Принцип действия микроскопов основан на прохождении пучка ускоренных электронов через исследуемый объект, где происходит их рассеяние на кристаллической решетке или неоднородностях структуры объекта. В плоскости изображения объективной линзы, расположенной непосредственно за образцом, формируется действительное изображение объекта, а в ее фокальной плоскости формируется дифракционная картина, каждая точка которой соответствует определенному углу выхода электронов из образца.

Микроскоп представляет собой стационарную автоматизированную многофункциональную измерительную систему, в состав которой входят:

• - модуль получения изображений,

• - источник высокого напряжения,

• - блок электроники;

• - рабочее место оператора на базе специализированного управляющего компьютера;

• - форвакуумный насос;

• - система замкнутого водяного охлаждения;

Основным компонентом модуля получения изображений является электроннооптическая колонна. Электронно-оптическая колонна содержит электронную пушку и систему электронных линз: блок конденсорных линз, объективную линзу, блок промежуточных линз и проекционную линзу. Электронная пушка включает источник электронов типа Шоттки. Объективная линза сконструирована для работы в режиме постоянной мощности для повышения стабильности работы микроскопа. Объективная линза дополнена диафрагмой, положением которой можно управлять. Диафрагмы для конденсорных линз, для объективной линзы, селективная диафрагма для ограничения области исследования являются моторизованными.

Регистрация изображения в режиме просвечивающей электронной микроскопии осуществляется с помощью ПЗС-камеры со скоростью работы до 25 кадров в секунду. Для реализации СПЭМ - режима используются 4-х канальный детектор электронов. Модуль получения изображений также включает высокочувствительный энергодисперсионный спектрометр (опционально), запатентованная конструкция которого использует 4 SDD детектора.

Вакуумная система микроскопа является полностью безмасляной и реализована на базе форвакуумного, турбомолекулярного и двух магниторазрядных насосов.

Управляющее программное обеспечение позволяет проводить полное удаленное управление всеми функциями микроскопа, включая смену диафрагм, перемещение образца, фокусировку, стигмирование, управление вакуумной системой, контроль и визуализация изображения видеокамеры.

Микроскопы выпускаются в модификациях Spectra 200, Spectra 300, Talos L120C, которые отличаются типом и соответственно яркостью электронной пушки, типом объективной линзы, разрешающей способностью и диапазоном ускоряющих напряжений.

Пломбирование микроскопов не предусмотрено. Заводской номер нанесен на шильдик типографским способом на задней панели модуля получения изображений. Общий вид микроскопов и место нанесения знака поверки приведены на рисунках 1 и 2.

Место нанесения знака поверки

Рисунок 1 - Общий вид микроскопов Spectra 200, Spectra 300.

Место нанесения знака поверки

Рисунок 2 - Общий вид микроскопов Talos L120C.

Таблица 4 -

Таблица 2 - Метрологические характеристики

* - опционально

Таблица 3 - Основные технические характеристики