104 |

