Номер по Госреестру СИ: 82662-21
82662-21 Профилометр оптический
(WYKO NT9300)
Назначение средства измерений:
Профилометр оптический WYKO NT9300 (далее - профилометр) предназначен для измерений линейных размеров элементов рельефа вдоль осей X, Y и Z, параметров шероховатости поверхности и трехмерной визуализации поверхности твердотельных объектов с коэффициентом отражения более 1 % оптическим методом.
Общие сведения
Дата публикации - 25.08.2021
Срок свидетельства -
Номер записи - 183880
ID в реестре СИ - 1392238
Тип производства - единичное
Описание типа
Поверка
Интервал между поверками по ОТ - 1 год
Наличие периодической поверки - Да
Методика поверки
Модификации СИ
Профилометр оптический WYKO NT9300,
Производитель
Изготовитель - Фирма Veeco Instruments Inc.
Страна - СОЕДИНЕННЫЕ ШТАТЫ
Населенный пункт -
Уведомление о начале осуществления предпринимательской деятельности - Да
Статистика
Кол-во поверок - 2
Выдано извещений - 0
Кол-во периодических поверок - 2
Кол-во средств измерений - 1
Кол-во владельцев - 1
Усредненный год выпуска СИ - 0
МПИ по поверкам - 364 дн.
Приказы РСТ, где упоминается данный тип СИ
Наличие аналогов СИ: Профилометр оптический (WYKO NT9300)
| ИМПОРТНОЕ СИ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
ОТЕЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛОГ № в реестре, наименование СИ, обозначение, изголовитель |
|---|
Отчет "Анализ рынка поверки Южного федерального округа" предоставляет исчерпывающую информацию об организациях, оказывающих услуги поверки в 8 субъектах РФ с административным центром в городе Ростов-на-Дону.
Параметры исследований:
- фильтр по работающим в округе организациям-поверителям по данным ФСА и ФГИС АРШИН
- объемы первичных и периодических поверок за период 2017г. по н.в.
- фильтр по местам осуществления деятельности
- предоставление информации в графическом и табличном видах
- детальное рассмотрение деятельности каждой из организаций округа по годам
- анализ в разрезе первичных, периодических поверок и видов измерений
- количество поверок по типам СИ в динамике по годам
- индикация импортных аналогов средств поверки (в соответствии с ПЕРЕЧЕНЕМ СИ ОТЕЧЕСТВЕННОГО ПРОИЗВОДСТВА, АНАЛОГИЧНЫХ СРЕДСТВАМ ИЗМЕРЕНИЙ ИМПОРТНОГО ПРОИЗВОДСТВА от 09.2022г)
- индикация типов СИ по ПП РФ №250 от 20.04.2010 г.
- быстрый анализ контрагентов организаций-поверителей
- анализ цен на поверку СИ по Фед. округу
Кто поверяет Профилометр оптический (WYKO NT9300)
| Наименование организации | Cтатус | Поверенные модификации | Кол-во поверок | Поверок в 2024 году | Первичных поверок | Периодических поверок | Извещений | Для юриков | Для юриков первичные | Для юриков периодические |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| АО "НИЦПВ" (RA.RU.311409) | 2 | 0 | 2 | 0 | 0 | 0 | 0 |
Стоимость поверки Профилометр оптический (WYKO NT9300)
| Организация, регион | Стоимость, руб | Средняя стоимость |
|---|
Программное обеспечение
Управление профилометром и обработка результатов измерений осуществляется с помощью ПЭВМ с использованием специализированного программного обеспечения (ПО) «Vision». ПО «Vision» позволяет проводить измерения параметров топографии поверхности твердотельных материалов. ПО «Vision» не может быть использовано отдельно от профилометра.
Идентификационные данные программного обеспечения указаны в таблице 1.
Таблица 1
|
Идентификационное наименование ПО |
Vision |
|
Номер версии (идентификационный номер) ПО |
4.20 и выше |
|
Цифровой идентификатор ПО (контрольная сумма исполняемого кода) |
- |
|
Алгоритм вычисления цифрового идентификатора ПО |
- |
Уровень защиты ПО соответствует типу «средний» согласно Р 50.2.077-2014.
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на лицевую панель профилометра в виде наклейки, и на титульный лист эксплуатационной документации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений
приведены в документе Профилометр оптический WYKO NT9300. Руководство по эксплуатации, раздел 2.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к профилометру оптическому WYKO NT9300Государственная поверочная схема для средств измерения длины в диапазоне от 10-9 до 100 м и длин волн в диапазоне от 0,2 до 50 мкм, утвержденная приказом Росстандарта от 29.12.2018 № 2840.
ГОСТ 8.296-2015 ГСИ. Государственная поверочная схема для средств измерений параметров шероховатости Rmax, Rz в диапазоне от 0,001 до 3000 мкм и Ra в диапазоне от 0,001 до 750 мкм.
Техническая документация фирмы-изготовителя.
Изготовитель
Фирма Veeco Instruments Inc., США.Адрес: 2650 East Elvira Road Tucson, Arizona 85756, USA
Тел./факс: (520) 741-1044/(520) 294-1799
E-mail: info@veeco.com
Испытательный центр
Акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (АО «НИЦПВ»)Адрес: 119421, г. Москва, ул. Новаторов, д. 40, корп. 1
Тел./Факс: (495) 935-97-77
E-mail: nicpv@mail.ru
Принцип действия профилометра основан на интерференции световых пучков, отраженных от опорного зеркала и поверхности измеряемого объекта, регистрации интерференционной картины с помощью ПЗС-камеры и последующего анализа интерференционной картины для получения количественных данных о параметрах топографии поверхности.
Профилометр может работать в трех основных режимах: режим фазово-сдвигающей интерферометрии (Phase-Shifting Interferometry, PSI), режим вертикальной сканирующей интерферометрии (Vertical Scanning Interferometry, VSI), режим Intensity.
В режиме PSI используется квазимонохроматический свет и осуществляется сбор данных об интенсивности в каждой точке изображения. Анализируются несколько интерферограмм (не менее трех), полученных с использованием отражения от референтной оптической поверхности, перемещаемой на дробную часть длины волны пьезоэлектрическим преобразователем. Режим PSI используют только для анализа топографии поверхности с перепадом высот не более 160 нм.
В режиме VSI используется белый свет и определяется положение полосы максимального контраста при перемещении измерительной головки по оси Z. Режим VSI обеспечивает менее точные измерения, чем PSI, но может использоваться на поверхностях с перепадом высот, превышающем 160 нм.
Режимы PSI и VSI используются для определения перепада высот и анализа топографии поверхности.
В режиме Intensity не производится перемещение измерительной головки по оси Z и определение перепада высот. В режиме Intensity используется принцип оптической микроскопии. Он отличается более высокой скоростью исполнения (в т.ч. при «сшивке»), используется для определения линейных размеров вдоль осей X, Y.
Профилометр представляет собой напольную автоматизированную многофункциональную измерительную систему и состоит из основного блока и рабочего места оператора. Основной блок включает: турель с комплектом измерительных головок, антивибрационный стол, на котором укреплен блок электроники и системный блок компьютера, моторизованный стол для перемещения образцов в плоскости XY и панель переключения. Измерительная головка включает: ПЗС камеру для регистрации интерференционных изображений, 2 светодиода белого и зеленого излучения, моторизованный стол для пере-
мещения измерительной головки по оси Z. Рабочее место оператора включает рабочий стол с монитором и клавиатурой.
Для измерений в режиме VSI используется одновременно зеленый и белый светодиоды. Для измерений в режиме PSI используется зеленый светодиод с фильтром.
Общий вид профилометра оптического WYKO NT9300 представлен на рисунке 1. Пломбирование профилометра не предусмотрено. Знак поверки наносится в виде наклейки или оттиска поверительного клейма на свидетельство о поверке.
Место нанесения знака утверждения типа
VeecQN19300
Рисунок 1 - Общий вид профилометра оптического WYKO NT9300
Таблица 2 - Метрологические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон измерений линейных размеров вдоль оси Z, нм |
от 2 до 1 • 106 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений линейных размеров вдоль оси Z, нм (L - линейный размер по оси Z, нм) |
±( 1+0,02-L) |
|
Диапазон измерений линейных размеров в плоскости XY, мкм |
от 2 до 200000 |
|
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений линейных размеров в плоскости XY, % |
±2 |
|
Диапазон измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
от 0,005 до 1 |
|
Пределы допускаемой абсолютной погрешности измерений шероховатости по параметру Ra, мкм |
±(0,003+0,04-Ra) |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
|
Наименование характеристики |
Значение |
|
Диапазон показаний вдоль оси Z, нм |
от 0,1 до 3-106 |
|
Разрешение вдоль оси Z, нм |
0,1 |
|
Диапазон перемещений моторизованного столика по осям X, Y, мм |
от 0 до 205 |
|
Диапазон перемещений турели с объективами по оси Z, мм |
от 0 до 55 |
|
Масса основного блока профилометра, кг, не более |
500 |
|
Габаритные размеры основного блока профилометра (ДхШхВ), мм, не более |
853x794x1609 |
|
Условия эксплуатации: -температура окружающей среды, °С -относительная влажность воздуха, %, не более |
от +18 до +24 80 |
|
Напряжение питания от однофазной сети переменного тока частотой 50 Гц, В |
от 200 до 240 |
|
Потребляемая электрическая мощность, Вт, не более |
300 |
|
Давление в магистрали сжатого воздуха, Па |
от 2,75405 до 5,5405 |