Принцип работы микроскопов основан на физических эффектах взаимодействия поверхности твердого образца со сфокусированным пучком электронов. Изображение объекта формируется в результате развертки (сканирования) электронного пучка по области образца. Максимальное увеличение и разрешающая способность микроскопа зависят от типа образцов и условий исследований.

Микроскопы состоят из электронной колонны, вакуумной системы, управляющей электроники, набора детекторов, форвакуумного насоса и стола оператора с персональным компьютером.

Управляющая электроника обеспечивает функционирование всех частей прибора, а также получение информации с детекторов различных видов. Детекторы позволяют получать информацию о топографии, вариациях состава, механических, электрофизических и других параметрах. На микроскопах могут быть установлены: детектор вторичных электронов (внутрикамерный, встроенный в объективную линзу, для работы в режиме низкого вакуума), детектор обратно отражённых (внутрикамерный, встроенный в объективную линзу), детектор прошедших электронов, детектор катодолюминесцентного излучения, детектор вторичных ионов, а также других специализированных детекторов.

К блоку с колонной присоединяется форвакуумный насос для откачки вакуумной системы микроскопа. Стол оператора служит как для размещения органов управления микроскопом (трекбол, клавиатура, мышь, монитор), так и используется для подготовки образцов перед исследованием. Остальные элементы, обеспечивающие функционирование прибора интегрированы в блок электроники и пространство под камерой микроскопа.

Исследуемые образцы устанавливают в вакуумную камеру с помощью разнообразных держателей. Один из возможных стандартных держателей выполнен в виде диска диаметром 12.5 мм с ножкой для фиксации диаметром 3.0 мм.

Для повышения производительности и удобства работы к микроскопам может подключаться выносная панель с ручками, предназначенная для быстрого изменения и контроля основных параметров.

Дополнительно возможна установка на микроскоп следующих аналитических систем и дополнений: система энергодисперсионного микроанализа, система волнодисперсионного микроанализа, система определения фазового состава, структуры и текстуры методом анализа картин дифракции обратно отраженных электронов, а также других специализированных решений.

Микроскопы сканирующие электронные TESCAN изготавливаются следующих модификаций VEGA, MIRA, TIMA, CLARA, AMBER, AMBER X, MAGNA, SOLARIS, SOLARIS X. В зависимости от типоразмера камеры образцов микроскопы перечисленных модификаций, имеют дополнительные обозначения - Compact, LM и GM. Дополнительно к обозначению типоразмера камеры образцов добавляются буквы английского алфавита (S, H, U), например, VEGA LMS, MIRA GMU, CLARA LMH, обозначающие возможные режимы работы вакуумной системы.

Указанные микроскопы сканирующие электронные перечисленных модификаций, имеют дополнительную цифробуквенную кодировку двух видов «SXXXX» и «SXXXXX», где X - любая цифра или буква английского алфавита. Заводские номера наносятся на заднюю часть корпуса микроскопов в виде этикетки (шильдика) и имеют буквенно-цифровое обозначение.

Конструкция микроскопов обеспечивает ограничение доступа к составным частям с целью предотвращения несанкционированных настроек (регулировок), которые могут привести к искажению результатов измерений, поэтому пломбирование корпуса микроскопов от несанкционированного доступа не предусмотрено.

Общий вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN приведен на рисунке 1.

11Г .

а)

б)

в)

г)

е)

ж)

з)

Рисунок 1 - внешний вид микроскопов сканирующих электронных TESCAN а) VEGA; б) MIRA; в) TIMA; г) CLARA; е) AMBER, AMBER X; ж) MAGNA;

з) SOLARIS, SOLARIS X

Таблица 4 -

Таблица 2 - Метрологические характеристики микроскопов

Таблица 3 - Технические характеристики микроскопов

Продолжение таблицы 3