Номер по Госреестру СИ: 91000-24
91000-24 Микроскопы сканирующие электронные
(KYKY)
Назначение средства измерений:
Микроскопы сканирующие электронные KYKY (далее микроскопы) предназначены для измерений линейных размеров, определения формы, ориентации и других параметров, нано- и микроструктур поверхностей различных объектов.
Внешний вид.
Микроскопы сканирующие электронные
Рисунок № 1
Программное обеспечение
Микроскопы имеют в своем составе программное обеспечение (ПО), предустановленное на персональный компьютер оператора, разработанное для выполнения определённых измерительных задач, осуществляющее измерительные функции, функции получения и передачи измерительной информации.
Программное обеспечение является специализированным ПО микроскопов и предназначено для его управления, составления измерительных программ, обработки и хранения результатов измерений. ПО не может быть использовано отдельно от микроскопов.
Конструкция микроскопов исключает возможность несанкционированного влияния на ПО и измерительную информацию средства измерений. Средства для программирования или изменения метрологически значимых функций отсутствуют.
Уровень защиты от непреднамеренных и преднамеренных изменений - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014. Идентификационные данные (признаки) метрологически значимой части ПО указаны в таблице 1.
аблица 1 - Идентификационные данные ПО микроскопов
Идентификационные данные (признаки) |
Значение |
Идентификационное наименование ПО |
KYM SEM |
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
не ниже v 1.0 |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типа наносится на титульный лист Руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
Приведены в разделе «Измерения» Руководства по эксплуатации.
Нормативные и технические документы
Нормативные документы, устанавливающие требования к средству измерений
Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 12000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм, утвержденная приказом Росстандарта 06 ноября 2019 г. №2657;
Микроскопы сканирующие электронные KYKY. Стандарт предприятия.
Правообладатель
KYKY Technology Co., Ltd., Китай
Адрес: No. 13 Beiertiao, HaiDian District, Пекин, Китай
Тел./факс +86 10-62571593
E-mail: market@kyky.com.cn
Изготовитель
KYKY Technology Co., Ltd., КитайАдрес: No. 13 Beiertiao, HaiDian District, Пекин, Китай Тел./факс +86 10-62571593
E-mail: market@kyky.com.cn
Испытательный центр
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Всероссийский научно-исследовательский институт метрологической службы» (ФГБУ «ВНИИМС») ИНН 9729315781Адрес: 119361, г. Москва, ул. Озерная, д. 46
Телефон: +7 (495) 437-55-77, факс: +7 (495) 437-56-66
E-mail: office@vniims.ru, web-сайт: www.vniims.ru
Правообладатель
KYKY Technology Co., Ltd., Китай
Адрес: No. 13 Beiertiao, HaiDian District, Пекин, Китай
Тел./факс +86 10-62571593
E-mail: market@kyky.com.cn
Принцип действия микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований.
Микроскопы представляют собой стационарные настольные лабораторные приборы и изготавливаются в пяти модификациях: EM-6900, EM-8000, EM-8100, EM-8200, EM-8300. В зависимости от типоразмера камеры образцов микроскопы перечисленных модификаций, имеют дополнительные обозначения - Standard, Ultra и Pro. Конструктивно микроскопы состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов и форвакуумного насоса. Управление микроскопом осуществляется с помощью персонального компьютера. Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а также получение информации с детекторов различных видов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах. На микроскопах могут быть установлены: детектор вторичных электронов, детектор обратно отражённых, детектор прошедших электронов, детектор катодолюминесцентного излучения, а также других специализированных детекторов. К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки вакуумной системы микроскопа. Стол оператора служит как для размещения органов управления микроскопом (джойстик, клавиатура, мышь, монитор), так и используется для подготовки образцов перед исследованием. Остальные элементы, обеспечивающие функционирование прибора интегрированы в блок электроники и пространство под камерой микроскопа, а также под столом оператора.
Управление приборами, сбор данных, их обработка и хранение осуществляются с помощью внешнего персонального компьютера, на котором установлено программное обеспечение, работающее в среде операционной системы Windows.
Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью разнообразных держателей. Один из возможных стандартных держателей выполнен в виде диска диаметром 12.5 мм с ножкой для фиксации диаметром 3.0 мм.
Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может подключаться выносная панель с ручками, предназначенная для быстрого изменения и контроля основных параметров.
Дополнительно возможна установка на микроскоп следующих аналитических систем и дополнений: система энергодисперсионного микроанализа, система волнодисперсионного микроанализа, система определения фазового состава, структуры и текстуры методом анализа картин дифракции обратно отраженных электронов, а также других специализированных решений.
Заводские номера микроскопов имеют цифробуквенное обозначение и наносятся на корпус микроскопов в виде идентификационной таблички с нанесенным способом лазерной гравировки заводским номером. Пломбирование микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено. Нанесение знака поверки на корпус микроскопа не предусмотрено. Общий вид микроскопов приведен на рисунке 1.
a)
Рисунок 1 - Внешний вид микроскопов сканирующих электронных KYKY
а) EM-6900; б) EM-8000; в) EM-8100, EM-8200, EM-8300
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 0,1 до 500 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % |
±3 |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Модификация |
EM-6900 |
EM-8000 |
EM-8100 |
EM-8200 |
EM-8300 | |||||
Standard |
Ultra |
Pro |
Standard |
Ultra |
Standard |
Standard |
Ultra |
Standard | ||
Разрешение, нм, не более |
3,0 |
1,5 |
1,0 |
1, |
0 |
0,9 | ||||
Диапазон наклона столика образцов, ° |
от -5 до +90 |
от -5 до +70 |
от -5 до +70 |
от -5 до +70 |
от -5 до +70 |
от -5 до +70 |
от -5 до +70 |
от -5 до +70 |
от -5 до +70 | |
Перемещение столика образцов, | ||||||||||
мм, не менее: | ||||||||||
- по оси X |
70 |
150 |
80 |
80 |
150 |
150 |
80 |
150 |
150 | |
- по оси Y |
50 |
150 |
50 |
50 |
150 |
150 |
50 |
150 |
150 | |
- по оси Z |
45 |
60 |
30 |
30 |
60 |
60 |
30 |
60 |
60 | |
Диапазон вращения столика |
от 0 до 360 | |||||||||
образцов, ° | ||||||||||
Параметры электрического | ||||||||||
питания: | ||||||||||
- напряжение переменного тока, В |
230±23 | |||||||||
- частота переменного тока, Гц |
50±2,5 | |||||||||
Габаритные размеры, мм, не более | ||||||||||
- длина |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 | |||
- ширина |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 |
1500 | |||
- высота |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 |
2000 | |||
Масса, кг, не более |
500 |
600 |
650 |
700 |
700 |
750 |
750 | |||
Условия эксплуатации: | ||||||||||
- температура окружающей |
от +15 до +25 | |||||||||
среды, °С | ||||||||||
- относительная влажность, % |
до 65 | |||||||||
Увеличение, крат |
от 8 до 300000 |
от 8 до 800000 |
от 6 до 1000000 |
от 6 до 1000000 |
от 8 до 1000000 |
от 8 до 2500000 | ||||
Давление в камере, Па, не более |
Lx10-2 |
Лист № 5 Всего листов 5