Номер по Госреестру СИ: 95798-25
95798-25 Микроскоп просвечивающий электронный измерительный
(JEM-2100 Plus)
Назначение средства измерений:
Микроскоп просвечивающий электронный измерительный JEM-2100 Plus (далее -микроскоп) предназначен для измерений линейных размеров элементов микро- и наноструктур тонкопленочных образцов, микро- и наночастиц на пленке-подложке, определения параметров кристаллической решетки и локального элементного состава методом энергодисперсионной спектроскопии.

Внешний вид.
Микроскоп просвечивающий электронный измерительный
Рисунок № 1

Внешний вид.
Микроскоп просвечивающий электронный измерительный
Рисунок № 2
Программное обеспечение
Программное обеспечение (ПО) «TEM Center» является специализированным ПО и предназначено для управления всеми функциями микроскопа, включая перемещение образца, фокусировку, коррекцию астигматизма, управление вакуумной системой, контроль и формирование изображения с детектора. Также ПО «TEM Center» позволяет управлять ЭДС спектрометром и проводить качественный и количественный анализ спектров характеристического рентгеновского излучения, получаемого из измерительного тракта детектора рентгеновского излучения.
Программное обеспечение (ПО) «RADIUS» является специализированным ПО и предназначено для управления цифровой ПЗС-камерой. Также ПО «RADIUS» позволяет формировать, обрабатывать и анализировать изображения, получаемые с камеры.
ПО «TEM Center» и «RADIUS» не могут быть использованы отдельно от микроскопа. Метрологически значимая часть ПО микроскопа, цифровой камеры и измеренные данные достаточно защищены с помощью специальных средств защиты от преднамеренных изменений.
Идентификационные данные (признаки) ПО указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | |
|
Идентификационное наименование ПО |
TEM Center |
RADIUS |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.7.6.1591 |
1.4 |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
- |
Уровень защиты ПО соответствует уровню «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа Наносится на боковую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в документе «Микроскоп просвечивающий электронный измерительный JEM-2100 Plus. Руководство по эксплуатации», раздел 5 «Работа с микроскопом».
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийЛокальная поверочная схема.
ПравообладательФирма «JEOL Ltd.», Япония.
Адрес: 1-2 Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
Тел.: 042-542-2187
Факс: +44(0)1223 401 501
Web-сайт: www.jeol.co.jp
Изготовитель
Фирма «JEOL Ltd.», Япония.Адрес: 1-2 Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
Тел.: 042-542-2187
Факс: +44(0)1223 401 501
Web-сайт: www.jeol.co.jp
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, к. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Правообладатель
Фирма «JEOL Ltd.», Япония.Адрес: 1-2 Musashino 3-chome, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
Тел.: 042-542-2187
Факс: +44(0)1223 401 501
Web-сайт: www.jeol.co.jp
Принцип действия микроскопа основан на прохождении пучка ускоренных электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на кристаллической решетке или неоднородностях структуры объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.
Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят:
-
- модуль получения изображений;
-
- источник высокого напряжения;
-
- блок электроники;
-
- форвакуумный насос;
-
- система замкнутого водяного охлаждения.
Основным компонентом модуля получения изображений является электроннооптическая колонна. Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и систему электронных линз: блок конденсорных линз, объективную линзу, блок промежуточных линз и проекционную линзу. Электронная пушка включает источник электронов на основе монокристаллического катода LaB6. Объективная линза дополнена диафрагмой, положением которой можно управлять. Регистрация изображения в режиме просвечивающей электронной микроскопии и режиме дифракции осуществляется с помощью 11 Мп ПЗС-камеры.
Модуль получения изображений также включает в себя управляющий компьютер со специализированным программным обеспечением и энергодисперсионный спектрометр (ЭДС), выполненный на основе SDD детектора для регистрации химических элементов от Be до Am.
Источник высокого напряжения вырабатывает высокостабильное ускоряющее напряжение, которое подается на электронную пушку, в диапазоне от 80 до 200 кВ.
Пломбирование микроскопа не предусмотрено. Заводской номер № EM1753000180018 и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид микроскопа и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунке 1.
место нанесения знака утверждения типа
Рисунок 1 - Общий вид микроскопа просвечивающего электронного измерительного
JEM-2100 Plus
Место установки шильдика с заводским номером приведено на рисунке 2
место установки шильдика с заводским номером
Рисунок 2 - Место установки шильдика с заводским номером
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров, мкм |
от 0,0003 до 50 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров при ускоряющем напряжении 200 кВ, нм (L-линейный размер, нм) |
±(0,3+0,03^1) |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца, эВ, не более |
136 |
Таблица 3 - Технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение | |
|
Габаритные размеры основных составных (ширинахглубинахвысота), мм, не более: - модуль получения изображений |
частей |
2040x1800x2440 |
|
- источник высокого напряжения |
880x690x1400 | |
|
- блок электроники |
570x800x1750 | |
|
Условия эксплуатации: - температура окружающей среды, °С |
от +18 до +22 | |
|
- относительная влажность воздуха, %, не более |
80 | |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 205 до 255 | |

