Номер по Госреестру СИ: 78615-20
78615-20 Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
(PHOENIX мод. Quadro, Quadro dry, Magno, Magno dry, Vario)
Назначение средства измерений:
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые PHOENIX модификаций Quadro, Quadro dry, Magno, Magno dry, Vario (далее - течеискатели) предназначены для измерений потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов.
Внешний вид.
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Рисунок № 1
Внешний вид.
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Рисунок № 2
Внешний вид.
Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые
Рисунок № 3
Программное обеспечение
Течеискатели имеют встроенное программное обеспечение (ПО), состоящее из ПО основного устройства, ПО встроенного блока управления и ПО вывода изображения на дисплей, разработанное изготовителем специально для решения задач измерения потоков гелия при проведении неразрушающего контроля герметичности, обнаружения мест нарушения герметичности различных систем и объектов, допускающих откачку внутренней полости, заполнение гелием, либо смесью газов, содержащих гелий.
ПО основного устройства выполняет следующие функции:
-
- сбор, обработка и передача измерительной информации на устройство вывода;
-
- автоматическая диагностика состояния течеискателя.
ПО встроенного блока управления выполняет следующие функции:
-
- управление работой вакуумной системой течеискателя (работой вакуумных насосов, клапанов);
-
- управление работой масс-спектрометрического анализатора (определение
чувствительности, настройка на пик гелия).
ПО вывода изображения на дисплей выполняет следующие функции:
- отображение измерительной информации, полученной от блока основного устройства течеискателя.
Идентификационные данные ПО представлены в таблице 1.
Информация о версии ПО доступна в меню «Диагностика» - «Информация» -«Устройство» - вкладка «Идентификация ».
Влияние ПО течеискателей учтено при нормировании метрологических характеристик.
Уровень защиты ПО от преднамеренных или непреднамеренных изменений течеискателей - «средний» в соответствии с Р 50.2.077-2014.
Таблица 1 - Идентификационные данные программного обеспечения
Идентификационные данные (признаки) |
Значение | ||
Основное устройство |
Встроенный блок управления |
Изображение | |
Идентификационное наименование ПО |
PHOENIX 4 basic unit |
PHOENIX 4 operating unit |
PHOENIX 4 image |
Номер версии (идентификационный номер) ПО, не ниже |
1.16 |
1.31 |
1.44 |
Цифровой идентификатор ПО |
- |
- |
- |
Знак утверждения типа
Знак утверждения типананосится на корпус течеискателя способом наклейки или иным способом, на титульные листы руководства по эксплуатации типографским способом.
Сведения о методиках измерений
Сведения о методиках (методах) измерений приведены в эксплуатационном документе.
Нормативные и технические документы
Нормативные и технические документы, устанавливающие требования к течеискателям масс-спектрометрическим гелиевым PHOENIX модификаций Quadro, Quadro dry, Magno, Magno dry, Vario
ГОСТ 28517-90 Контроль неразрушающий. Масс-спектрометрический метод
течеискания. Общие требования
ГОСТ Р 53177-2008 Вакуумная техника. Определение характеристик масс-спектрометрического метода контроля герметичности
Техническая документация компании Leybold GmbH, Германия
Поверка
Поверкаосуществляется по документу МП 231-0073-2019 «ГСИ. Течеискатели масс-спектрометрические гелиевые PHOENIX модификаций Quadro, Quadro dry, Magno, Magno dry, Vario. Методика поверки», утвержденному ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева» 14 ноября 2019 г.
Основные средства поверки:
Государственный вторичный (рабочий) эталон единицы потока газа в вакууме в диапазоне от 10-12 до 1 Па^м3/с (ГВЭТ 49-2-2006) (регистрационный номер в Федеральном информационном фонде 2.1.ZZB.0032.2014), СКО: в диапазоне от 10-12 до 10-9 Па^м3/с не более (0,1 - 0,015); в диапазоне свыше 10-9 до 1 Па^м3/с не более 0,015.
Допускается применение аналогичных средств поверки, обеспечивающих определение метрологических характеристик поверяемых СИ с требуемой точностью.
Знак поверки наносится на свидетельство о поверке.
Изготовитель
Компания Leybold GmbH, Германия
Адрес: Bonner Str. 498 D-50968 Koln, Germany
Телефон: +49 (0) 221-347-0
Web-сайт: www.leybold.com
E-mail: info@leybold.com
Заявитель
Акционерное общество «Вакууммаш» (АО «Вакууммаш»)
ИНН 1653001883
Адрес: 420054, Республика Татарстан, г. Казань, ул. Тульская, д. 58
Телефон: +7 (843) 278-35-27, факс: +7 (843) 278-32-40
Web-сайт: www.vacma.ru
E-mail: kazan@vacma.ru
Испытательный центр
Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научноисследовательский институт метрологии имени Д.И. Менделеева»Адрес: 190005, г. Санкт-Петербург, Московский пр., д. 19
Телефон: +7 (812) 251-76-01, факс: +7 (812) 713-01-14
Web-сайт: www.vniim.ru
Принцип действия течеискателей основан на измерении электрического сигнала от ионизированных молекул пробного газа (по умолчанию - гелия) в ионном коллекторе течеискателя. Молекулы газа, попадая в масс-спектрометр, ионизируются ионным источником. Данные положительно заряженные частицы ускоряются в магнитном поле по окружности, радиус которой зависит от относительной атомной массы иона. При выборе в качестве пробного газа гелия (по умолчанию) только ионы гелия могут проходить через фильтр и достигать ионного коллектора, на котором измеряется поток ионов, в виде электрического сигнала.
В корпусе течеискателя находятся масс-спектрометрический анализатор, настроенный на регистрацию ионов гелия в качестве пробного газа, вакуумная система, электроника течеискателя и интерфейс оператора (ЖК-дисплей сенсорной панели). Также в состав течеискателя входит дополнительное оборудование (беспроводной пульт дистанционного управления и дополнительная печатная плата ввода/вывода). Подключение испытуемого объекта к вакуумной системе течеискателя осуществляется с помощью присоединительного фланца (испытательный порт), расположенного на верхней панели корпуса течеискателя.
Модификации течеискателей отличаются наличием/отсутствием и типом форвакуумного насоса (Quadro, Magno - с масляным насосом; Quadro dry, Magno dry - с сухим насосом, Vario -без насоса), массой, габаритными размерами и характеристиками питания.
Пломбирование течеискателей не предусмотрено. Общий вид течеискателей представлен на рисунках 1-3.
Рисунок 1 - Общий вид течеискателей модификаций Quadro, Quadro dry
Рисунок 2 - Общий вид течеискателей модификации
Vario
Рисунок 3 - Общий вид течеискателей модификаций Magno, Magno dry
Таблица 2 - Метрологические характеристики
Наименование характеристики |
Значение |
Диапазон измерений потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па^м3/с* |
от И10"12 до И10"2 |
Диапазон показаний потока газа в вакууме по входу течеискателя, Па^м3/с* |
от 5И0"13 до И10"2 |
Диапазон показаний потока газа в вакууме при работе способом щупа, Па^м3/с* |
от И10"10 до И10"2 |
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений, % от измеряемой величины (где Q^ - значение нижнего предела измерений, Па^м3/с; Qkjm - значение измеренного потока, 1 ктм3/с):
|
±(0,15 + Рнпи/Ризм>100 ±50 не нормируется |
* Производная единица величины потока газа в вакууме Па^м3/с образована в соответствии с п. 5.2.1. ГОСТ 8.417-2002 на основании уравнения связи (измерений), полученного из уравнения состояния идеального газа. |
Таблица 3 - Основные технические характеристики
Наименование характеристики |
Значение | ||||
Quadro |
Quadro dry |
Magno |
Magno dry |
Vario | |
Питание от сети переменного тока: - напряжение, В |
230±10;230; |
170±70 |
215±15; |
215±15; |
170±70 |
- частота, Гц |
115±5;100 50;60; |
50/60 |
110±10;100 (50/60); |
110±10;100 (50/60); |
50/60 |
60;(50/60) |
60;(50/60) |
60;(50/60) |
Продолжение таблицы 3
Наименование характеристики |
Значение | ||||
Quadro |
Quadro dry |
Magno |
Magno dry |
Vario | |
Потребляемая мощность, В •А, не более |
640 |
470 |
1500 |
770 |
3230 |
Габаритные размеры, мм, не более: | |||||
- высота |
475 |
475 |
679 |
679 |
380 |
- ширина |
318 |
318 |
371 |
371 |
313 |
- длина |
495 |
495 |
521 |
521 |
486 |
Масса, кг, не более |
41 |
35 |
67 |
57 |
25 |
Условия эксплуатации:
|
от +10 до +35 | ||||
воздуха (без конденсации), %, не более |
80 | ||||
- атмосферное давление, кПа |
от 84 до 106,7 | ||||
Средняя наработка на | |||||
отказ, ч |
15000 | ||||
Средний срок службы, лет |
10 |