Наименование и обозначение

Количество

Измерительный головной блок

1 шт.

Манипулятор

1 шт.

У становка водяного охлаждения

1 шт.

Программа управляющая SmarTest

1 шт.

Управляющая ПЭВМ

1 шт.

Стенд измерительный для больших и сверхбольших интегральных схем V93000 Pin Scale 1600/CTH. Руководство по эксплуатации

1 экз.

Наименование

Значение

1

2

Диапазон установки длительности Т вектора тестовой последовательности, нс

от 2,5 до 31250

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки длительности вектора тестовой последовательности, нс

±15М0"⁶-Т

Диапазон установки временных меток формирования выходных импульсов D1-D8, стробирующих импульсов R1-R8, нс

от -4-Т до +12-Т

Крайние значения временных меток, мкс

-6,3; +19

Разрешение временных меток, пс

1,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности установки временных меток D1-D8 и R1-R8, пс

±150

Длительность фронта (спада) выходных импульсов драйвера, нс, не более

при амплитуде 1,0 В (по уровням 10 и 90 %)

0,6

при амплитуде 1,8 В (по уровням 10 и 90 %)

0,7

при амплитуде 3,0 В (по уровням 10 и 90 %)

0,8

Минимальная длительность выходных импульсов драйвера, нс

при амплитуде 1,0 В

0,7

при амплитуде 1,8 В

0,8

при амплитуде 3,0 В

0,9

Длительность фронта выходных импульсов широкодиапазонного д

райвера, нс, не более

при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %)

9

при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %)

250

Длительность спада выходных импульсов широкодиапазонного драйвера, нс, не более

при амплитуде 3,0 В (по уровням 20 и 80 %)

10,5

при амплитуде 10,0 В (по уровням 20 и 80 %)

30

Диапазон воспроизводимых уровней напряжения драйвера, В

от -1,5 до +6,5

Разрешение напряжения драйвера, мВ

1,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения драйвера, мВ

±5

Выходное сопротивление драйвера, Ом

от 47,5 до 52,5

1

2

Диапазон воспроизводимых уровней напряжения широкодиапазонного драйвера, В

диапазон VIL/VIH

от 0 до 6,5

диапазон VHH

от 6 до 13,4

Разрешение широкодиапазонного драйвера, мВ

1,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения напряжения широкодиапазонного драйвера, мВ

±15

Выходное сопротивление широкодиапазонного драйвера, Ом

при уровнях напряжения от 0 до 6,5 В

от 45 до 55

при уровнях напряжения от 6 до 13,4 В

не более 10

Диапазон установки уровней напряжения компаратора и допустимых уровней напряжения на входах компаратора, В

от -1,5 до +6,5

Разрешение компаратора, мВ

1,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения компаратором, мВ

±15

Диапазон установки уровней напряжения широкодиапазонного компаратора и допустимых уровней напряжения на входах широкодиапазонного компаратора, В

от -3,0 до +13,4

Разрешение по напряжению широкодиапазонного компаратора, мВ

1,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения широкодиапазонным компаратором, мВ

при уровнях напряжения от 0 до 8 В

±20

при уровнях напряжения от -3,0 до +13,4 В

±50

Диапазон допустимых уровней напряжения на входах дифференциального компаратора, В

от -1,5 до +6,5

Диапазон установки уровней напряжения дифференциального компаратора, В

±1,0

Разрешение дифференциального компаратора, мВ

1,0

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения дифференциальным компаратором, мВ

±15

Диапазон воспроизведения силы тока I активной нагрузки (суммарный ток каналов платы PS 1600 не более 1,6 А), мА

±25

Разрешение силы тока активной нагрузки, мкА

12,5

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока I активной нагрузки, мкА

±(1-10’²-I + I0),

I0 = 75 мкА

Диапазон напряжения переключения, изменяющего направление тс при силе тока в пределах ± 1 мА при силе тока в пределах ±25 мА

>ка в нагрузке, В от -1,5 до +6,5 от -1,0 до +5,5

Диапазон воспроизведения и измерения напряжения U источником-измерителем PMU, В

при силе тока в пределах ± 1 мА

от -2,0 до +6,5

при силе тока в пределах ±40 мА

от -2,0 до +5,75

Разрешение по напряжению источника-измерителя PMU, мкВ

воспроизведение напряжения

200

измерение напряжения

75

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения и измерения постоянного напряжения AU источника-измерителя PMU определяются по формуле

AU = ±(U0 + PR),

где I - сила тока нагрузки, мА; R = 1 Ом;

U0 = 3 мВ для воспроизведения напряжения;

U0 = 2 мВ для измерения напряжения от 0 до +3,3 В;

U0 = 4 мВ для измерения напряжения от -2,0 до 0 и от +3,3 до +6,5 В

Верхние пределы диапазонов воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU (суммарная сила тока каналов платы PS 1600 не более 1,6 А)

2; 10; 100 мкА; 1; 40 мА

Разрешение воспроизведения и измерения силы тока источником-измерителем PMU

на пределе 2 мкА

1 нА

на пределе 10 мкА

5 нА

на пределе 100 мкА

50 нА

на пределе 1 мА

0,5 мкА

на пределе 40 мА

20 мкА

5 3

ределы допускаемой абсолютн стоянного тока AI источником

где 1 - сила тока, мкА; зг

верхний предел

ой погрешности воспроизведе -измерителем PMU определяю

A I = ±(5^10’³-I + I0), ачения I0 приведены в таблице знамени.

воспроизведение силы тока

ния и измерения силы тся по формуле ниже:

я I0, мкА

измерение силы тока

2 мкА

0,04

0,01

10 мкА

0,1

0,05

100 мкА

1 мА

40 мА

0,5

5

..........50...........

0,2

1,25

..........................................................................50..........................................................................

Диапазон измерения напряжения АЦП BADC, В

в стандартном режиме

от -3,0 до +8,0

в широкодиапазонном режиме

от -6,0 до +13,4

Входное сопротивление АЦП BADC, МОм, не менее

100

Разрешение АЦП BADC, мкВ

в стандартном режиме

75

в широкодиапазонном режиме

150

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения напряжения постоянного АЦП BADC, мВ

в стандартном режиме

±1

в широкодиапазонном режиме

±10

Д н

иапазон воспроизведения и измерения напряжения прецизионным источником-измерителем

PPMU, В

при подключении через плату PS1600

от -1,5 до +6

при подключении через разъем UTILITY pogo block

от -5 до +8

Разрешение по напряжению HPPMU, мкВ

250

верхний предел

значения I0, мкА

5 мкА через плату PS1600

0,05

5 мкА через разъем UTILITY pogo block

0,01

200 мкА

0,2

5 мА

10

200 мА

200

предел диапазона

значения силы тока I

значения I0, мкА

12,5 мкА

2,5 мкА < I < 12,5 мкА

0,12

25 мкА

5 мкА < 1 < 25 мкА

0,12

125 мкА

25 мкА < I < 125 мкА

0,75

250 мкА

50 мкА < I < 250 мкА

0,75

1,25 мА

0,25 мА < I < 1,25 мА

7,5

2,5 мА

0,5 мА < I < 2,5 мА

7,5

12,5 мА

2,5 мА < I < 12,5 мА

75

25 мА

5 мА < I < 25 мА

75

100 мА

20 мА < I < 100 мА

600

200 мА

40 мА < I < 200 мА

600

1 А

0,2 А < I < 1 А

3000

предел диапазона

значения А0, отн.ед.

значения I0, мкА

12,5 мкА

2

0,05

25 мкА

2

0,05

125 мкА

1

0,25

250 мкА

1

0,25

1,25 мА

1

2,5

2,5 мА

1

2,5

12,5 мА

1

25

25 мА

1

25

100 мА

1

250

200 мА

1

250

1 А

1

1000

1

2

Пределы допускаемой абсолютной погрешности ограничения силы тока одним каналом DCS DPS128 определяются значениями Д11, Д12, приведенными в таблице ниже:

предел диапазона

значения силы тока I

значение

ДВ, мкА

значение

Ah, мкА

12,5 мкА

2,5 мкА < 1 < 12,5 мкА

-0,38

+0,63

25 мкА

5 мкА < I < 25 мкА

-0,75

+1,25

125 мкА

25 мкА < I < 125 мкА

-3,75

+6,25

250 мкА

50 мкА < I < 250 мкА

-7,5

+12,5

1,25 мА ..........2,5 мА........... ..........12,5.....мА...........

............0,25 мА < I <.....1,25 мА.............

0,5 мА < I < 2,5 мА

2,5 мА < I < 12,5 мА

-37,5

...........-75...........

...........-375...........

+62,5

...........+125..........

...........+625..........

25 мА

5 мА < I < 25 мА

-750

+1250

100 мА

20 мА < I < 100 мА

-3000

+5000

200 мА

40 мА < I < 200 мА

-6000

+10000

1 А

0,2 А < I < 1 А

-30000

+50000

Верхние пределы воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединённых каналов DCS DPS128, где n - количество объединенных в группу каналов, А

(n-1)

Разрешение воспроизведения, измерения и ограничения силы тока группы объединенных каналов DCS DPS128, где n - количество объединённых в группу каналов, мкА

(n-50)

Пределы допускаемой абсолютной погрешности воспроизведения силы постоянного тока Д1 группы объединенных каналов DCS DPS128 в диапазоне от (n-0,2) до (n-1) А определяются по формуле

Д1 = ±(2^10"³-I + n-Ic),

где I - сила тока, мА; I0 = 3 мА; n - количество объединённых в группу каналов

Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерения силы постоянного тока ДI группы объединенных каналов DCS DPS128 определяются по формуле

ДI = ±(V10"³-I + n -I0),

где I - сила тока, мА; I0 = 1 мА; n - количество объединённых в группу каналов

Габаритные размеры (высота ^х ширина ^х глубина), мм

измерительный головной блок с манипулятором

1880 ^х 1290 ^х 2270

установка водяного охлаждения

950 х 520 х 870

Масса головного измерительного блока с манипулятором, кг, не более

1118

Масса установки водяного охлаждения, кг, не более

185

Напряжение питания (сеть трехфазного тока частотой 50 Гц), В

от 360 до 440

Потребляемая мощность, кВ^А, не более

15

Температура окружающей среды в рабочих условиях, °С

от +20 до +30

Относительная влажность при температуре 30 °С, %, не более

70