Номер по Госреестру СИ: 91215-24
91215-24 Микроскопы сканирующие электронные
(ZEM)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные ZEM (далее - микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров микрорельефа поверхности твердотельных структур, количественного морфологического анализа и локального электронно-зондового элементного анализа (опционально, при комплектации энергодисперсионным рентгеновским спектрометром).
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 1
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 2
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 3
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 4
Общие сведения
Дата публикации - 02.02.2024
Срок свидетельства - 01.02.2029
Номер записи - 193107
ID в реестре СИ - 1414164
Тип производства - серийное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Микроскоп сканирующий электронный ZEM20, Микроскоп сканирующий электронный ZEM18,
Производитель
Изготовитель - Фирма "ZepTools Technology Co., Ltd."
Страна - КИТАЙ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности -
Статистика
Кол-во поверок - 3
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 0
Кол-во средств измерений -
Кол-во владельцев -
Усредненный год выпуска СИ -
МПИ по поверкам - дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
№274 от 2024.02.01 ПРИКАЗ_Об утверждении типов средств измерений (12)
Наличие аналогов СИ: Микроскопы сканирующие электронные (ZEM)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Отчет "V_13 Поверки по производителю СИ (подробно)" будет крайне полезен руководителям организаций, оказывающих услуги поверки, при поиске новых клиентов, анализе рынка услуг при доминировании нескольких производителей СИ и оценке позиций конкурентов.
Для построения отчета необходимо предварительно сконфигурировать два параметра его отображения:
1- Выбрать интересующего производителя СИ или нескольких производителей одновременно. Список производителей формируется из реестра утвержденных типов СИ ФГИС АРШИН. Существование дубликатов организаций вызвано разницей в написании наименований и преобразовании форм собственности организаций за все время ведения федерального фонда. Для удобства выбора в скобках указано общее кол-во поверок в системе, приходящееся на конкретного производителя.
2- Указать минимальный объём поверок (организации, имеющие меньше поверок отображаться в отчете не будут).
Результаты обработки данных будут представлены в табличной форме. Таблица обладает функцией поиска и сортировки по любой из колонок.
Таблица содержит 6 колонок:
- Номер в госреестре типа СИ с ссылкой на соответствующий раздел реестра
- Ссылочное поле на описание типа СИ с наименованием средства измерений
- Количество средств измерений данного типа СИ, засветившихся в ФГИС АРШИН
- Количество уникальных владельцев СИ, имеющих на балансе СИ данного типа
- Организации, которые когда-либо поверяли СИ данного типа с указанием количества поверок (фильтр по кол-ву поверок устанавливается в настройках отчета)
- Организации, которые осуществляли поверки СИ данного типа за последний год с указанием количества поверок (фильтр по кол-ву поверок устанавливается в настройках отчета)
Кто поверяет Микроскопы сканирующие электронные (ZEM)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 3 | 3 | 3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Микроскопы сканирующие электронные (ZEM)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) NewBee.
ПО NewBee предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО NewBee не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
NewBee |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.0 и выше |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель модуля получения изображений в виде наклейки и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Лист № 5 Всего листов 6Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в документе «Микроскопы сканирующие электронные ZEM. Руководство по эксплуатации», раздел 6 «Проведение измерений линейных размеров».Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измеренийГосударственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
ПравообладательФирма «ZepTools Technology Co., Ltd.», Китай.
Юридический адрес: No.101, Building D, High-tech Entrepreneurship Service Center, Economic and Technological Development Zone, Tongling City, Anhui Province, China. Тел.:+86-562-2882800 E-mail: support@zeptools.com Сайт: http://www.zeptools.com
Изготовитель
не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид модуля получения изображений микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 - 3.
Рисунок 1 - Общий видмодуля получения изображений микроскопов модификации ZEM15.
Рисунок 2 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации ZEM18.место нанесения знака утверждения типа
место нанесения заводского номераРисунок 3 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации ZEM20.
Общий вид шильдика с заводским номером приведен на рисунке 4.
Рисунок 4 - Общий вид шильдика с заводским номеромПрограммное обеспечение Управление микроскопом осуществляется с помощью встроенной ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) NewBee.
ПО NewBee предназначено для управления микроскопом, составления измерительных программ и обработки результатов измерений. ПО NewBee не может быть использовано отдельно от микроскопа.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
|
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
|
Идентификационное наименование ПО |
NewBee |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
1.0 и выше |
Метрологические и технические характеристики
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
|
ZEM15 |
ZEM18 |
ZEM20 | |
|
Диапазон измерений линейных размеров, |
от 0,3 до 500 |
от 0,3 до |
от 0,3 до |
|
мкм |
1000 |
1000 | |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
±5 |
±5 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца, эВ, не более (опционально) |
129 |
129 |
129 |
|
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
|
ZEM15 |
ZEM18 |
ZEM20 | |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
от 3 до 15 |
от 3 до 18 |
от 3 до 20 |
|
Пространственное разрешение, нм |
8 |
6 |
5 |
|
Максимальное увеличение, крат |
150000 |
150000 |
200000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика по осям Х, Y, мм |
30х30 |
30x30 |
50x50 |
|
Максимальный размер образца в плоскости XY, мм |
50 |
50 |
80x100 |
|
Максимальная высота образца, мм |
35 |
35 |
75 |
|
Диапазон определяемых элементов (опционально) |
от B до Cf | ||
|
Габаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более | |||
|
- модуль получения изображений |
290x560x510 |
380x660x660 | |
|
- насос форвакуумный |
340x160x140 |
340x160x140 | |
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
80 |
82 |
90 |
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
1000 |
1000 |
1000 |
|
Напряжение электрического питания от од- | |||
|
нофазной сети переменного тока, В |
от 207 до 253 | ||
|
Условия эксплуатации: | |||
|
- температура окружающего воздуха, 0С |
от +15 до +25 | ||
|
- относительная влажность воздуха, % |
от 5 до 70 | ||
Лист № 5 Всего листов 6 Комплектность средства измерений Таблица 4 - Комплектность средства измерений
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный |
ZEM15 (либо ZEM18, ZEM20) |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
- |
1 шт. |
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29 декабря 2018 г. № 2840.
Правообладатель Фирма «ZepTools Technology Co., Ltd.», Китай.
Юридический адрес: No.101, Building D, High-tech Entrepreneurship Service Center, Economic and Technological Development Zone, Tongling City, Anhui Province, China. Тел.:+86-562-2882800 E-mail: support@zeptools.com Сайт: http://www.zeptools.com
Фирма «ZepTools Technology Co., Ltd.», Китай.
Юридический адрес: No.101, Building D, High-tech Entrepreneurship Service Center, Economic and Technological Development Zone, Tongling City, Anhui Province, China. Адрес места осуществления деятельности: D101, 1517 Lake Road, Tongling, Anhui, China.
Тел.: +86-562-2882800
E-mail: support@zeptools.com
Сайт: http://www.zeptools.com
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес:119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, к. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Правообладатель
Фирма «ZepTools Technology Co., Ltd.», Китай.Юридический адрес: No.101, Building D, High-tech Entrepreneurship Service Center, Economic and Technological Development Zone, Tongling City, Anhui Province, China. Тел.:+86-562-2882800 E-mail: support@zeptools.com Сайт: http://www.zeptools.com
Принцип действия микроскопов основан на сканировании сфокусированным пучком ускоренных электронов поверхности исследуемого объекта, детектировании вторичных или обратно-рассеянных электронов для формирования изображения на экране персонального компьютера синхронно с разверткой электронного пучка. Отношение размера изображения на экране к размеру растра на образце определяет увеличение микроскопа. Опционально микроскопы комплектуются энергодисперсионным рентгеновским спектрометром (ЭДС) для регистрации характеристического рентгеновского излучения, возникающего при столкновении электронов пучка с исследуемым объектом. ЭДС позволяет проводить электронно-зондовый элементный анализ исследуемого объекта путем обработки спектра рентгеновского излучения, который включает в себя набор спектральных линий, специфичных для каждого химического элемента. ЭДС выполнен на основе кремниевого дрейфового детектора, охлаждаемого элементом Пельтье.
Микроскопы выпускается в следующих модификациях: ZEM15, ZEM18, ZEM20, которые различаются между собой в основном значениями ускоряющего напряжения и пространственного разрешения. Микроскопы выполнены в настольном варианте и представляют собой автоматизированные многофункциональные измерительные системы.
Микроскоп состоит из модуля получения изображений, отдельного мембранного вакуумного насоса, монитора и персонального компьютера, имеющего специализированное программное обеспечение для управления микроскопом.
Модуль получения изображений включает в себя электронно-оптическую систему (колонну) с электронной пушкой, оснащенной вольфрамовым катодом, камеру образцов, высоковольтный блок, формирующий ускоряющее напряжение, блок электроники, турбомолекуляр-ный насос, детекторы вторичных и обратно-рассеянных электронов. Камера образцов оборудована встроенной оптической цифровой навигационной камерой, позволяющей делать снимок загруженного столика с образцом, который в дальнейшем будет использоваться для навигации. Столик образцов имеет моторизованный механизм перемещения объектов по осям X и Y, ручную регулировку по оси Z и наклон образца.
Режимы работы микроскопа устанавливаются пользователем с помощью программного обеспечения управляющей ПЭВМ.
Изготовитель не осуществляет пломбирование микроскопа. Заводской номер в буквенно-цифровом формате и год изготовления нанесены типографским способом на шильдик, закрепленный на задней панели модуля получения изображений. Нанесение знака поверки на микроскоп не предусмотрено. Общий вид модуля получения изображений микроскопов и место нанесения знака утверждения типа приведены на рисунках 1 - 3.
Рисунок 1 - Общий видмодуля получения изображений микроскопов модификации ZEM15.
Рисунок 2 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации ZEM18.
место нанесения знака утверждения типа
место нанесения заводского номера
Рисунок 3 - Общий вид модуля получения изображений микроскопов модификации ZEM20.
Общий вид шильдика с заводским номером приведен на рисунке 4.
Рисунок 4 - Общий вид шильдика с заводским номером
Таблица 4 -
|
Наименование |
Обозначение |
Количество |
|
Микроскоп сканирующий электронный |
ZEM15 (либо ZEM18, ZEM20) |
1 шт. |
|
Руководство по эксплуатации |
- |
1 шт. |
|
Методика поверки |
- |
1 шт. |
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
|
ZEM15 |
ZEM18 |
ZEM20 | |
|
Диапазон измерений линейных размеров, |
от 0,3 до 500 |
от 0,3 до |
от 0,3 до |
|
мкм |
1000 |
1000 | |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров, % |
±5 |
±5 |
±5 |
|
Энергетическое разрешение энергодисперсионного спектрометра на линии Ка марганца, эВ, не более (опционально) |
129 |
129 |
129 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Модификация микроскопа | ||
|
ZEM15 |
ZEM18 |
ZEM20 | |
|
Диапазон регулировки ускоряющего напряжения, кВ |
от 3 до 15 |
от 3 до 18 |
от 3 до 20 |
|
Пространственное разрешение, нм |
8 |
6 |
5 |
|
Максимальное увеличение, крат |
150000 |
150000 |
200000 |
|
Диапазон перемещений предметного столика по осям Х, Y, мм |
30х30 |
30x30 |
50x50 |
|
Максимальный размер образца в плоскости XY, мм |
50 |
50 |
80x100 |
|
Максимальная высота образца, мм |
35 |
35 |
75 |
|
Диапазон определяемых элементов (опционально) |
от B до Cf | ||
|
Габаритные размеры (длинахширинахвысота), мм, не более | |||
|
- модуль получения изображений |
290x560x510 |
380x660x660 | |
|
- насос форвакуумный |
340x160x140 |
340x160x140 | |
|
Масса, включая все комплектующие, кг, не более |
80 |
82 |
90 |
|
Потребляемая мощность, В^А, не более |
1000 |
1000 |
1000 |
|
Напряжение электрического питания от од- | |||
|
нофазной сети переменного тока, В |
от 207 до 253 | ||
|
Условия эксплуатации: | |||
|
- температура окружающего воздуха, 0С |
от +15 до +25 | ||
|
- относительная влажность воздуха, % |
от 5 до 70 | ||