Номер по Госреестру СИ: 96138-25
96138-25 Эллипсометр настольный спектральный
(SEI-Mapping)
Назначение средства измерений:
Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping (далее - эллипсометр) предназначен для измерений толщины и показателя преломления оптических покрытий плоских образцов посредством бесконтактного измерения эллипсометрических углов Пси и Дельта.
Внешний вид.
Эллипсометр настольный спектральный
Рисунок № 1
Внешний вид.
Эллипсометр настольный спектральный
Рисунок № 2
Общие сведения
Дата публикации - 18.08.2025
Срок свидетельства -
Номер записи - 10af4591-1905-2744-773b-8bc365e4fb0b
ID в реестре СИ - 1426726
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Нет модификации,
Производитель
Изготовитель - Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd
Страна - КИТАЙ
Населенный пункт - Building 6, No. 10, Financial Port 4th Road, East Lake New Technology Development Zone, Wuhan
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Отчет помогает подобрать поверки с истекающими сроками в заданном интервале по региону, области измерений и наименованиям владельцев.
Статистика
Кол-во поверок - 1
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№1683 от 2025.08.13 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (15)
Наличие аналогов СИ: Эллипсометр настольный спектральный (SEI-Mapping)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Все средства измерений Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd
|
№ в реестре cрок св-ва |
Наименование СИ, обозначение, изголовитель | ОТ, МП | МПИ |
|---|---|---|---|
|
96138-25 |
Эллипсометр настольный спектральный, SEI-Mapping Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd (КИТАЙ Building 6, No. 10, Financial Port 4th Road, East Lake New Technology Development Zone, Wuhan) |
ОТ МП |
1 год |
Cправочник реагентов составлен по данным из реестра "Сведения о результатах поверки средств измерений" ФГИС АРШИН и содержит сведения о реагентах, используемых при поверке средств измерений.
Справочник содержит более 150 записей и постоянно пополняется силами сотрудников ФГУП ВНИИМС. Описание каждого из реагентов состоит из наименования и цифро-буквенного кода.
Бесплатный
Кто поверяет Эллипсометр настольный спектральный (SEI-Mapping)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2026 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| ФГБУ "ВНИИОФИ" (RA.RU.311485) | 1 | 1 | 0 | 0 | 1 | 1 | 0 |
Стоимость поверки Эллипсометр настольный спектральный (SEI-Mapping)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Для записи сигналов и их обработки используется специальное ПО «EometricsPro», работающее в операционной среде Microsoft Windows. ПО является защищенным. Никакие изменения кода программы невозможны. Обновления ПО производятся изготовителем путем выпуска обновлений на дисках и рассылкой пользователям.
Метрологически значимая часть ПО размещается в памяти ПЭВМ. Доступ к метрологически значимой части ПО ограничен.
Защита ПО от непреднамеренных и преднамеренных изменений соответствует уровню «средний» в соответствии с Р 50.2.077 - 2014.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные ПО
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
EometricsPro |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
v.3.1.5.0 |
|
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананесён на корпус эллипсометра методом наклеивания и типографским способом на титульный лист руководства по эксплуатации.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в главе 4 «Работа программного обеспечения» документа «Эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping. Руководство по эксплуатации».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений
Приказ Федерального агентства по техническому регулированию и метрологии от 09.09.2024 № 2154 «Об утверждении Государственной поверочной схемы для средств измерений комплексного показателя преломления и толщины оптических покрытий».
Правообладатель
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники»
(АО «НИИМЭ»)
Юридический адрес: 124460, г. Москва, г. Зеленоград, ул. Академика Валиева, д. 6, стр.1
ИНН 7735579027
Тел. +7 (495) 229-70-00, факс +7 (495) 229-70-75
Web-сайт: www.niime.ru
E-mail: niime@niime.ru
Изготовитель
Wuhan Eoptics Technology Co., Ltd, КитайАдрес: Building 6, No. 10, Financial Port 4th Road, East Lake New Technology Development Zone, Wuhan
http://www.eoptics.com.cn
Тел.: 027-8798-9806
Испытательный центр
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»(ФГБУ «ВНИИОФИ»)
Адрес: 119361, г. Москва, вн. тер. г. муниципальный округ Очаково-Матвеевское, ул. Озерная, д. 46
ИНН 9729338933
Телефон: +7 (495) 437-56-33; факс +7 (495) 437-31-47
Web-сайт: www.vniiofi.ru
E-mail: vniiofi@vniiofi.ru
Правообладатель
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники»
(АО «НИИМЭ»)
Юридический адрес: 124460, г. Москва, г. Зеленоград, ул. Академика Валиева, д. 6, стр.1
ИНН 7735579027
Тел. +7 (495) 229-70-00, факс +7 (495) 229-70-75
Web-сайт: www.niime.ru
E-mail: niime@niime.ru
Принцип действия эллипсометра основан на измерении изменений состояния поляризации света, отраженного от границы раздела двух сред. Эллипсометр измеряет эллипсометрические углы Пси и Дельта на различных длинах волн. Программное обеспечение (далее - ПО) эллипсометра на основании измеренных данных об эллипсометрических углах с использованием математической модели определяет толщину и показатель преломления оптических покрытий на поверхности измеряемого объекта.
Конструктивно эллипсометр состоит из блока поляризатора с источником света, гониометра с фиксированным углом падения света на образец, моторизованного стола для образцов диаметром до 300 мм с автоматическим перемещением по осям X, Y, Z и автоматической фокусировкой по Z, и блока анализатора отраженного от образца света. Неотъемлемой частью эллипсометра является вычислительный модуль на базе персонального компьютера со специализированным ПО для проведения измерений, сбора и анализа полученных данных.
Эллипсометр снабжен вертикальной камерой для визуализации области измерения и выравнивания образца при помощи механизма наклона предметного стола. В состав эллипсометра входят две фокусирующие микронасадки для уменьшения размера светового пятна на образце.
К данному типу средства измерений относится эллипсометр настольный спектральный SEI-Mapping с заводским номером 1010130058.
Заводской номер, содержащий цифровое обозначение, и знак утверждения типа нанесён на шильдик методом цифровой лазерной печати на пластиковую пленку и наклеен на заднюю панель эллипсометра.
Пломбирование эллипсометра не предусмотрено. Общий вид эллипсометра с обозначением места нанесения знака поверки, заводского номера и места нанесения знака утверждения типа представлен на рисунке 1.
Место нанесения заводского номера и знака утверждения типа
Место
нанесения
знака
знака
поверки
Рисунок 1 - Общий вид эллипсометра настольного спектрального SEI-Mapping
аблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Эллипсометр настольный спектральный |
SEI-Mapping |
1 шт. |
|
Программное обеспечение (ПО) для обработки результатов измерений |
EometricsPro |
1 шт. |
|
Вертикальная камера для визуализации области измерения в ПО |
- |
1 шт. |
Продолжение таблицы 4
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Моторизованный стол для пластин диаметром до 300 мм, с автоматическим перемещением по осям X-Y-Z и автоматической фокусировкой по Z. |
- |
1 шт. |
|
Фокусирующие микронасадки |
- |
2 шт. |
|
Безмасляный вакуумный насос Linicon |
- |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 экз. |
аблица 2 - Метрологические характеристики эллипсометра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений толщины покрытий, нм |
от 2 до 4500 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений толщины покрытий, нм:
|
±1 ±5 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений толщины покрытий в поддиапазоне от 1000 до 4500 нм, % |
±1 |
|
Диапазон измерений показателя преломления покрытий на длине волны 632,8 нм |
от 1,460 до 2,022 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений показателя преломления покрытий на длине волны 632,8 нм |
±0,004 |
Таблица 3 - Технические характеристики эллипсометра
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Параметры электрической сети:
|
от 210 до 230 от 49 до 51 |
|
Мощность, Вт |
1550 |
|
Габаритные размеры (длинахширинахвысота) (без учета ПК и монитора), мм, не более |
900х570х742 |
|
Условия эксплуатации:
|
от +20 до +26 от 35 до 60 от 75 до 101,4 |